JPS6039785Y2 - 焦電形温度検出素子 - Google Patents
焦電形温度検出素子Info
- Publication number
- JPS6039785Y2 JPS6039785Y2 JP12411278U JP12411278U JPS6039785Y2 JP S6039785 Y2 JPS6039785 Y2 JP S6039785Y2 JP 12411278 U JP12411278 U JP 12411278U JP 12411278 U JP12411278 U JP 12411278U JP S6039785 Y2 JPS6039785 Y2 JP S6039785Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support base
- pyroelectric
- sensing element
- temperature sensing
- thermal conductivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本案は焦電形温度検出素子に関する。
従来のこの種焦電形温度検出素子を第１図を参照して説
明すると、１はチョッパ（図示しない）により周期的パ
ルスに変換された物体の放射する赤外線を透過せるシリ
コンＳｉ或いはゲルマニウムＧｅ 等カラ成る赤外線透
過フィルタ、２は金属性筒体で、上端の開口を上記赤外
線透過フィルタ１で閉塞し、下端の開口を２つの孔３，
４を有する金属性基台５に固着している。
明すると、１はチョッパ（図示しない）により周期的パ
ルスに変換された物体の放射する赤外線を透過せるシリ
コンＳｉ或いはゲルマニウムＧｅ 等カラ成る赤外線透
過フィルタ、２は金属性筒体で、上端の開口を上記赤外
線透過フィルタ１で閉塞し、下端の開口を２つの孔３，
４を有する金属性基台５に固着している。
６は上記基台５に取着された熱伝導度５．５〜７．５Ｘ
１Ｏ−３Ｊ／ａｎ ・ｓｅｃ −’にのガラス或いは
熱伝導度１４．２Ｘ １Ｏ−３Ｊ／ｃｒｔｔ ｅ ｓｅ
ｃ ＊ ’ｆｉｒ、の石英等から成る厚さ約１耽のヒー
トシンクとしての絶縁性支持台、７は上記周期的パルス
の赤外線を電気信号に変換するタンタル酸リチウム （ＬｉＴａＯ３）結晶等から威る厚さ約２０〜５０μｍ
の焦電体薄片で、該焦電体薄片は薄片自体の温度変化に
応じた電荷を発生する所謂焦電効果を有している。
１Ｏ−３Ｊ／ａｎ ・ｓｅｃ −’にのガラス或いは
熱伝導度１４．２Ｘ １Ｏ−３Ｊ／ｃｒｔｔ ｅ ｓｅ
ｃ ＊ ’ｆｉｒ、の石英等から成る厚さ約１耽のヒー
トシンクとしての絶縁性支持台、７は上記周期的パルス
の赤外線を電気信号に変換するタンタル酸リチウム （ＬｉＴａＯ３）結晶等から威る厚さ約２０〜５０μｍ
の焦電体薄片で、該焦電体薄片は薄片自体の温度変化に
応じた電荷を発生する所謂焦電効果を有している。
そして、上記焦電体薄片７は両面にＮｉ −Ｃｒ等の蒸
着膜を有しており、銀ペースト等の導電性接着剤８で上
記支持台６上面に固着されている。
着膜を有しており、銀ペースト等の導電性接着剤８で上
記支持台６上面に固着されている。
９．１０は上記焦電体薄片７上面のＮｉ −Ｃｒ蒸着膜
及び上記導電性接着剤８側面に導電性接着剤で固着され
た導線、１１．１２は該導線からの信号を外部に取り出
すべく上記基台５の孔３，４に電気的絶縁性をもって挿
入された端子である。
及び上記導電性接着剤８側面に導電性接着剤で固着され
た導線、１１．１２は該導線からの信号を外部に取り出
すべく上記基台５の孔３，４に電気的絶縁性をもって挿
入された端子である。
而して、斯る焦電形温度検出素子は第２図ａに示す周期
的な赤外線パルスの印加に対して、第２図すに示す幅Ｗ
、高さｈの波形を赤外線パルスの立上がり時及び立下が
り時に異符号として出力し更に上記波形間には零を出力
する。
的な赤外線パルスの印加に対して、第２図すに示す幅Ｗ
、高さｈの波形を赤外線パルスの立上がり時及び立下が
り時に異符号として出力し更に上記波形間には零を出力
する。
そして、断る出力に於いて、幅Ｗが大、即ち支持台６の
熱伝導度が小になると焦電体薄片７の温度変化は増大す
る為高さｈは大となり焦電形温度検出素子の出力は増大
するが、幅Ｗが次の半周期にかかると逆に焦電体薄片７
の温度変化は減少するため焦電形温度検出素子の出力は
減少することになる。
熱伝導度が小になると焦電体薄片７の温度変化は増大す
る為高さｈは大となり焦電形温度検出素子の出力は増大
するが、幅Ｗが次の半周期にかかると逆に焦電体薄片７
の温度変化は減少するため焦電形温度検出素子の出力は
減少することになる。
本案の主たる目的は幅Ｗの微細な調整、即ち、支持台６
の熱伝導度を微細に選択して焦電形温度検出素子の出力
制御を行なわんとすることにある。
の熱伝導度を微細に選択して焦電形温度検出素子の出力
制御を行なわんとすることにある。
このための手段として、（ｉ）熱伝導度の異なる材料を
支持台６として選択する、（ｉｉ）支持台６の形状を変
えて支持台６への熱伝導状態を変化する、等が考えられ
るが、（ｉ）に於いては、微細な調整に供する材料を見
つけ出すのが甚だ困難であり、一方（ｉｉ）に於いては
厚さ約１順の支持台６の熱伝導に寄与する部分は支持台
６の上面付近だけであるため支持台６の形状、例えば厚
さを少々変えたところで殆んど既述の如く調整は困難で
ある。
支持台６として選択する、（ｉｉ）支持台６の形状を変
えて支持台６への熱伝導状態を変化する、等が考えられ
るが、（ｉ）に於いては、微細な調整に供する材料を見
つけ出すのが甚だ困難であり、一方（ｉｉ）に於いては
厚さ約１順の支持台６の熱伝導に寄与する部分は支持台
６の上面付近だけであるため支持台６の形状、例えば厚
さを少々変えたところで殆んど既述の如く調整は困難で
ある。
尚、支持台６の厚み力寸分薄くなれば、斯る支持台６自
身の厚み調節により熱伝導の調整を行ない得るが、この
様な薄い支持台６は現実的でない。
身の厚み調節により熱伝導の調整を行ない得るが、この
様な薄い支持台６は現実的でない。
即ち、この種素子の通常の製造方法にあっては、焦電体
結晶のウェハを十分な厚みの支持台６に固着することに
より、ウエノ１の研摩や所望大きさへのタイシング作業
を支持台６と共になし脆弱なウェハの取扱いを容易にた
しているが、斯る支持台６が上記の如く薄くなると最早
支持台としての役目か期待できない。
結晶のウェハを十分な厚みの支持台６に固着することに
より、ウエノ１の研摩や所望大きさへのタイシング作業
を支持台６と共になし脆弱なウェハの取扱いを容易にた
しているが、斯る支持台６が上記の如く薄くなると最早
支持台としての役目か期待できない。
よって、本案実施例を第３図を参照して詳述すると、赤
外線透過フィルタ１３、筒体１４、基台１５、熱伝導度
５．５〜？、 ５Ｘ １０ ’Ｊ／ ｃｍ ・ｓｅｃ
Ｉ ’にのガラス或いは熱伝導度１４．２ Ｘ １Ｏ−
３Ｊ／ｃｍ ・ｓｅｃ −’ｐ；。
外線透過フィルタ１３、筒体１４、基台１５、熱伝導度
５．５〜？、 ５Ｘ １０ ’Ｊ／ ｃｍ ・ｓｅｃ
Ｉ ’にのガラス或いは熱伝導度１４．２ Ｘ １Ｏ−
３Ｊ／ｃｍ ・ｓｅｃ −’ｐ；。
の石英等から成る厚さ約ＩｒＩｒＩｎの支持台１６、厚
さ約２０〜５０μｍの焦電体薄片１７、導電性接着剤１
８、導線１９，２０、端子２１．２２は夫々従来例を示
した第１図に対応している。
さ約２０〜５０μｍの焦電体薄片１７、導電性接着剤１
８、導線１９，２０、端子２１．２２は夫々従来例を示
した第１図に対応している。
そして、２３は上記導電性接着剤１８と支持台１６との
間に介在固着されたマイラーフィルム或いはテフロン樹
脂等から成る厚さ約１００〜２００μｍの非金属性薄層
で、該薄層は上記支持台１６の熱伝導度によりも小なる
熱伝導度を有しており且つ支持台１６迄熱伝導を来たす
に十分な薄さである。
間に介在固着されたマイラーフィルム或いはテフロン樹
脂等から成る厚さ約１００〜２００μｍの非金属性薄層
で、該薄層は上記支持台１６の熱伝導度によりも小なる
熱伝導度を有しており且つ支持台１６迄熱伝導を来たす
に十分な薄さである。
尚、上記薄層２３の下面は銀ペースト等から成る導電性
接着剤２４にて支持台１６上面に固着されている。
接着剤２４にて支持台１６上面に固着されている。
以上詳述した如く本案焦電形温度検出素子によれば、支
持台上面に支持台の熱伝導度と異なる熱伝導度を有する
非金属性薄層を固着したことにより、支持台全体の熱伝
導度を変化することができ更に薄層の形状、例えば厚さ
を変えることにより微調整が容易に可能となるため、焦
電形温度検出素子の出力を容易に制御でき、それ故に赤
外線パルスの周期に最適な熱伝導度を選択でき焦電形温
度検出素子から最大出力を取り出すことも可能となる。
持台上面に支持台の熱伝導度と異なる熱伝導度を有する
非金属性薄層を固着したことにより、支持台全体の熱伝
導度を変化することができ更に薄層の形状、例えば厚さ
を変えることにより微調整が容易に可能となるため、焦
電形温度検出素子の出力を容易に制御でき、それ故に赤
外線パルスの周期に最適な熱伝導度を選択でき焦電形温
度検出素子から最大出力を取り出すことも可能となる。
又支持台は従来からの厚みのある形状を保つことができ
製造工程上焦電体薄片等を充分に支持することができる
為工程は容易となる。
製造工程上焦電体薄片等を充分に支持することができる
為工程は容易となる。
尚、本案実施例に於いては薄層２３の熱伝導度が支持台
１６の熱伝導度よりも小さい場合であったが、逆に大き
い場合でも同様に微細な出力制御を行なうことができる
。
１６の熱伝導度よりも小さい場合であったが、逆に大き
い場合でも同様に微細な出力制御を行なうことができる
。
第１図は従来の焦電形温度検出素子の側面図、第２図ａ
？ ｂは同素子に入力する赤外線パルスの図及び同素子
の出力波形図、第３図は本案実施例の焦電形温度検出素
子の側面図である。 １６・・・・・・支持台、２３・・・・・・薄層、１７
・・・・・・焦電体薄片。
？ ｂは同素子に入力する赤外線パルスの図及び同素子
の出力波形図、第３図は本案実施例の焦電形温度検出素
子の側面図である。 １６・・・・・・支持台、２３・・・・・・薄層、１７
・・・・・・焦電体薄片。
Claims (2)
- （１）絶縁性支持台、該支持台上に固着され支持台の熱
伝導度と異なる熱伝導度を有する非金属性薄層、該薄層
上に固着され物体の放射する赤外線を電気信号に変換す
る焦電体薄片を具備する焦電形温度検出素子。 - （２）実用新案登録請求の範囲第（１）項に於いて、上
記薄層の熱伝導度は上記支持台の熱伝導度よりも小さい
事を特徴とする焦電形温度検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12411278U JPS6039785Y2 (ja) | 1978-09-07 | 1978-09-07 | 焦電形温度検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12411278U JPS6039785Y2 (ja) | 1978-09-07 | 1978-09-07 | 焦電形温度検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5540387U JPS5540387U (ja) | 1980-03-15 |
| JPS6039785Y2 true JPS6039785Y2 (ja) | 1985-11-29 |
Family
ID=29083830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12411278U Expired JPS6039785Y2 (ja) | 1978-09-07 | 1978-09-07 | 焦電形温度検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039785Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60219483A (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-02 | Mazda Motor Corp | ベ−ンポンプ |
| JPH0430394Y2 (ja) * | 1986-12-25 | 1992-07-22 | ||
| JPH0243485U (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-26 |
-
1978
- 1978-09-07 JP JP12411278U patent/JPS6039785Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5540387U (ja) | 1980-03-15 |
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