JPS603992A - レ−ザ光反射ミラ−及び集光レンズの保護方法 - Google Patents
レ−ザ光反射ミラ−及び集光レンズの保護方法Info
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- JPS603992A JPS603992A JP58113050A JP11305083A JPS603992A JP S603992 A JPS603992 A JP S603992A JP 58113050 A JP58113050 A JP 58113050A JP 11305083 A JP11305083 A JP 11305083A JP S603992 A JPS603992 A JP S603992A
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- Japan
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- laser
- nozzle
- passage
- laser light
- condenser lens
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1488—Means for protecting nozzles, e.g. the tip surface
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は非接触精密加工を特徴とするレーザ加工機にお
けるレーザ光反射ミラー及び集光レンズの保護方法に関
するものである。
けるレーザ光反射ミラー及び集光レンズの保護方法に関
するものである。
単一波長のエネルギー密度の高いレーザビームは各種の
素材を蒸発、溶融あるいは組織変化させるので、鋼板や
ボード類等の切断、彫刻、溶接、焼入等にいわゆる非接
触加工として使用されている。このレーザビームを用い
た加工機に使用されているミラーとかレンズは特殊材料
で、表面にシリコンコーティングを施す等、高価である
にもかかわらず、約１ケ月で使用不能となっていた。そ
の原因について検討したところ、ミラー表面に浮遊粉塵
特にワーク切断時の鉄粉の切粉付着があり、その後のレ
ーザ光照射によりこれが焼結して、表面のシリコン面が
汚染され反射率が低下して切断等ができなくなるもので
、このような現象は特に横向きとか上向きのミラーで起
ることが判明したのである。浮遊粉塵のレーザー光路へ
の侵入防止については光路全体にカバーを設ける等の手
段が施されているが、ミラー調整時とがレーザノズルの
移動に伴うジャバラ型カバーの伸縮によって僅かな隙間
からでも侵入するのである。
素材を蒸発、溶融あるいは組織変化させるので、鋼板や
ボード類等の切断、彫刻、溶接、焼入等にいわゆる非接
触加工として使用されている。このレーザビームを用い
た加工機に使用されているミラーとかレンズは特殊材料
で、表面にシリコンコーティングを施す等、高価である
にもかかわらず、約１ケ月で使用不能となっていた。そ
の原因について検討したところ、ミラー表面に浮遊粉塵
特にワーク切断時の鉄粉の切粉付着があり、その後のレ
ーザ光照射によりこれが焼結して、表面のシリコン面が
汚染され反射率が低下して切断等ができなくなるもので
、このような現象は特に横向きとか上向きのミラーで起
ることが判明したのである。浮遊粉塵のレーザー光路へ
の侵入防止については光路全体にカバーを設ける等の手
段が施されているが、ミラー調整時とがレーザノズルの
移動に伴うジャバラ型カバーの伸縮によって僅かな隙間
からでも侵入するのである。
浮遊粉塵によるミラー反射率の低下以外にも切断能力の
低下要因が判明している。それはアクリルとかＡＢＳ樹
脂製プラスチックの切断時にガス発生があってこれが光
軸に入るとレーザ光の屈折率カ変って出力が低下するの
である。
低下要因が判明している。それはアクリルとかＡＢＳ樹
脂製プラスチックの切断時にガス発生があってこれが光
軸に入るとレーザ光の屈折率カ変って出力が低下するの
である。
上記のような現象は加工台が固定でレーザノズルがＸ−
Ｙ方向に移動するノズル移動型レーザ加工機において特
に著しい、それはスライダーが蛇腹で伸縮するから、伸
びるときに外部の空気を吸いこむことによるものである
。
Ｙ方向に移動するノズル移動型レーザ加工機において特
に著しい、それはスライダーが蛇腹で伸縮するから、伸
びるときに外部の空気を吸いこむことによるものである
。
以上のようなレーザ加工機における問題点を解決すべく
鋭意研究の結果、本発明に至ったのである。すなわち１
発信器本体からレーザノズルに至るレーザ光通路中を清
浄空気で加圧状態に保持することによって上記問題点を
総て解決したのである。
鋭意研究の結果、本発明に至ったのである。すなわち１
発信器本体からレーザノズルに至るレーザ光通路中を清
浄空気で加圧状態に保持することによって上記問題点を
総て解決したのである。
以下図面によって本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の方法を実施しているＸ−Ｙノズル移動
型レーザ加工機の平面図であり、第２図は同正面図であ
る。本発明の方法はこのＸ−Ｙノズル移動型レーザ加工
機以外にワーク移動型の場合にも実施可能である。図に
おいてレーザノズル（１）は作業台（２）上をＸ−Ｙ方
向に自由に移動してワーク（３）の加工を行なう。発振
器（４）を出たレーザ光はレーザ光通路（５）中をミラ
ー（Ｍｌ〜Ｍ４）によってレーザノズル（１）の集光レ
ンズに達する。
型レーザ加工機の平面図であり、第２図は同正面図であ
る。本発明の方法はこのＸ−Ｙノズル移動型レーザ加工
機以外にワーク移動型の場合にも実施可能である。図に
おいてレーザノズル（１）は作業台（２）上をＸ−Ｙ方
向に自由に移動してワーク（３）の加工を行なう。発振
器（４）を出たレーザ光はレーザ光通路（５）中をミラ
ー（Ｍｌ〜Ｍ４）によってレーザノズル（１）の集光レ
ンズに達する。
本例ではミラー（Ｍｌ）（Ｍ４）は下向き、ミラー（Ｍ
３）は横向き、ミラー（Ｍｌ）は上向きであって、特に
、ミラー面が上向きとなっている ミラー（Ｍｌ）の鏡
面において、その損傷が著しい、なお、ミラー（Ｍｌ）
は第１図中においてミラー（Ｍｌ）の直下に位置してい
る。次いで横向きのミラー（Ｍ３）が損傷を受ける。ま
た、ノズル（１）上方の集光レンズ（９）も水平配置で
あるから ミラー（Ｍｌ）同様に早期１こ損傷を受ける
。 レーザ光通路（５）はＸ−Ｙのいずれの方向にも移
動が可能なように伸縮構造であり。
３）は横向き、ミラー（Ｍｌ）は上向きであって、特に
、ミラー面が上向きとなっている ミラー（Ｍｌ）の鏡
面において、その損傷が著しい、なお、ミラー（Ｍｌ）
は第１図中においてミラー（Ｍｌ）の直下に位置してい
る。次いで横向きのミラー（Ｍ３）が損傷を受ける。ま
た、ノズル（１）上方の集光レンズ（９）も水平配置で
あるから ミラー（Ｍｌ）同様に早期１こ損傷を受ける
。 レーザ光通路（５）はＸ−Ｙのいずれの方向にも移
動が可能なように伸縮構造であり。
各２箇所宛の保護パイプ（７）及び蛇腹（８）によって
密閉構造となっている６ しかしながら蛇腹（８）が伸
びる時には光通路（５）内が減圧状態となり、外気を吸
引するので、問題の浮遊粉塵やガスによるレーザ光通路
（５）内汚染が起る。そこで本発明者は種々検討した結
果、図にみられるようにレーザ光通路（５）の基部に加
圧清浄空気の導入口（６）を設け、これより加圧清浄空
気を送気することにより、レーザ光通路（５）内汚染が
皆無になることを見出したのである。この加圧は若干加
圧状態となる程度で十分である。このことによりレーザ
光反射ミ １ラー及び集光レンズの汚染が防げることと
なった。
密閉構造となっている６ しかしながら蛇腹（８）が伸
びる時には光通路（５）内が減圧状態となり、外気を吸
引するので、問題の浮遊粉塵やガスによるレーザ光通路
（５）内汚染が起る。そこで本発明者は種々検討した結
果、図にみられるようにレーザ光通路（５）の基部に加
圧清浄空気の導入口（６）を設け、これより加圧清浄空
気を送気することにより、レーザ光通路（５）内汚染が
皆無になることを見出したのである。この加圧は若干加
圧状態となる程度で十分である。このことによりレーザ
光反射ミ １ラー及び集光レンズの汚染が防げることと
なった。
本発明のレーザ光反射ミラー及び集光レンズの保護方法
の実施によって、レーザノズル移動時やミラー調整時の
浮遊粉塵の侵入が阻止され、したがってミラー等の寿命
が延びる効果が得られた。
の実施によって、レーザノズル移動時やミラー調整時の
浮遊粉塵の侵入が阻止され、したがってミラー等の寿命
が延びる効果が得られた。
加えて、加工中に発生するガスのレーザ光通路（５）内
への侵入も防止できるので、加工精度向上と能率向上効
果も得られたのである。
への侵入も防止できるので、加工精度向上と能率向上効
果も得られたのである。
第１図は本発明の方法を実施し・ているＸ−ｙノズル移
動型レーザ加工機の平面図であり、第２図は同正面図で
ある。 （１）レーザノズル （２）作業台 （３）ワーク （４）発振器 （５）レーザ光通路 （６）加圧清浄空気の導入口（７
）保護パイプ （８）蛇腹 以上 出願人 有限会社 老 松 産 業 代理人 弁理士 −森 廣三部
動型レーザ加工機の平面図であり、第２図は同正面図で
ある。 （１）レーザノズル （２）作業台 （３）ワーク （４）発振器 （５）レーザ光通路 （６）加圧清浄空気の導入口（７
）保護パイプ （８）蛇腹 以上 出願人 有限会社 老 松 産 業 代理人 弁理士 −森 廣三部
Claims (1)
- １発信器本体からレーザノズルに至るレーザ光通路中を
清浄空気で加圧状態に保持することを特徴とするレーザ
光反射ミラー及び集光レンズの保護方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113050A JPS603992A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | レ−ザ光反射ミラ−及び集光レンズの保護方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113050A JPS603992A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | レ−ザ光反射ミラ−及び集光レンズの保護方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS603992A true JPS603992A (ja) | 1985-01-10 |
Family
ID=14602221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58113050A Pending JPS603992A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | レ−ザ光反射ミラ−及び集光レンズの保護方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS603992A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5897800A (en) * | 1996-07-17 | 1999-04-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser beam machine based on optically scanning system |
| US6331693B1 (en) * | 1999-06-28 | 2001-12-18 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
| JP2008546540A (ja) * | 2005-06-21 | 2008-12-25 | ファメッカニカ．データ エス．ピー．エイ． | ５０〜２０００１０−３ｍｍの直径のレーザスポットを用いて、物品、特に生理用品及びその構成要素をレーザ処理するための方法及び装置 |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP58113050A patent/JPS603992A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5897800A (en) * | 1996-07-17 | 1999-04-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser beam machine based on optically scanning system |
| US6331693B1 (en) * | 1999-06-28 | 2001-12-18 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
| JP2008546540A (ja) * | 2005-06-21 | 2008-12-25 | ファメッカニカ．データ エス．ピー．エイ． | ５０〜２０００１０−３ｍｍの直径のレーザスポットを用いて、物品、特に生理用品及びその構成要素をレーザ処理するための方法及び装置 |
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