JPS6040230B2 - 赤外線撮像装置 - Google Patents
赤外線撮像装置Info
- Publication number
- JPS6040230B2 JPS6040230B2 JP55039990A JP3999080A JPS6040230B2 JP S6040230 B2 JPS6040230 B2 JP S6040230B2 JP 55039990 A JP55039990 A JP 55039990A JP 3999080 A JP3999080 A JP 3999080A JP S6040230 B2 JPS6040230 B2 JP S6040230B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- detector
- slit
- infrared detector
- imaging device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/20—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は走査の方向と直交する方向に並んだ光導伝形
光検出器列を用いた、並列走査方式赤外線撮像装置に関
するものである。
光検出器列を用いた、並列走査方式赤外線撮像装置に関
するものである。
第１図は、従釆の光導伝形検出器と一次元スキャナを用
いた並列走査方式赤外線撮像装置の構成を示す図である
。
いた並列走査方式赤外線撮像装置の構成を示す図である
。
図において、入射赤外光１は受光光学系２により集光さ
れた後に赤外線検出器列３の方向とは直交する方向に走
査する水平スキャナ４で走査され、バイアス電源５から
バイアス電流の供給されている赤外線検出器列３に入射
する。赤外線検出器列３の出力として得られる電気信号
は、信号処理回路６で処理され、映像信号７として画像
表示器８に供給される。撮像された情景を画像表示器８
で表示するには、入射赤外光１の受光光学系２に対する
入射角すなわち、スキャナの向いている角度に対応した
位置に映像信号７の大きさに応じた輝度のスポットを発
生させる方法が用いられる。スキャナの向きは同期信号
９としてスキャナから信号処理回路６へ電気信号の形で
伝えられ、映像信号７にはこの情報も含まれている。第
２図は、並列走査方式を表わす図である。赤外線検出器
列３の各検出器は走査の方向１０とは直交する方向に並
んでおり、水平スキャナの走査により、検出器の個数に
等しい走査線数で視野１１内を走査する。各検出器の出
力は各検出器毎に設けられた前直増幅器１２により増幅
された後に、マルチプレクサ１３により、直列形式の映
像信号７に変換されて画像表示器８に供給される。なお
、前直増幅器１２およびマルチプレクサ１３は第１図に
示した装置では信号処理回路６内に含まれる。ところで
、赤外線検出器列のうち２個の検出器に着目し、第１の
検出器の感度、受光電力をそれぞれＲ１，Ｐ１、第２の
検出器の感度、受光電力をそれぞれＲ２，Ｐ２とすると
、第１の検出器、第２の検出器の出力ＳＩ，Ｓ２はそれ
ぞれ次式で表わせる。ＳＩ＝ＲＩＰＩ
…‘１１Ｓ２＝Ｒが２
…【２’画像表示器に表示される画像の輝度
差△Ｂは、各検出器に対して設けられた増幅器の利得Ｇ
および画像表示器で決まる定数Ｋを用い、次のように表
わされる。
れた後に赤外線検出器列３の方向とは直交する方向に走
査する水平スキャナ４で走査され、バイアス電源５から
バイアス電流の供給されている赤外線検出器列３に入射
する。赤外線検出器列３の出力として得られる電気信号
は、信号処理回路６で処理され、映像信号７として画像
表示器８に供給される。撮像された情景を画像表示器８
で表示するには、入射赤外光１の受光光学系２に対する
入射角すなわち、スキャナの向いている角度に対応した
位置に映像信号７の大きさに応じた輝度のスポットを発
生させる方法が用いられる。スキャナの向きは同期信号
９としてスキャナから信号処理回路６へ電気信号の形で
伝えられ、映像信号７にはこの情報も含まれている。第
２図は、並列走査方式を表わす図である。赤外線検出器
列３の各検出器は走査の方向１０とは直交する方向に並
んでおり、水平スキャナの走査により、検出器の個数に
等しい走査線数で視野１１内を走査する。各検出器の出
力は各検出器毎に設けられた前直増幅器１２により増幅
された後に、マルチプレクサ１３により、直列形式の映
像信号７に変換されて画像表示器８に供給される。なお
、前直増幅器１２およびマルチプレクサ１３は第１図に
示した装置では信号処理回路６内に含まれる。ところで
、赤外線検出器列のうち２個の検出器に着目し、第１の
検出器の感度、受光電力をそれぞれＲ１，Ｐ１、第２の
検出器の感度、受光電力をそれぞれＲ２，Ｐ２とすると
、第１の検出器、第２の検出器の出力ＳＩ，Ｓ２はそれ
ぞれ次式で表わせる。ＳＩ＝ＲＩＰＩ
…‘１１Ｓ２＝Ｒが２
…【２’画像表示器に表示される画像の輝度
差△Ｂは、各検出器に対して設けられた増幅器の利得Ｇ
および画像表示器で決まる定数Ｋを用い、次のように表
わされる。
△Ｂ＝ＫＧＳＩ−ＫＧＳ２
＝ＫＧ｛Ｐ１（ＲＩ−Ｒ２）十（ＰＩ−Ｐ２）Ｒ２｝（
３｝画像表示器に表示される画像の輝度差△Ｂは、受光
電力の差によってのみ決まることが望ましく、第【３｝
式の｛｝中第２項がこの効果を表わしている。
３｝画像表示器に表示される画像の輝度差△Ｂは、受光
電力の差によってのみ決まることが望ましく、第【３｝
式の｛｝中第２項がこの効果を表わしている。
これに対し、第１項は、各検出器間の感度の差によって
生ずる輝度差を表わしている。第１項が第２項に対し無
視できるのは、ｍ・青まれ《ＩＭ言三２１ ‐‐
‐【４１の条件が成り立つときであるが、常温の物体に
対してはＩＰＩ−Ｐ２ｌくＰＩであるので、各検出器間
の感度差は極めて小さな値に制限されなければならない
。
生ずる輝度差を表わしている。第１項が第２項に対し無
視できるのは、ｍ・青まれ《ＩＭ言三２１ ‐‐
‐【４１の条件が成り立つときであるが、常温の物体に
対してはＩＰＩ−Ｐ２ｌくＰＩであるので、各検出器間
の感度差は極めて小さな値に制限されなければならない
。
ところが、現在の赤外線検出器の製造技術では数多くの
検出器について第‘４｝式の条件を満たすことは困難で
ある。従って、従来の装置の表示画像には検出器の感度
ムラによる横縞状の輝度ムラが生ずる欠点があった。こ
の発明は、この欠点を除去するために、赤外線検出器列
に基準赤外線光源から赤外光を入射させ、その際の赤外
線検出器出力を用いて、各検出器に対するバイアス電流
を変化させる回路を設けたもので、次の原理を用いてい
る。
検出器について第‘４｝式の条件を満たすことは困難で
ある。従って、従来の装置の表示画像には検出器の感度
ムラによる横縞状の輝度ムラが生ずる欠点があった。こ
の発明は、この欠点を除去するために、赤外線検出器列
に基準赤外線光源から赤外光を入射させ、その際の赤外
線検出器出力を用いて、各検出器に対するバイアス電流
を変化させる回路を設けたもので、次の原理を用いてい
る。
光導伝検出器の感度Ｒは単位バイアス電流当りの感度Ｒ
ｏ、バイアス電流ｌｂを用い、次のように表わせる。
ｏ、バイアス電流ｌｂを用い、次のように表わせる。
Ｒ＝Ｒ。
×ｌｂ …｛５｝従
って、バイアス電流を変えればそれに応じて感度が変わ
るため、各検出器毎にＲｏが異なる場合もそれに応じて
バイアス電流を各検出器毎に適切に設定すれば、赤外線
検出器列の全ての検出器についてＲが等しくなり、第｛
４ー式の条件を満たすことが可能となる。以下、図面を
用い、この発明について詳細に説明する。第３図は、こ
の発明の実施例を表わす図である。
って、バイアス電流を変えればそれに応じて感度が変わ
るため、各検出器毎にＲｏが異なる場合もそれに応じて
バイアス電流を各検出器毎に適切に設定すれば、赤外線
検出器列の全ての検出器についてＲが等しくなり、第｛
４ー式の条件を満たすことが可能となる。以下、図面を
用い、この発明について詳細に説明する。第３図は、こ
の発明の実施例を表わす図である。
図において、赤外線検出器列３に入射する赤外光は「外
部より入射する入射赤外光１もしくは受光光学系２内の
結像面に設けられたレティクル１４より生ずる赤外光で
、これらのうちどちらが入射するかは赤外線検出器列３
の方向とは直交する方向に走査する水平スキャナ４の向
きによって決まる。水平スキャナ４の回転によって赤外
線検出器列３に入射赤外光１が入射し始める直前に赤外
線検出器列３が見るレテイクル１４面上には、水平スキ
ャナ４が走査する方向とは直交方向に長辺を持つ、２本
の互いに平行な、赤外線放射量の異なるスリット状のパ
ターンが設けられている。この２本のスリット状のパタ
ーンは、互いに異なった温度に設定するかもしくは異な
る赤外放射率を持つ加工を施すことによって実現できる
。感度補正信号処理回路１５は、レティクル１４面上の
この２本のスリット状のパターンに対応した、各検出器
に対して設けられた前暦増幅器１２の出力をもとに、赤
外線検出器列３の各検出器間の感度の差を検出する。赤
外線検出器列３がスリット状のパターンを見るタイミン
グは同期信号９によって感度補正信号処理回路１５に伝
えられる。感度補正信号処理回路１５は検出した各検出
器間の感度差をもとに各検出器に対しバイアス電流１７
を第（４｝式の条件を全ての検出器が満たすように調整
し供給する。また、感度補正信号処理回路１５は内部に
マルチプレクサを含んでおり、前暦増幅器１２を通じて
各検出器から並列に送られて釆る信号を直列形式に変換
し、映像信号７として画像表示器８に供給する。第４図
は、この発明に係る赤外線撮像装置におけるレティクル
上のパターンの像と撮像装置が必要とする視野の関係を
表わす図である。
部より入射する入射赤外光１もしくは受光光学系２内の
結像面に設けられたレティクル１４より生ずる赤外光で
、これらのうちどちらが入射するかは赤外線検出器列３
の方向とは直交する方向に走査する水平スキャナ４の向
きによって決まる。水平スキャナ４の回転によって赤外
線検出器列３に入射赤外光１が入射し始める直前に赤外
線検出器列３が見るレテイクル１４面上には、水平スキ
ャナ４が走査する方向とは直交方向に長辺を持つ、２本
の互いに平行な、赤外線放射量の異なるスリット状のパ
ターンが設けられている。この２本のスリット状のパタ
ーンは、互いに異なった温度に設定するかもしくは異な
る赤外放射率を持つ加工を施すことによって実現できる
。感度補正信号処理回路１５は、レティクル１４面上の
この２本のスリット状のパターンに対応した、各検出器
に対して設けられた前暦増幅器１２の出力をもとに、赤
外線検出器列３の各検出器間の感度の差を検出する。赤
外線検出器列３がスリット状のパターンを見るタイミン
グは同期信号９によって感度補正信号処理回路１５に伝
えられる。感度補正信号処理回路１５は検出した各検出
器間の感度差をもとに各検出器に対しバイアス電流１７
を第（４｝式の条件を全ての検出器が満たすように調整
し供給する。また、感度補正信号処理回路１５は内部に
マルチプレクサを含んでおり、前暦増幅器１２を通じて
各検出器から並列に送られて釆る信号を直列形式に変換
し、映像信号７として画像表示器８に供給する。第４図
は、この発明に係る赤外線撮像装置におけるレティクル
上のパターンの像と撮像装置が必要とする視野の関係を
表わす図である。
赤外線検出器列３の各検出器はスキヤナによって走査の
方向１０１こ走査するが視野１１を走査する直前にレテ
ィクル上の２本のスリット状のパターンすなわち第１ス
リット１８と第２スリット１９を走査する。第５図は、
感度補正信号処理回路の構成の一例を表わすブロック図
である。
方向１０１こ走査するが視野１１を走査する直前にレテ
ィクル上の２本のスリット状のパターンすなわち第１ス
リット１８と第２スリット１９を走査する。第５図は、
感度補正信号処理回路の構成の一例を表わすブロック図
である。
ディジタルメモリ２川ま各検出器に供給するためのバイ
アス電流の値をディジタル化して記憶しておくためのも
のである。多重回路２１は、検出器を順々に指定する検
出器指定回路２２から与えられる検出器指定信号２３を
もとに、多くの検出器のうちの１つを選択し、その検出
器に対応した前層増幅器出力２４を映像信号７として出
力する。電圧修正回路２５は映像信号７と同期信号９を
もとに、検出器指定回路２２によって指定されている検
出器の感度が予め設定されている値と異なる場合にその
差を検出し、ディジタルメモリ２０のメモリ内容２６に
修正を加えて書込信号２７とともに書込内容２８として
ディジタルメモリ２０に送り返す。なお、書込信号２７
はディジタルメモリ２０を書込状態にするための信号で
、この信号が与えられない期間にはディジタルメモリ２
０の記憶内容は変わらない。サンプル・ホールド信号２
９は、検出器指定回路２２によって指定された検出器に
対応したサンプル・ホールド回路３０が、ディジタル・
アナログ変換器３１によってアナログ量に変換されたデ
ィジタルメモリ２０の内容をサンプル・ホールドするた
めに検出器指定回路２２より発生される。また、サンプ
ル・ホールド回路３０の出力を安定化させるために設け
られた低域通過フィル夕３２を通過した後、サンプル・
ホールド回路３０の出力は、バイアス電流１７となる。
第６図は、電圧修正回路の構成の一例を表わすフロック
図である。
アス電流の値をディジタル化して記憶しておくためのも
のである。多重回路２１は、検出器を順々に指定する検
出器指定回路２２から与えられる検出器指定信号２３を
もとに、多くの検出器のうちの１つを選択し、その検出
器に対応した前層増幅器出力２４を映像信号７として出
力する。電圧修正回路２５は映像信号７と同期信号９を
もとに、検出器指定回路２２によって指定されている検
出器の感度が予め設定されている値と異なる場合にその
差を検出し、ディジタルメモリ２０のメモリ内容２６に
修正を加えて書込信号２７とともに書込内容２８として
ディジタルメモリ２０に送り返す。なお、書込信号２７
はディジタルメモリ２０を書込状態にするための信号で
、この信号が与えられない期間にはディジタルメモリ２
０の記憶内容は変わらない。サンプル・ホールド信号２
９は、検出器指定回路２２によって指定された検出器に
対応したサンプル・ホールド回路３０が、ディジタル・
アナログ変換器３１によってアナログ量に変換されたデ
ィジタルメモリ２０の内容をサンプル・ホールドするた
めに検出器指定回路２２より発生される。また、サンプ
ル・ホールド回路３０の出力を安定化させるために設け
られた低域通過フィル夕３２を通過した後、サンプル・
ホールド回路３０の出力は、バイアス電流１７となる。
第６図は、電圧修正回路の構成の一例を表わすフロック
図である。
映像信号７は、雑音を低減するために設けられた低域通
過フィル夕３３を通過した後に２つのサンプル・ホール
ド回路３４ａ，３４ｂに供給される。同期信号分離回路
３５は同期信号９をもとに、スキャナの向きによって赤
外線検出器列が第１スリットを見ているときに第１スリ
ット同期信号３６を、第２スリットを見ているときに第
２スリット同期信号３７を発生する。２つのサンプル・
ホ−ルド回路３４ａ，３４ｂはそれぞれ、第１スリット
同期信号３６、第２スリット同期信号３７をもとに、映
像信号７をサンプル・ホールドし、その出力は第１スリ
ットレベル３８、第２スリットレベル３９を発生する。
過フィル夕３３を通過した後に２つのサンプル・ホール
ド回路３４ａ，３４ｂに供給される。同期信号分離回路
３５は同期信号９をもとに、スキャナの向きによって赤
外線検出器列が第１スリットを見ているときに第１スリ
ット同期信号３６を、第２スリットを見ているときに第
２スリット同期信号３７を発生する。２つのサンプル・
ホ−ルド回路３４ａ，３４ｂはそれぞれ、第１スリット
同期信号３６、第２スリット同期信号３７をもとに、映
像信号７をサンプル・ホールドし、その出力は第１スリ
ットレベル３８、第２スリットレベル３９を発生する。
赤外線検出器列の各検出器の感度によって第１スリット
レベル３８と第２スリットレベル３９の差が決まり、全
ての検出器の感度が同じであれば、この差も一定となる
。減算器４川ま第１スリットレベル３８と第２スリット
レベル３９の差を求め、この差と予め定められた基準値
４１との差が再び減算器４２によって求められ、誤差信
号４３となる。この誤差信号４３は予め定められた減衰
係数を持つ係数器４４を通過した後、アナログ・ディジ
タル変換器４５に与えられ、ディジタル化誤差信号とな
る。ディジタル加算器４７はメモリ内容２６とディジタ
ル化誤差信号４６を加算して書込内容２８を発生する。
また、判別器４８はディジタル化誤差信号４６の絶対値
がある値以上になったときに、ディジタルメモリの内容
を修正するための書込信号２７を発生する。第７図は、
電圧修正回路における主要な信号の位相関係を表わす図
で、映像信号７、第１スリット同期信号３６、第２スリ
ット同期信号３７、第１スリットレベル３８、第２スリ
ットレベル３９の関係を示す。
レベル３８と第２スリットレベル３９の差が決まり、全
ての検出器の感度が同じであれば、この差も一定となる
。減算器４川ま第１スリットレベル３８と第２スリット
レベル３９の差を求め、この差と予め定められた基準値
４１との差が再び減算器４２によって求められ、誤差信
号４３となる。この誤差信号４３は予め定められた減衰
係数を持つ係数器４４を通過した後、アナログ・ディジ
タル変換器４５に与えられ、ディジタル化誤差信号とな
る。ディジタル加算器４７はメモリ内容２６とディジタ
ル化誤差信号４６を加算して書込内容２８を発生する。
また、判別器４８はディジタル化誤差信号４６の絶対値
がある値以上になったときに、ディジタルメモリの内容
を修正するための書込信号２７を発生する。第７図は、
電圧修正回路における主要な信号の位相関係を表わす図
で、映像信号７、第１スリット同期信号３６、第２スリ
ット同期信号３７、第１スリットレベル３８、第２スリ
ットレベル３９の関係を示す。
なお、以上はスキャナとして一次元スキャナを用いる場
合について説明したが、この代りに互いに直交する方向
に走査するスキャナを組合わせた二次元スキャナを用い
た場合も、以上と同様の方法で同様の効果が得られる。
合について説明したが、この代りに互いに直交する方向
に走査するスキャナを組合わせた二次元スキャナを用い
た場合も、以上と同様の方法で同様の効果が得られる。
さらに、以上の説明では第１スリットレベルと第２スリ
ットレベルの差と比較する基準値として、予め設定され
た値を用いたが、この代りに全ての検出器における第１
スリットレベルと第２スリットレベルの差を求め、この
平均値を基準値として用いれば誤差信号のダイナミック
レンジを小さくすることができる。また、以上の説明で
はバイアス電流の値を全てディジタル化してメモリに記
憶する方法について説明したが、全ての検出器に対して
共通のオフセット値を与え、その値から各検出器に対応
する増減分のみをディジタルメモリに記憶する構成にす
れば、バイアス電流の設定精度に対するメモリ容量を少
なくすることができる。以上のように、この発明に係る
赤外線撮像装置では、複数の赤外線検出器間の感度差を
自動的に補正する回路を有することにより、均一性の高
い赤外像が得られる。
ットレベルの差と比較する基準値として、予め設定され
た値を用いたが、この代りに全ての検出器における第１
スリットレベルと第２スリットレベルの差を求め、この
平均値を基準値として用いれば誤差信号のダイナミック
レンジを小さくすることができる。また、以上の説明で
はバイアス電流の値を全てディジタル化してメモリに記
憶する方法について説明したが、全ての検出器に対して
共通のオフセット値を与え、その値から各検出器に対応
する増減分のみをディジタルメモリに記憶する構成にす
れば、バイアス電流の設定精度に対するメモリ容量を少
なくすることができる。以上のように、この発明に係る
赤外線撮像装置では、複数の赤外線検出器間の感度差を
自動的に補正する回路を有することにより、均一性の高
い赤外像が得られる。
第１図は従来の光導伝形検出器と−次元スキャナを用い
た並列走査方式赤外線撮像装置の構成を示す図、第２図
は並列走査方式を表わす図、第３図はごの発明の実施例
を表わす図、第４図はこの発明に係る赤外線撮像装置に
おけるレティクル上のパターンの像と撮像装置が必要と
する視野の関係を表わす図、第５図は感度補正信号処理
回路の構成の一例を表わすブロック図、第６図は電圧修
正回路の構成の一例を表わすブロック図、第７図は電圧
修正回路における主要な信号の位相関係を表わす図であ
り、図中、１は入射赤外光、３は赤外線検出器列、１４
はしティクル、１５は感度補正信号処理回路、１７はバ
イアス電流、１８は第１スリット、１９は第２スリット
である。 なお図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示している。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図
た並列走査方式赤外線撮像装置の構成を示す図、第２図
は並列走査方式を表わす図、第３図はごの発明の実施例
を表わす図、第４図はこの発明に係る赤外線撮像装置に
おけるレティクル上のパターンの像と撮像装置が必要と
する視野の関係を表わす図、第５図は感度補正信号処理
回路の構成の一例を表わすブロック図、第６図は電圧修
正回路の構成の一例を表わすブロック図、第７図は電圧
修正回路における主要な信号の位相関係を表わす図であ
り、図中、１は入射赤外光、３は赤外線検出器列、１４
はしティクル、１５は感度補正信号処理回路、１７はバ
イアス電流、１８は第１スリット、１９は第２スリット
である。 なお図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示している。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図
Claims (1)
- １ 走査の方向と直交する方向に線状に配列された光導
伝形赤外線検出器列および受光光学系と、上記赤外線検
出器列が見る視野を二次元もしくは一次元的に走査する
スキヤナとを有する赤外線撮像装置において、受光光学
系内の結像面上のスキヤナが走査する範囲内であり、か
つ赤外線撮像装置が必要とする情景に対する視野を遮ら
ない位置に、上記赤外線検出器列の方向と同じ方向に長
辺を持つ、２本の互いに平行な、それぞれ赤外線放射量
の異なるスリツト状のパターンを持つレテイクルを設け
ると共に上記赤外線検出器列の各検出器に対して設けら
れた増幅器の、上記２つのスリツトの像に対応した出力
の差が全ての検出器について同一の値となるように赤外
線検出器列の各光導伝形赤外線検出器に与えるバイアス
電流を自動的に制御するように構成したことを特徴とす
る赤外線撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55039990A JPS6040230B2 (ja) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | 赤外線撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55039990A JPS6040230B2 (ja) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | 赤外線撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56137775A JPS56137775A (en) | 1981-10-27 |
| JPS6040230B2 true JPS6040230B2 (ja) | 1985-09-10 |
Family
ID=12568368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55039990A Expired JPS6040230B2 (ja) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | 赤外線撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040230B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3212874B2 (ja) * | 1996-04-19 | 2001-09-25 | 日本電気株式会社 | ボロメータ型赤外線撮像装置 |
-
1980
- 1980-03-28 JP JP55039990A patent/JPS6040230B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56137775A (en) | 1981-10-27 |
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