JPS6041047U - ウエハ−中心位置出し装置 - Google Patents
ウエハ−中心位置出し装置Info
- Publication number
- JPS6041047U JPS6041047U JP13180783U JP13180783U JPS6041047U JP S6041047 U JPS6041047 U JP S6041047U JP 13180783 U JP13180783 U JP 13180783U JP 13180783 U JP13180783 U JP 13180783U JP S6041047 U JPS6041047 U JP S6041047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning device
- wafer center
- center positioning
- wafer
- arms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はウェハーの平面図、第２図はウェハーを収納す
るキャリアの斜視図、第３図、第４図はそれぞれ本考案
の一実施例を示す斜視図と正面図である。 １・・・ウェハー、１３・・・プーリー、１４・・・タ
イミングベルト、１７・・・エアシリンダ、２０・・・
腕、２１・・・ローラ。
るキャリアの斜視図、第３図、第４図はそれぞれ本考案
の一実施例を示す斜視図と正面図である。 １・・・ウェハー、１３・・・プーリー、１４・・・タ
イミングベルト、１７・・・エアシリンダ、２０・・・
腕、２１・・・ローラ。
Claims (1)
- 同一円周上に等間隔で配設された複数の回転中心軸と、
該回転中心軸にそれぞれ取り付けられ先端にウェハー当
接部を備えた複数体の腕と、複数本の前記腕を同期して
同一角速度で揺動させる駆動手段とを有することを特徴
とするウェハー中心位置出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13180783U JPS6041047U (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | ウエハ−中心位置出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13180783U JPS6041047U (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | ウエハ−中心位置出し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6041047U true JPS6041047U (ja) | 1985-03-23 |
Family
ID=30297869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13180783U Pending JPS6041047U (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | ウエハ−中心位置出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041047U (ja) |
-
1983
- 1983-08-26 JP JP13180783U patent/JPS6041047U/ja active Pending
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