JPS6041731A - 発光分光分析用グロ−放電装置 - Google Patents
発光分光分析用グロ−放電装置Info
- Publication number
- JPS6041731A JPS6041731A JP58150815A JP15081583A JPS6041731A JP S6041731 A JPS6041731 A JP S6041731A JP 58150815 A JP58150815 A JP 58150815A JP 15081583 A JP15081583 A JP 15081583A JP S6041731 A JPS6041731 A JP S6041731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inert gas
- glow discharge
- specimen
- ring
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/38—Cold-cathode tubes
- H01J17/40—Cold-cathode tubes with one cathode and one anode, e.g. glow tubes, tuning-indicator glow tubes, voltage-stabiliser tubes, voltage-indicator tubes
Landscapes
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、発光分光分析用グロー放電装置に関し、特
に表面の粗い試料についてグロー放電を安定に行なわせ
るための新規な改良に関するものである。
に表面の粗い試料についてグロー放電を安定に行なわせ
るための新規な改良に関するものである。
従来用いられたこの穂の装置としては鍾々あるが、表面
の粗い試料については、試料を装着する陰極部にあるＱ
リングにより１０−３Ｔｏｒｒ程度の真空度を保つこ
とが不可能であり、グロー放電を安定に行なわせるとと
が難しかつｆｒ ｏ表面の相い試料については、前処理
段階で表面を滑らかにする必要があった。また試料表面
の定性・定量分析を行う目的では前記の前処理を行うこ
とは不可能であり、分析ができないという欠点があった
・この発明は１以上の欠点をすみやかに除去するための
極めて効果的な手段を提供することを目的とし、試料を
装着する陰憧部に１０′Ｔｏｒｒ程度の真空度を保つた
めのＯＩＪングを二重に装着することにより、グロー放
電を安定に行なわせるたｙ）の障害となる外気の酸素、
窒素がグロー放電装置内に入らない様にし、かつグロー
放電装置内にＡｒなどの不活性ガスを数ＴＱｒ？’流す
ことにより、外気の酸素、窒素をＡｒなどの不活性ガヌ
に置換してグロー放電を安定にすると共に、更に二１１
１シールドの０リング外側の溝にＡｒなどの不活性ガス
を流す管を設け、強制的にグロー放電装置内に、表面の
粗い試料を通してＡｒなどの不活性ガスを挿入する構成
としたものである。
の粗い試料については、試料を装着する陰極部にあるＱ
リングにより１０−３Ｔｏｒｒ程度の真空度を保つこ
とが不可能であり、グロー放電を安定に行なわせるとと
が難しかつｆｒ ｏ表面の相い試料については、前処理
段階で表面を滑らかにする必要があった。また試料表面
の定性・定量分析を行う目的では前記の前処理を行うこ
とは不可能であり、分析ができないという欠点があった
・この発明は１以上の欠点をすみやかに除去するための
極めて効果的な手段を提供することを目的とし、試料を
装着する陰憧部に１０′Ｔｏｒｒ程度の真空度を保つた
めのＯＩＪングを二重に装着することにより、グロー放
電を安定に行なわせるたｙ）の障害となる外気の酸素、
窒素がグロー放電装置内に入らない様にし、かつグロー
放電装置内にＡｒなどの不活性ガスを数ＴＱｒ？’流す
ことにより、外気の酸素、窒素をＡｒなどの不活性ガヌ
に置換してグロー放電を安定にすると共に、更に二１１
１シールドの０リング外側の溝にＡｒなどの不活性ガス
を流す管を設け、強制的にグロー放電装置内に、表面の
粗い試料を通してＡｒなどの不活性ガスを挿入する構成
としたものである。
以下図面と共に、この発明による発光分光分析用グロー
放１！装置の好適な実施例について説明する。
放１！装置の好適な実施例について説明する。
図面において、１け被分析物としての試料、２け図示し
ない直流高圧電源により５００〜２０００ Ｖの陽電位
が印加される電極、６け電価２の上部に対し絶縁するた
めの絶縁体、４は電柩２の下部に対し絶縁するための絶
縁体、５Ｖｉ後述する■、電極と陰極７とを絶縁するた
めの絶縁体、６は絶縁体４゜５を介してＮ極２と陰極７
との間に介在された電極、７け試料１に接して配設され
た陰極、８はアルゴンなどの不活性ガスを導入するため
のガス導入管、９は絶縁体３に載置された石英ガラス窓
、１０は電極２に貫通して形成されたガス排気管、１１
は絶縁体５に貫通して形成されたガス排気管、１２は石
英ガラス窓を固定する支持枠、１３は試料１、電極２．
６．絶縁体３，４．５および石英ガラス窓９により形成
された放電空間である。１４け試料１と放電空間内の真
空度を保つためのＯＩＪング、１５はアルゴンなどの不
活性ガスを導入するガス導入管１６を有し且つ０１１ン
グ１７が装着される○リング溝である。
ない直流高圧電源により５００〜２０００ Ｖの陽電位
が印加される電極、６け電価２の上部に対し絶縁するた
めの絶縁体、４は電柩２の下部に対し絶縁するための絶
縁体、５Ｖｉ後述する■、電極と陰極７とを絶縁するた
めの絶縁体、６は絶縁体４゜５を介してＮ極２と陰極７
との間に介在された電極、７け試料１に接して配設され
た陰極、８はアルゴンなどの不活性ガスを導入するため
のガス導入管、９は絶縁体３に載置された石英ガラス窓
、１０は電極２に貫通して形成されたガス排気管、１１
は絶縁体５に貫通して形成されたガス排気管、１２は石
英ガラス窓を固定する支持枠、１３は試料１、電極２．
６．絶縁体３，４．５および石英ガラス窓９により形成
された放電空間である。１４け試料１と放電空間内の真
空度を保つためのＯＩＪング、１５はアルゴンなどの不
活性ガスを導入するガス導入管１６を有し且つ０１１ン
グ１７が装着される○リング溝である。
次に動作について説明する。
まず図面に示す通り金属性の試料１を設定した後、ガス
導入管８から矢印方向にアルゴンガスなどの不活性ガス
を放電空間１３内に導入する。同時にガス導入管１６よ
り同様に不活性ガスを導入し、ガス排気管１０．１１か
らは矢印方向にアルゴンなどの不活性ガスを排気する。
導入管８から矢印方向にアルゴンガスなどの不活性ガス
を放電空間１３内に導入する。同時にガス導入管１６よ
り同様に不活性ガスを導入し、ガス排気管１０．１１か
らは矢印方向にアルゴンなどの不活性ガスを排気する。
次に図示しない電源を駆動し、電極２と電極７の間に前
述の電圧を印加する。ここで電極６は電極２と静電結合
して、電極６には電極２の０９倍程度の電圧が印加され
る。同時に電極２．６の内側のアルゴンなどの不活性ガ
スは電離されて陽イオンとなり、陰極７と同電位の試料
１をヌパノタするので、試料１内の原子な飛散後、励起
され発光する。
述の電圧を印加する。ここで電極６は電極２と静電結合
して、電極６には電極２の０９倍程度の電圧が印加され
る。同時に電極２．６の内側のアルゴンなどの不活性ガ
スは電離されて陽イオンとなり、陰極７と同電位の試料
１をヌパノタするので、試料１内の原子な飛散後、励起
され発光する。
このとき、ガス導入管１６よシアルボン々どの不活性ガ
スは矢印入方向より粗い試料の表面を通りグロー放電装
置内に圧入されるので、外気中の酸素、窒素などの不純
物ガスは入り込むことがない。その結果、表面の粗い試
料を分析するときでも、表面の滑らかな試料を分析する
のと同様に、安定なグロー放電を行なわせることが可能
となる、以上述べた通り、この発明によれば、試料表面
の粗さに依存なく、同−放電灸件でグロー放電を行なわ
せることが可能であり、精度の良い分析が可能となる。
スは矢印入方向より粗い試料の表面を通りグロー放電装
置内に圧入されるので、外気中の酸素、窒素などの不純
物ガスは入り込むことがない。その結果、表面の粗い試
料を分析するときでも、表面の滑らかな試料を分析する
のと同様に、安定なグロー放電を行なわせることが可能
となる、以上述べた通り、この発明によれば、試料表面
の粗さに依存なく、同−放電灸件でグロー放電を行なわ
せることが可能であり、精度の良い分析が可能となる。
さらＫ、この発明によね、今まで困難であった表面の粗
い試料の表面分析も可能となり、応用範囲の広い、精度
の良い発光分光分析用グロー放電装置を提供することが
できる。
い試料の表面分析も可能となり、応用範囲の広い、精度
の良い発光分光分析用グロー放電装置を提供することが
できる。
図面は本発明の一実施例の縦断面図である。
１・・・・・・被分析試料
２・・・・・陽電極
３、４．５・・・・・・絶縁体
６・・・・・・電極
７・・・・・・陰極
８・・・・・・ガス導入管
９・・・・・・石英ガラス窓
１０．１１・・・・・・ガス排気管
１２・・・・・・石英ガラス窓支持枠
１３・・・・放電空間
１４ ・・・・・０リング
１５ ・・・・・・０りフグ溝
１６・・・・・・ガス導入管
１７・・・・０リング
以 上
出願人 株式会社 第二精工合
Claims (2)
- （１）被測定試料が装着される陰極部と、この陰極部に
対し絶縁された陽甑部との間に電圧を印加して放電発光
を起こさせるグロー放電装置において、上記陰極部にＡ
ｒなとの不活性ガヌを流すための溝を設けたことを特徴
とするグロー放電装置。 - （２） 前記陰極部の溝はグロー放電装置内の真空度を
保つための０リンダを装着する溝の外側に設けられたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のグロー放電
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150815A JPS6041731A (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150815A JPS6041731A (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6041731A true JPS6041731A (ja) | 1985-03-05 |
Family
ID=15505015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58150815A Pending JPS6041731A (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041731A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9823130B2 (en) | 2012-04-20 | 2017-11-21 | Office Color Science Co., Ltd. | Multi-angle spectral imaging measurement method and apparatus |
-
1983
- 1983-08-18 JP JP58150815A patent/JPS6041731A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9823130B2 (en) | 2012-04-20 | 2017-11-21 | Office Color Science Co., Ltd. | Multi-angle spectral imaging measurement method and apparatus |
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