JPS6042545U - ツ−ルタツチセンサ - Google Patents
ツ−ルタツチセンサInfo
- Publication number
- JPS6042545U JPS6042545U JP13284583U JP13284583U JPS6042545U JP S6042545 U JPS6042545 U JP S6042545U JP 13284583 U JP13284583 U JP 13284583U JP 13284583 U JP13284583 U JP 13284583U JP S6042545 U JPS6042545 U JP S6042545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- touch sensor
- tool touch
- bearing body
- detection
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案ツールタッチセンサの斜視図、第２図は
本考案ツールタッチセンサの断面図、第３図は受圧器の
交換作用を示す断面図である。 ＴＳ・・・・・・ツールタッチセンサ、３・・・・・・
受圧器、４・・・・・・探知杆、４ａ、４ｃ・・・・・
・支軸部、４ｂ・・・・・・探知鍔、５・・・・・・軸
受体、１７・・・・・・オイルシール、７ａ・・・・・
・軸受筒、８・・・・・・メタル、１２・・・・・・コ
イルばね、７・・・・・・ハウジング、Ｓ□９ Ｓ２
・・・・・・近接センサ、１３・・・・・・長身ボルト
、Ｔ・・・・・・ツール。
本考案ツールタッチセンサの断面図、第３図は受圧器の
交換作用を示す断面図である。 ＴＳ・・・・・・ツールタッチセンサ、３・・・・・・
受圧器、４・・・・・・探知杆、４ａ、４ｃ・・・・・
・支軸部、４ｂ・・・・・・探知鍔、５・・・・・・軸
受体、１７・・・・・・オイルシール、７ａ・・・・・
・軸受筒、８・・・・・・メタル、１２・・・・・・コ
イルばね、７・・・・・・ハウジング、Ｓ□９ Ｓ２
・・・・・・近接センサ、１３・・・・・・長身ボルト
、Ｔ・・・・・・ツール。
Claims (1)
- ハウジングの上下壁に軸受体と軸受筒を設け、軸受体内
にはオイルシールを備え、軸受筒内にメタルを備えた承
持部材に、探知杆を承持してばねの拡張力で浮上させる
と共に、頂端に受圧器をもつ前記探知杆の中腹に設けた
探知鍔が上側の軸受体の下端に浮上をストップされ、前
記ハウジング内に備えた近接センサが前記探知鍔を探知
する構成としたツールタッチセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13284583U JPS6042545U (ja) | 1983-08-27 | 1983-08-27 | ツ−ルタツチセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13284583U JPS6042545U (ja) | 1983-08-27 | 1983-08-27 | ツ−ルタツチセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6042545U true JPS6042545U (ja) | 1985-03-26 |
Family
ID=30299868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13284583U Pending JPS6042545U (ja) | 1983-08-27 | 1983-08-27 | ツ−ルタツチセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042545U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20240035951A (ko) | 2021-07-16 | 2024-03-19 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 자외선 발광소자용 에피택셜 웨이퍼 및 그의 제조방법 |
| KR20240088832A (ko) | 2021-10-27 | 2024-06-20 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 에피택셜 성장용 종기판 및 그 제조 방법, 그리고 반도체 기판 및 그 제조 방법 |
| KR20240127359A (ko) | 2021-12-28 | 2024-08-22 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 고특성 에피택셜 성장용 기판과 그 제조 방법 |
| KR20240163070A (ko) | 2022-03-18 | 2024-11-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 고특성 에피용 종기판, 고특성 에피용 종기판의 제조 방법, 반도체 기판, 및 반도체 기판의 제조 방법 |
-
1983
- 1983-08-27 JP JP13284583U patent/JPS6042545U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20240035951A (ko) | 2021-07-16 | 2024-03-19 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 자외선 발광소자용 에피택셜 웨이퍼 및 그의 제조방법 |
| KR20240088832A (ko) | 2021-10-27 | 2024-06-20 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 에피택셜 성장용 종기판 및 그 제조 방법, 그리고 반도체 기판 및 그 제조 방법 |
| KR20240127359A (ko) | 2021-12-28 | 2024-08-22 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 고특성 에피택셜 성장용 기판과 그 제조 방법 |
| KR20240163070A (ko) | 2022-03-18 | 2024-11-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 고특성 에피용 종기판, 고특성 에피용 종기판의 제조 방법, 반도체 기판, 및 반도체 기판의 제조 방법 |
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