JPS6044405A - クリ−ンル−ム内の荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降
するエアーを床下に吸引するクリーンル−ム内に設置さ
れ、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう物品（荷
）の保管に使用されるクリーンルーム内の荷保管設備に
関するものである。

一般的に荷保管設備は、上下方向ならびに横方向に複数
の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿った一定経路
上を走行自在で且つ昇降ならびに横方向出退自在なフォ
ークを有する搬入出装置とから構成される。このような
荷保管設備においては、特にフォークを昇降させるガイ
ド機構や昇降駆動装置の部分に摩損などによ抄多くの塵
埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くであることから
、発生した塵埃は原画に吸引除去されることなく棚に保
管している行側に移行することになる。これらのことか
ら、クリーンルーム内での前体管の機械化、自動化、す
なわち荷保管設備の２採用はチ可能であった。

本発明の目的とする七ころは、フォークを昇降させる装
置の部分で発生した塵埃を、棚側に移行させることなく
全て原画に吸引除去し得るクリーンルーム内の荷保管設
備を提供する点にある。

上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管設備は、天井側からクリーンエアーを下吹
きし、下降するエアーを床下に吸以するクリーンルーム
内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を
有する棚と、この棚に沿った一定経洛上を走行自在で且
つ昇降ならびに横方向出退自在なフォークを有する搬入
用装置とを設け、この搬人出装置を、走行自在な本体と
、この本体から立設した上端ならびに下端が開放の角筒
体と、この角筒体に沿って昇降自在な可動体と、この可
動体の前部側に設けた前記フォークとから構成し、前記
可動体の昇降案内装置と昇降駆動装置とを前記角筒体内
に配設して構成している。

かかる本発明構成によると、次のような効果を期待でき
る。すなわち、昇降案内装置や昇降駆動装置で発生した
塵埃は角筒体にとどまつて棚側に移行することを防止で
き、その際に天井側から下吹きされるクリーンエアーは
、上端開放部を通って角筒体内に入り、セして角筒体内
を下方に流れたのち下端開放部から床に向けて排出され
ることから、前述したように角筒体内にとどまっている
塵埃はクリーンエアー流によって下送されたのち床下に
吸引除去することができる。これにより、フォークを昇
降させる装置の部分で発生した塵埃は、棚側に移行させ
ることなく全て未開に吸引除去することができ、したが
ってクリーンルーム内での前体笹の機械化、自動化を可
能にできる。

以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。Ｉ
ｌ＋はクリーンルームで、天井（２）側からフィルター
（３）を通してクリーンエアー（４）を下吹きし、下降
するエアーをメツシュ形式の床（５）を通して該床下に
吸引するように構成しである。（６）は棚で所定の通路
（７）を置いて並設しである。これら棚（７）は、上枠
（８）と下枠（９）と縦枠［０）などから枠組状に構成
され、上下方向ならびに横方向に夫々複数の区画収納空
間（川を有する。各区画収納空間（１すは大々下部に左
右一対の荷受は面（１２ＡＸ１２Ｂ）を有し、これら荷
受は面（１２Ａ）（１２Ｂ）は縦枠９０）に取付けだ腕
木（１３Ａ）（１３Ｂ）の上面によって形成される。さ
らに各区画ｆ 収納空間（ｌりには、両荷受、而（１２Ａ）（１２Ｂ）
の下方に位置する塵埃受は而θ４）が配設され、この塵
埃受は面（Ｉ４）は縦棒（１０）間に収付けた仕切り板
（１６）によって形成される。（ｌ→け通路（７）内に
配設した搬入用装置で、前記柵（６）に沿った一定経路
θη上を走行自在である。

すなわち通路（７）の下部にけ機枠（１樽を介して一対
一のレール（１９）が配設され、搬入出装！Ｉｔ　（１
６）の本体シ０）は複数個の車＠（２１＋を介してレー
ル（１９）上に載置しである。

そして本体輛には車輪（２１１に連動する走行駆動装置
（２２が設けられ、この走行駆動装置（３）は、衝撃の
発生し難いＤＣサーボモータなどから構成すると共に、
最下段の区画収納空間（１１）よりも下方に位置すべく
配設している。前記本体−の中央部からは四角状の角筒
体（２３）が立設され、この角筒体（四の上端は上端開
放部（２）に形成されると共に、下端は下端開放部□□
□に形成され、また前面の中央には上下方向のスリット
圀）が形成されている。前記本体（２０）には下端開放
部□□□に連通ずる上下方向の貫通部（２７）が形成さ
れている。シ８）は前記スリット圀）を通って角筒体（
Ｚ３）の内外に亘って位置する可動体で、この角筒体（
図に沿って昇降自在に配設しである。う々わち角筒体−
）内にはＬＭガイド形式の昇降駆動装置岡が配設され、
この昇降案内装置ｔ２９）は、角筒体（２３）の後部内
面に上下方向に取付けたガイドレール国と、このガイド
レール（３０）に案内され且つ可動体（２８１の後部に
取付けた被ガイド休（３１）とから構成される。さらに
角筒体（至）内には昇降駆動装置ｆ（Ｈが配設される。

すなわち昇降駆動装置０２は、上端開放部例の近くに配
設した下位軸体（３榎と、下端開放部（イ）の近くに配
設した下位軸体（財）と、両輪体＋８３＋　＋３４１間
に掛張され且つ可動体（ハ）に固着された索体四と、前
記下位軸体（財）に連動し且つ本体−上に塔載したイン
バータ制御モーターとから構成されている。前記索体ａ
５１の後部側経路は角筒体（２３）の後外面側に取付け
た保護体Ｇ３７）内に位置し、この保護体（３ηの上・
下端も開放している。なおインバータ制御モータ（ト）
や走行駆動装置（イ）の上方には保護カバーの〜が設け
られる。

前記角筒体（至）内の上端と下端には、大々ばねなどに
より巻取り付勢されたドラム（ａ９１　顛が配設してあ
り、これらドラム〇〇）鵠に巻取られるシート幕（ナイ
ロン製など）　（４１）（６）の下端ならびに上端が前
記町動体（２樽に固着しである。前記可動体い８）の前
部には昇降台（個が一体化され、この昇降台（ハ）の上
部にけ横方向出退自在なフォークは→が配設される。な
お昇降台（４３１には、インバータ子制御モータなどか
らなるフォーク駆動装置（４［９が設けられる。前記棚
（６）や搬入用装置（１６）などは囲壁体０６）内に配
設され、この囲壁体←６）は上端ならびに下端が開放で
ある。第１図、第２図において囲壁体１４６）は四側壁
形式であるが、これは第３図に示すように二側壁形式と
して残りを建物壁←ηで兼用してもよい。＋４８）け半
導体などからなる荷を示す。

以下に作用を説明する。搬入用装置（１６）を使用して
の、棚（６）の目的とする区画収納空間（＋＋）に対す
る荷（４樽の出し入れは、この搬入用装置（１６）の一
定経路θ力上での゛走行動作と、昇降台（至）の昇降動
作と、フォーク（４４１の横方向出退動作との組合わせ
動作により行なえる。その際に荷受は而（１２Ａ）（１
２Ｂ）に支持させた荷（州や、この荷（４８１を出し入
れを行なうフォークに）などから塵埃が発生して落下し
たとき、この塵埃はその下方に位置している塵埃受は面
（１４）で受止められることになり、しだがって下段区
画収納空間（１１）で保管している荷（州土に落下堆積
することは防止される。このような作業中において、囲
壁体（９）などが囲んだ部分を含むクリーンルーＡｌ１
１内テハ、フィルター（３）を通って下吹きされるクリ
ーンエアー（４）が下降し、そして下降するエアーを床
（５）下に吸引することから、そのクリーン度は確保さ
れている。またフォークＨなどを支持する可動体（ハ）
の昇降時においては、シート幕（４１）　（４乃のうち
の一方が自動的に繰出され、また他方が巻取られること
から、この可動体伝場が通るスリント閤は常に内側から
シールされた状態にある。したがって角筒体（２）内に
配設した昇降案内装置シ！１）や昇降駆動装置０乃から
発生した塵埃は該角筒体（２３）内にとどまって棚（６
）側に移行するのを防止し得、その際に天井（２）側か
ら下吹きされるクリーンエアー（４）が上端開放部（２
４）を通って角筒体（４））内に入り、そして角筒体（
２）内を下方に流れたのち下端開放部（社）がら貫通部
２７）を通って床（５）に向けて排出されることから、
前述したように角筒体＋２３＋内にとどまっている塵埃
け、全てクリーンエアー流に乗って下送されたのち床（
５）下に吸引除去されることになる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、Ｍ１図は一部切欠側面
図、第２図は一部切欠正面図、第３図は平面図、第４図
は要部の一部切欠側面図、第５図は同平面図、第６図は
要部の側面図である。 ｉｌ＋・・・クリーンルーム、（２）・・・天井、（３
）・・・フィルター、（４）・・・クリーンエアー、（
５）・・・床、（６）・・・ｔ’Ｊ］、’　Ｃ１１＋・
・区画収納空間、（１６）・・撮人出装置、０′７）・
・・一定経路、（■・・・本体、（２３）・・・角筒体
、（２）・・・上端開放部、（２０・・・下端開放部、
（２６）・・・スリット、（ハ）・・貫通部、（四・・
・可動体、（２９）・・・昇降案内装置、３謁・・・昇
ｍｌ駆動装置、醐・・保護体、（３！１）（４０１・・
・ドラム、Ω１）（４２・・・シート藉、Ω（９）・・
昇降台、（４（１）・・・フォーク、（４（へ）・・・
囲壁体、＋４７）・・・建物壁、（４（８）・・・荷代
理人　森　本　義　弘 第５図 第２図 手続補正書（峡） １、事件の表示 昭和５８　短詩　許　願第　１５０６７４　号２、発明
の名称 クリーンルーム内のイ苛医営設備 ３補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　（３６４）大福機工株式会社 電話大阪０６　（５３２）　４０２５番（包）氏名　（
６８０Ｂ）弁理出前　本　義　弘５　の日付（発送日） 昭和　年　月　日 ６補正により増加する発明の数 ８、補正の内容 １、明則書の特許請求の範囲の＋１ｆｆｄ紙のが１９ 二の発明の詳細な説明の欄 Ｏ第２頁第フイ１目、同頁第９行目、同頁第１７行目、
第３頁イ↓７行目、同頁第１１行目、第４貞第４行目 「フォーク」とあるヲ「荷出入れ（浅溝」と訂正する。 ０第３頁第１０行目（２箇所）、同頁第１３灯１１同頁
第１６行目、同匹第１９１１目（２箇１３１ｒ）、第第
１行目 角筒体」とあるヲ「罰（４）、１と訂正する。　゛０第
５頁第１２イ１目 ［中央部からは四角状−１とある忙ｌ゛中央部からは１
ゴ体の一例である四ｐ＋状」と訂正するう０幅７頁第３
イ１目 １出退自在なフォーク」とあるを１出似自荷出入れ＋Ｍ
　ｔｒｉの一例であるフォーク」とする。 の図面の１゛６〕車な説明の＋ｉｉｌυＯ第９頁第１１
行目 「脅・・・角筒体、」とあるをｒ　ｗｉ・・・ノｊＪ筒
体（筒体の一例）、」と訂正する。 ０第９ば第１５行目 ｒ　１４４１・・・フォーク、」とめ゛るをｌ’　１４
４１・・・フォーク（（ｄｉ出入れ４’４４１＆の一例
）、」と訂正する。 ２、特許請求の範囲 １、　天井側からクリーンエアーをｆ吹きし、Ｆ降する
エアーを床［に１反引するクリーンルーム内に、上丁方
向ならびに横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、
この棚に沿った一定経（塔上を走行自在でＪ−ｉつＪＡ
、降ならびに横方向出退目在な荷出入れ機構を有する撞
人出装置とを設け、この」；σ入出装置を、走イテ自在
な本体と、この本陣から立設した上端ならびにＦ　４ｉ
が開放の筒体と、この筒体に沿って昇降自在な可動体と
、このｒｉＪ動体の目ＩＪ部側に設けた前記荷出入れ機
構とから構成し、１」１１記可動体のＡ、降しく同装置
と昇降駆動装置とを＋ｊｉＪ記筒体内筒体内したことを
特徴とするクリーンルーム内の（ｄｒ　ＩＭ管設備。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｌ　天井側からクリーンエアーを下吹７きし、下降する
   エアーを床下に吸引するクリーンルーム内に、上下方向
   ならびに横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、こ
   の棚に沿った一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
   横方向出退自在なフォークを有する檄人出装置とを設け
   、この撮人出装置を、走行自在な本体と、この本体から
   立設した上端ならびに下端が開放の角筒体と、この角筒
   体に沿って昇降自在な可動体と、この可動体の前部側に
   設けた前記フォークとから構成し、前記可動体の昇降案
   内装置と昇降駆動装置とを前記角筒体内に配設したこと
   を特徴とするクリーンルーム内の荷保管設備。