JPS6046048U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS6046048U JPS6046048U JP13784283U JP13784283U JPS6046048U JP S6046048 U JPS6046048 U JP S6046048U JP 13784283 U JP13784283 U JP 13784283U JP 13784283 U JP13784283 U JP 13784283U JP S6046048 U JPS6046048 U JP S6046048U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- strain gauge
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の平面図、第２図は第１図の
側面図、第３図はゲージクミ部の断面Ａ−Ａの拡大図で
ある。 １・・・混成厚膜回路基板、２・・・歪ゲージ、３・・
・ポート、４・・・大気導入穴、５・・・ケーシング、
８・・・ヒューミシール、１０・・・ＣＣＢチップ。
側面図、第３図はゲージクミ部の断面Ａ−Ａの拡大図で
ある。 １・・・混成厚膜回路基板、２・・・歪ゲージ、３・・
・ポート、４・・・大気導入穴、５・・・ケーシング、
８・・・ヒューミシール、１０・・・ＣＣＢチップ。
Claims (1)
- 圧力を電気信号に変換する歪ゲージ、前記歪ゲージを接
着固定および圧力導入管また、大気導入穴を有するポー
ト、前記歪ゲージとの電気的接続用リードフレームを有
するケーシング、前記ゲージクミに内蔵された歪ゲージ
よりの電気信号を増巾する混成厚膜回路基板から構成さ
れる半導体圧力センサにおいて、ポートの大気導入穴を
側面とし、大気導入六入口をポート端面より外側に設け
たことを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13784283U JPS6046048U (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13784283U JPS6046048U (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046048U true JPS6046048U (ja) | 1985-04-01 |
Family
ID=30309479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13784283U Pending JPS6046048U (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046048U (ja) |
-
1983
- 1983-09-07 JP JP13784283U patent/JPS6046048U/ja active Pending
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