JPS6047528B2 - リニア・エンコ−ダのスケ−ル支持装置 - Google Patents

リニア・エンコ−ダのスケ−ル支持装置

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JPS6047528B2
JPS6047528B2 JP7395781A JP7395781A JPS6047528B2 JP S6047528 B2 JPS6047528 B2 JP S6047528B2 JP 7395781 A JP7395781 A JP 7395781A JP 7395781 A JP7395781 A JP 7395781A JP S6047528 B2 JPS6047528 B2 JP S6047528B2
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JP
Japan
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scale
linear encoder
fixed
support device
linear
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JP7395781A
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JPS57189012A (en
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英一 今村
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、リニア・エンコーダのスケールを摺動させ
る支持装置に関するものである。
一般に、リニア・エンコーダは、透明のメインスケー
ルに透光部と遮光部を一定ピッチで交互に−配置した縞
状の所謂、明暗のパターンを設け、これと同じパターン
のインデックススケールを対面し摺動させ、かつ、スリ
ットを介して前記両パターンを通して光源からの光を受
光するように光電変換素子(主としてフォトトランジス
タあるいはフォトダイオード)を配置したものである。
メインスケールがインデックススケールに対し1ピッチ
移動するごとに明暗1サイクルの変化を光電変換素子が
検出し、光電パルス出力が得られる。このパルスを発生
させる各スケールの明暗のピッチは、例えば、4μある
いは5μ巾のパターンになつているので、長さのきわめ
て精密な測定ができる反面、メインスケールはインデッ
クススケールに対し、常に一定の位置関係(両者の間隔
は0.01〜0.0577j77lに維持する必要あり
)になければ、パルスの検出が安定せず、移動量の計測
が確実とならない。〔従来の技術とその問題点〕 ところが、従来のリニア・エンコーダは、例えば、実
開昭54−91133号公報で紹介されているごとく、
これを当該公報の符号を用いていえば、検出機構3とい
われるヘッド部と、移動するスケールを固着したスライ
ダ13といわれる固定スリットホルダとが一体的に結合
されており、かかるリニア・エンコーダ本体へヘッド部
を組込む際には、ヘッド部の姿勢(位置)が固定スリッ
トホルダの位置精度に影響を与えるので、その組立に注
意を要し、治具を必要としたり、両者の接触部の機械加
工をかなり高精度に仕上げる必要がある。
そうしなげれば、メインスケールとインデックススケー
ルと間の微妙な関係に対し、摺動するヘッド部の組立誤
差や加工誤差が直ちに影響をおよぼすことになる。例え
ば、両スケール摺動の間にはギャップが前記のように0
.01〜0.05T!Rlnに限定され、このギャップ
0.05TnIILを越えると、ホトトランジスタと発
光ダイオードとの間の光の平行度あるいは回折等の関係
で誤信を発生することがあり、また、両スケール摺動の
接触摩耗によつて、微細な目盛が損傷するという、検出
不可能な状態を招来する。〔問題点を解決するための手
段〕 そこで本発明はこの従来の欠点を除き、安価で計測精度
の高いリニア・エンコーダを提供するものである。
第1図は一部省略全体正面図、第2図は第1図の一方の
スケール固定用側蓋を取外した側面図、第3図は第1図
のA−A断面図を示し、第4図以下は部品図を示すが、
本実施例のリニア・エンコーダは、固定状態のリニア・
エンコーダ本体1と該本体1内で基準をとりながら該本
体1上を往復動するヘッド部2からなつている。
該本体1はトンネル状箱体になつており、その底面3の
略中央部に帯状の明暗パターンを施したメインスケール
4を横長にして垂直に立植している(第2図および第3
図参照)。さて、該メインスケール4の片面では、該片
面て対面して摺動する明暗パターンを施したインデック
ススケール5があり、このインデックススケール5と前
記メインスケール4とを中間にして挟.むようにホトト
ランジスタ6と発光ダイオード7とが対峙して設けられ
ているが、このうちインデックススケール5は固定スリ
ットホルダ8のB面(第3図参照)に固着され、ホトト
ランジスタ6は基板9にプリント基板化して設けられ、
該基板J9がC面にビス11にて固着されている。
また、発光ダイオード7は他の基板10にプリント基板
化して設けられ、該基板10は、固定スリットホルダ8
のD面にビス11にて固着されている。この固定スリッ
トホルダ8は、正面視でコ字状・の中間金具12にて挾
まれた状態になつているが(第1図参照)、特に、該ホ
ルダ8の略中央部で、インデックススケール5の反対側
に設けた突出部31に線バネ13を挿通し、該線バネ1
3の一端を中間金具12の一方の脚部14に挿通し、他
端を中間金具12の他方の脚部15に挿通して押しボル
ト16にて固定することにより、中間金具12に固定ス
リットホルダ8が吊設された状態になつている。そして
、固定スリットホルダ8は、中間金具12の横バー17
の傾斜面18に螺設したノックピン19″を中心とする
圧縮コイルバネ19にて、常時、メインスケール4方に
押圧されているので、固定スリットホルダ8に取付けら
れたJインデックススケール5とメインスケール4との
位置関係を一定に保つことができる。なお、前記線バネ
13自体のたわみの反力を、該コイルバネ19と同じ押
圧力として働かせると、圧縮コイルバネ19はなくして
もよい。次に、インデックススケール5を固定した、固
定スリットホルダ8のB面の下方や、F面の中間に、第
4図に示すような超高密度ポリエチレンからなるアタリ
部材20,21を植設し、該アタリ部材20,21をメ
インスケール4の上面と側面下方に当接して摺動するよ
うにしているので、インデックススケール5は円滑な摺
動をする。
一方、中間金具12は、第2図、第3図に示すように、
その上面にガタツキを除くため設けた板バネ22の端で
のアタリ部材23、前記横バー17の上面に設けたアタ
リ部材24、および中間金具12の背面に設けたアタリ
部材25、でもつて、リニア・エンコーダ本体1の箱体
内面に当接して摺動するようになつているので、中間金
具12も円滑な摺動をすることができる。また、中間金
具12には、ヘッド部2の姿勢に影響されない緩衝機構
を介在して、前記のヘッド部2が跨設されている?。
すなわち、前記緩衝機構は、ヘッド部2の一方側には前
脚26を吊設し、この前脚26にはボール27を抱持し
、また、他方側には板バネ28を介して中間小金具29
を吊設し、この中間小金具29に横方向に押しボルト3
0を螺設した構成である。したがつて、ヘッド部2は、
中間金具12の摺動する方向の前後に対し、一方ではボ
ール27に当接して、跨設されている。したがつて、通
常、被測定物を伴い、かつ、ガイド部に沿い移動するヘ
ッド部2では、被測定物に影響されるが、板バネ28、
ボール27の点接触などの緩衝機構を介していることか
ら、ヘッド部2の姿勢(位置)がリニア●エンコーダ本
体1内部の中間金具12に、ひいては、インデックスス
ケール5とメインスケール4の位置関係に、影響をしな
いようになる。なお、緩衝機構としては、板バネ28等
の弾性体により、ヘッド部2の姿勢(位置)などが、中
二間金具12などの位置関係に影響しないような構成で
あればよいが、ヘッド部2と中間金具12との位置精度
を考慮すると、ヘッド部2と中間金具12の少なくとも
一辺は、例えば、ボール27などの剛性のある部材を介
して接することが必要で1ある。
本発明の実施例の構成は以上のようになつているが、各
部品の形状がやや複雑であるので、その部品を第5図な
いし第7図に示す。
第5図は固定スリットホルダ8に中間金具12ノを組付
けた正面図で、第6図は第5図の側面図、第7図は固定
スリットホルダ8の一部破断平面図を示す。
第5図の32は、複数個のホトトランジスタ6を臨設す
る窓、第6図および第7図の33は線バネ13を挿通す
るキリ孔、第5図の34は2中間金具12の脚部14,
15に線バネ13を挿通するキリ孔を示す。以上のよう
な構成を有するリニア・エンコーダによれば、ヘッド部
2を被測定物をともなつてガイドに沿い、移動させるよ
うにし、また、リニ;ア・エンコーダ本体1を被測定物
近傍に固着しておき、ヘッド部2を移動させれば、該本
体1内部に設けたインデックススケール5がメインスケ
ール4の片面に沿つて摺動することになる。
その結果、両スケール4,5に施された明暗パターンが
.重合し、ことが光学的に検出され、電波の波形に変換
されてパルスを発信させる。このパルス出力をデジタル
表示する。したがつて、ヘッド部2の移動距離がデジタ
ル化して表示できるものであるが、かかる原理は、公知
のものをそのまま使用している。以上要するに本発明の
構成は、特許請求の範囲に記載された構成を採択したの
で、以下の効果を奏する。
〔発明の効果〕
1 リニア・エンコーダ本体上を被測定物をともなつて
ガイドに沿い往復動するヘッド部と、メインスケールお
よびインデックススケールと、の間には、緩衝機構を介
在させているから、移動するスケールおよびこれを固定
し保持する固定スリットホルダのみが、メインスケール
とインデックススケールとの極小間隔に影響し、他の部
材は影響しないようにすることができる。
すなわち、被測定物に影響を受けるヘッド部の姿勢(例
えば被測定物の重量で傾くなど)いかんは無関係となり
、しかも、ヘッド部は別設したガイド部に案内されるが
、そのガイド部の仕上誤差にも影響を受けず、加えて、
移動するスケールは他の部材、例えば中間金具とはバネ
カを介在させており、一体化していないので、全体とし
て、パルスの検出が安定し、精密な計測ができ、ひいて
は、両スケールが接触摩耗を生じ明暗パターンなどを消
去することもない。2高精度に仕上げる部分を極力少な
くしたので、特に、ヘッド部とリニア・エンコーダ本体
との組込部を高精度に仕上げる必要がないので、熟練の
技術者によらなくても製作でき、加工賃を節減でき、安
価なリニア・エンコーダとすることができる。
3つまり、バネカの介在と緩衝機構の介在とで相補足し
合い、リニア・エンコーダ自体の製作誤差や、測定中の
被測定物の姿勢には影響されないようにすることができ
る。
なお、本発明のリニア・エンコーダは、顕微鏡を構成と
する光学系と光電素子を組合した計測器にも応用できる
ことはいう迄もない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明実施例の一部省略全体正面図、第2図は
第1図の一方のスケール固定用側蓋を取外した側面図、
第3図は第1図のA−A断面図、第4図はアタリ部材外
観図、第5図は固定スケールホルダに中間金具を組付け
た正面図、第6図は第5図の側面図、第7図は固定スリ
ットホルダの平面図を示す。 1・・・・・・リニア・エンコーダ本体、4・・・・・
メインスケール、5・・・・・・インデックススケール
、8・・・ノ固定スリットホルダ、12・・・・・中間
金具、13・・・・・線バネ、19・・・・・・圧縮コ
イルバネ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 メインスケールとインデックススケールのいずれか
    一方のスケールを固定し、他方のスケールをこの固定さ
    れたスケールに対面して移動させるリニア・エンコーダ
    において、移動するスケールを固定した固定スリットホ
    ルダ8を、リニア・エンコーダ本体1に基準をとりなが
    ら摺動する中間金具12に吊設し、かつ、該固定スリッ
    トホルダ8と該中間金具12との間にバネ力を介在させ
    るとともに、前記リニア・エンコーダ本体1上で被測定
    物にともなつて往復動させるヘッド部2を、該ヘッド部
    2の姿勢を無関係とさせる緩衝機構を介在して、前記中
    間金具12に装着した、ことを特徴とするリニア・エン
    コーダのスケール支持装置。 2 緩衝機構は、ヘッド部2に配設されたボール27と
    、中間金具12をボール27側へ付勢する弾性体28と
    、からなる特許請求の範囲第1項に記載のリニア・エン
    コーダのスケール支持装置。
JP7395781A 1981-05-15 1981-05-15 リニア・エンコ−ダのスケ−ル支持装置 Expired JPS6047528B2 (ja)

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JPS57189012A JPS57189012A (en) 1982-11-20
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