JPS604905U - 膜厚モニタ装置 - Google Patents

膜厚モニタ装置

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JPS604905U
JPS604905U JP9723383U JP9723383U JPS604905U JP S604905 U JPS604905 U JP S604905U JP 9723383 U JP9723383 U JP 9723383U JP 9723383 U JP9723383 U JP 9723383U JP S604905 U JPS604905 U JP S604905U
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JP
Japan
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film thickness
monitor device
laser generator
thickness monitor
monitoring device
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JP9723383U
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浦出　美信
保彦 佐藤
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Clarion Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の膜厚モニタ装置の構成を示すブロック図
、第２図は本考案による膜厚モニタ装置の構成を示すブ
ロック図である。 １・・・真空ベルジャ、２・・・形成中の薄膜、３・・
・蒸発物、４．５・・・反射鏡、６・・・窓、７・・・
Ｈｅ−Ｎｅレーザ装置、８，９・・・光検出器、１０．
１１・・・差動増幅回路、１２・・・割算回路、１３・
・・記録器、１４・・・偏光板。 補正　昭５８．　９．　８ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第５頁第１８行の「８．９・・・光検出器、１０
．１１−・・差動増幅回路」をｒ８，１０・・・光検出
器、９．１１・・・差動増幅回路」と補正する。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レーザ発生装置から放射されるビームを二つに分け、一
    方を参照光とし、他方を信号光とし、形゛成牛の膜によ
    って反射された信号光の強度を参照先の軸度で割算して
    得られる商から膜厚を検出する膜厚モニタ装置において
    、上記レーザ発生装置のビームの出口に直線偏光板を有
    することを特徴とする膜厚モニタ装置。
JP9723383U 1983-06-23 1983-06-23 膜厚モニタ装置 Granted JPS604905U (ja)

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JP9723383U JPS604905U (ja) 1983-06-23 1983-06-23 膜厚モニタ装置

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JP9723383U JPS604905U (ja) 1983-06-23 1983-06-23 膜厚モニタ装置

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Publication Number Publication Date
JPS604905U true JPS604905U (ja) 1985-01-14
JPH0325123Y2 JPH0325123Y2 (ja) 1991-05-31

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ID=30231377

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JPH0325123Y2 (ja) 1991-05-31

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