JPS6049280A - X線検出器 - Google Patents

X線検出器

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JPS6049280A
JPS6049280A JP58155691A JP15569183A JPS6049280A JP S6049280 A JPS6049280 A JP S6049280A JP 58155691 A JP58155691 A JP 58155691A JP 15569183 A JP15569183 A JP 15569183A JP S6049280 A JPS6049280 A JP S6049280A
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マーチン・アニス
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American Science and Engineering Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はX挑あるいはカンマ!1iili (以抜代
衣してX線と叶ふ)の入射透過放射i踪を光iC変換す
るためのX Mi・検出器アレイに関する1、史に1・
しくはスf (7%(’−)米国%t+ %、 378
0291号(197:3年12月18日ヴb行、及び1
975年9月2日RE28544として再発行)に開示
されているj+に点X線装置あるいは医療診トリ[用の
X脚装置I−笠で使用ネれるX線検出器の改良に関する
Si+述のスティン等の米国%許に示される装jig 
l:、−出力が固定スリン)・によりコリメートされる
X1腺源と複数のスリン)・を11する1r」]転ディ
スクヶ崩し、被試験体を偵切る血一方間に走査するX・
βメベン/ルビームを作る1、1)1」記被試触体を辿
過するX線はk j)’) )j同に配置白さ11た卸
1長い検出ziによって検出さIt、、走丘志Q(−市
って扱試廖3体のX鰯に灼する不Jh!町104をイ”
ギわず11.弓を出力する。X、癲源と険吊器の、1i
14B/、び/又は11ン試験体を相χづ的に走育力回
を楢lj)’rする方向に!II、:進することによっ
て多数の走査線を発生させ、それによって発生した信号
のグループを処」!νしてネル試軟体のX載に対する不
透明度の2次ノ]=1“駅を1jすることができる1、
とのよりなイ疋来のX線装置^、におけるX線検出器々
してはXWtjjビームの播引方向に一致させて714
11長イア′ノチレータ板を配に、L、その7ンチレー
タ板に入射したX iWJを・吸収してうじ生する光フ
第1・ンを?+I エはフオI・マルチプライア(光電
子増倍管)のような元横出体;により検出している。ン
ンチレータ4K A・1としてを」、X線に対し吸収効
率かよく、残光1′I−の小さいものであり、及び/又
は特定な工不ルキのX +t、71/C幻しイINイ〕
の吸収′付性を有するものであるが、1すfl+!九に
幻してi、1. lFi Itメか人きく、及び/又k
A、 v■−東のX +i尿j胃5虫スクリーン(xr
−インテンソファイヤスクリーン)のように紛未=t、
I別で作られているので8J祝九に対する透過性か4+
’4’;い1、“//チレータ板はX楠jを効率よく吸
収−(゛きるイ呈1す(<:/e分厚く、かつその表!
11■i:、LX局!人刊方向に第」し直用とさJして
いΦ1./ンチレータ&は1/[ってX1lJt!を効
2.ト:よく吸収してう′07剖トンを発生ずるととカ
1できるが発生した毘フォト)に’i、J L /ンチ
レーターIt、< 1−J−友きな吸収・1糸数をj9
つているので、//チレータ1反の深いノツrで発生さ
れた光フォト/の子くは機内で吸収さハてしまい光1美
出器でイ莢出できる−)Y、フォト/のは吉んどは/ン
チレータ板の浅い所で発生したものである12発生する
光フォトンを多くするためX線分11更をJ賀してもX
線のj゛す坑(梁さがJ胃が/ンチレータ板の人血から
浅い19+での光フォトンの発生用の増加(4、あ寸り
大きくない。浅いr;Tでの光フォ1−ンの96生を多
くするだめX圧宋ヒ゛−ムの走1等外勺j中16を塘せ
は分解Yjシか小さくなる。kって光分な分解1イヒを
持たせた賜合実1県に慎出される一χL1フォトンの量
についてみれはX ツー暢制エイ・ルキの収集効率はか
なり悪いものであった。
史に、−・木の袖引で同11に複数の走食餘を倚るため
従来のK、fil長いX線検出器を複数ゴ伯引方向と平
r+に配列することか:6えも7Lるが、充分な分用f
能イU i!iるしく−01、I′1−77チレータ板
の幅は少くともその分1’l’F i!i二1゛1”1
切:i−(小さくしな(すれ(徒ならず、七のよ・)刃
物坤りと間的入きさの練状のX線検出器を作ることは一
月7:’+に・(11シ<、仮り(・C’J’ +iに
てあったとしても’(r >′1:恢出:):りとのj
’l’ii合を互いに分層して実現することQま困51
1j −Chる9、 この発明の目的はxrf岸から受けるエネルギを配列し
た検出器ン・1の数と等しい階数たけ増加し、そノ1に
よってエイ・ルギの収集効率ケ上り、かつ空1i、J 
u−+1分り丁)、どを土け、使って谷j火山器からよ
り小さい絵素を(ilることがでさ/)X線検出器を提
供することである6、この発明の他の目的はエネルギの
収−11−助士を土げ7辷分たけX做蹟光を増加するこ
とζ′(よりより貫−〇いしJ3反分F1手hヒ忙n」
能とするX湿只恢出2ン;をJ是11(することである
4゜この発明の他の目的はエネルギの収集効率増加(I
Cより被試か・8体にfjするX紛照射貫孕減少させる
ことができるX1長1j恢出器を提供するこLである、
1この発明の他の目的はプレイの谷検出器かそiしぞれ
披試、顎体の全体ケ覗奈するので1芙出器を−それぞれ
互いに榮合する必吸かない1.即ち不運Aηしな小3い
検出器の夕1]を使った個二来の装置1′)とし1異な
り、この発明でiIi取終的な1永に縞かてさるのa″
避げるため谷検出器をその惰シづの大きさで規格化(R
1」ち比・答の贋合)する必戦かない。
アレイ中の検出;俗はそれぞれか彼試験体の全体f’l
Rわず出力抽号ケ作るので、これらの検出器からの信号
を任意に組合せφ試験体のX想に対する不逍明度に関す
る谷神の情Y1多俊イ4することかできる。。
この発明の・暎出益は被試l挾体k ;filるあらか
じめ決められた直腺走1一方同に憎引される輻射エネル
ギのビームを作る輻射エネルギー源と共に用いられる。
ビームの断面(ははマ長方形でありその長軸方向はビー
ムの直線疋育方向を構出1する方向とされている。
この発明によれは、検出器は輻射エネルギに対し透19
コな拐料で作られたr141i艮い中37部イΔを言る
′・、その中”+9 +Xli 4′Aの内面は光フォ
トンを反射するようにさノシ、輻1.1,1エネルギビ
ームか中空部祠ケ照射するLうに’1+f+・+ QJ
エネルギ腺θ44(との位随関/l:+、葡保ってrj
+1記中空部拐を・支持するためのす辰を再し、前記中
”h”、 i’il1月はそれを・′Jj1逸する輻射
エネルギを受けるだめの根囲ケ1亀する/ンチレータ材
料の+la長い膜を言み、前記月見1川は1]1■記中
空川S材の軸と平行に延長され前1.己ビームの方向と
小さい擦過角を成して+LJjむげられそJl、によっ
て前すじシンアレ−タ材料のj反乞J九遇する輻射エネ
ルギの社路長が前記膜の厚さより人となるようにされ、
前記中空部材の少くとも−Ωi+Nとli4表して1」
装置され凸111.己/ンチレータ材4−1の1俣によ
って出射され前i装甲2611材の内面により反射され
た九フ第1・ン?受けるための光↓j+答手1kが設け
られている3、 この9B明の他の実施例においては複数の中空部(Aか
ビームの11i)引方間に向けられ互いに平行に隣1に
して配タリされ、ンンチレータ材料の各膜面か共ノ!1
1平間内となるようにされる。ijj記谷シンチレータ
拐千)の)戻面の幅は前記ビームの1jJTt1++の
長軸を分割した一部とキ丁しく仮って前記膜面のそれぞ
れは前HICビームが走青方向に怖引される時そのビー
ムのそれぞれ異なる部分を・受けるようにされでいる。
、この発明の他の実施例においてはr)il述の中量1
4fll利の配列(プレイ)か例えは2つ設けら、IL
、これら2つの(炙出;)1.アレイのゾンデレータ拐
料のIi史:Q・不透明な支持板を(火んで対向してi
ljね合わされている。谷中量ごIS材は互いに平行で
ありビームのj[前方向に向けられてお・す、又谷ソン
チレータlJ本1の膜面のなす共通平面はビームの力面
と小さい擦渦角r成ずよう峨むげられている。、 VE
ってこれらずへての1突出)器から俵数A且の信号かイ
(jられ、これらの信号をηいに加■、又は減鉋−1〜
て級試駁体の特定な抽頷の伯徹を持つ画1象’j: i
’l=るのに1史わ、Iする1゜−第1図を参照すると
、この発明の検出器アレイを使用したX線装置−通常X
線のコニカル(回能、)ビーム11を作るxm廊toを
有し、そのコニカルビームをX線に不透明な桐材で出来
だ段数のスリンl−14(回転スリットと呼ぶ)を有す
る回転ディスクJ3と固定スリット16を有するXI謝
に不坊明な&]、5の1.1↓計せによって断面が長刀
形の/」?行X線ビーJ、J21/ごコリメートする。
1)す述のスティンコjの米国竹計1tE28544号
には1図点、(紛ビームヶ1′トるのに使われる一般的
な構成とその51υ作がユホー\られている3、シかし
ながらこの冗明に」、・い−しは回・ト・、スリット1
4の11%と固定スリット1Gの尚δはそこから出てく
るX最メビームエ2か灸カルli;I1面をイ1り〜る
ようにコ!はれており、そのJK力)1多のL< :!
Iff・j法1〕かビームの直、腺走査方向荀4負切る
ノJ向ζ′仁囲い一〇いる。、捷だスリット16は台形
となるようλ・」同する端部か址1めになっており、そ
れによってテ・rスフ13が回転中容回転スリット14
が固定スリット16の−&ii”)、から他端へ通過す
るあいだビーム12の断面形状rはソー矩に保っている
1、 谷スリット14が固定スリット16の一端から他1冷1
1へ通過する1用にX線ビーム12は被試式欠体18を
Jljって矢印17で示さrしる直線方向に走査される
3、物1+18が矢印17のカー」に繰返し走査されて
いる間、その物体18(又はX線源、コリメータ、検出
器アレイ)を走査方向17と11r4川方向シ(並進さ
せることにより物体18の二次几ラスタ走査を得る(+
 A1骨ビーム(d、検出);11アレイ19t(入射
する。7+火出)洛アレイ19に」、そのアレイ中の幾
つかの検出器の出力点20に出力11i 4シ促′lj
ぐ−る6、アレイ中の各づ美吊器1はそ、lLぞjし出
力をイjし、そノ1らはそれそh鞘8され及0・/又は
以下に述べるように処珪されて扱試屏4体18のX勝手
の1jlJ度を表わすITIJ伐像を作る。、 第1乃至6図を参照すると、検出器アレイ19は複数の
検出器1 、 It 、 Iu 、 IV野ケ有し、そ
れぞれは長方ノb hノ「面を持ちかつ走査方向17と
平?−J’ f□c処ひる細長い11条状をしている、
3械出詣の寸法は重安な問題ではないが、仇明のため述
べると各検出器は深さ2 cm (X ’:t+にZヒ
−ム12の入射方向)、市さ4 crn及び走査方向の
長さ1.5 titである(第5図、6図参照)。各検
出とJは例えはアルミ陥で作られた内部反射面を有する
中空部口21を1み、その中空部層01つの惧j面は例
えはノ卑さ0.1 rrunのンンチレータ桐材で出来
た平面II!j!、 (ソート)22によつ−C槁成さ
7tている(第6図参照)。被装メの検出’zrr I
 、 If 、・・・・はXAが源10がら遠さがる方
向に互いecll′llヲ面が、1にべられて配置され
、検出:イ1)列4’ 4イ/l成し、健ってX線ビー
ム12が17の方向(lL/I:IIJ:さ)1.ると
き検出器アレイ1’9に入射するX)1♀ビームは瑛出
:・、’:> l 、 It 、 l 、・・・を次々
吉辿過し、そのどき6検出器と関連したシンチレータス
クリーン22の?413分乞°照射する1、照射された
/ンチレー メス2クリーンは光フォトンを発射し、そ
のフ第1・ンは中空部材の内i1によって反射され、f
f411長い恢吊器の一力又は両刀の端部におかれたあ
るい(・−1,9iJ O) 春当な1)L的で1突出
益に、貼合された1つ又はそれ以上のフォトマルチュー
ブ23(第3図に照)に与えられる。
この%明のll」ましい実施1vl)においては、アレ
イ19ケJ、同イ・kの4.・!j青のi■2の検出器
列1’、II’、IIl’。
・・・奮有し、第1の検出器列1 、 +1 、 l 
、・・・・e(東ねられており、また同(ボなシンチレ
ータスクリーン相宿22a(第4図参照)が設けられで
いる。シンy−レークスクリ=ン22aと22(ま光学
的に不透明な基板22bKよって互いに分離式れており
かつそれらを支持している。このような徂ねられた÷炙
出器外を1更う場合、検出器夕!II。
II 、 l 、・・・と検出器列ビ、 II ’ 、
 Illo・・・・は互いにずらされている(第2図会
照)。
検出器アレイ19の全体6づ、X称ビーム12か各検出
器のシンチレータスクリーンの部分に1タリえは2(第
6図参照)の擦、僅角(グレー ンジンクアノクル)φ
(第21ン1参照)で入射するようX Norビーム1
2の入射方向に対し傾むいている4、その結果X線のシ
ンチレータを通過する経路長はシンチレータの厚さより
長くなる。第6図を参照して史に詳しく祝明すると、各
回転、スリット14の幅が0.7萌即ち員力形Llr面
のX線ビーム】2の短い方9辺を0.7 mmとするど
、厚さ0.1 +nmの/フチレータスクリーン22に
Xiビームが入射した場合実際にスクリーン22を選過
するMN長は1.5咽となる。
アレイ中の谷・検出器の団面寸法とその検出器に関連す
るシンチレータスクリーンの1頃余1のため、各1莢出
器におけるi唄和したシンチレータスクリーンの部分を
X i4J4ノ1方向から投影したビームの長’i’+
il (P)先回(Xi篩走;ml方向を歯切る方向)
の長さシ、1、ビーム12の1ノ[面長軸寸法P上分割
した一部にずさない1、シかしながらシート22全体=
X組人jJJ方向から、+9 i、1.; した長さは
少くともPと等しいかそlしより大となるよう1つの列
の検出器の数が恵lす;れてJ、−リ、1)1つて代数
の検出器のンンチレタスクリーン曲カによってXiWビ
ームのすべてのr’dj分が受けらノしるようにされて
いる(第1図参照)11例えば上述のような検出器が各
列に2011i¥ll配列いノシており、谷検出器でX
−ビームの長袖の長:41)のうち0.7 mmを受け
るようにすると(弔6図裕照) 、2011irlの検
出器全体では14叫の断面長*l+I P ’k J→
つX (a7ビームの全体を受けることがでさる(弔5
171岱照)6. 1列えは弔1.2及び5図に示すように複数列の検出器
旨耽゛)賜舎は、X緑ビームと平行でかつ検出器1 、
 II 、 I 、・・・笠の谷側面とシンチング22
の交叉部を通る直;1υが恢出器ビ、II’、l’。
・・・のtlj11而とシンチレータ22aとの交叉部
を1Nするよう検出器ケビーム12に利してW far
する。
特に、帛6図の寸法について前述したように、回転スリ
ットの1隅を07關とした場合は検出器アレイにおける
谷検出器の柴間分前能は検出器夕11をfJ′Q切る方
向に約0.7 mmである61例えは検出器11の上部
エツジの近くに入射するX MUMフォトン(第2図?
≦1)d)は検出A< lか、1束出器11のいずれか
で仙出され肯るという事実からクロスト−りの効果か生
しる。この効力こ(・−j−より;・jlい/ンブ・レ
ー クスクリーンを1史うことによって/トさくするこ
とかできる。、ノンチレータスクリーンの厚さか0.1
 mmの場合、検出器lをX、yべが貴ン用する長さは
]、、 5 mmであるo 17tつて乎f]な・検出
器の対l、しを吠うことによって全貰通距肯口は3 m
mとなる。エツジ効果ずなわちクロスト−り(d健って
7胴中約1. mm (!:なりそれ程大きなものでな
い、。
X線フォトンの収集効率を増すためアレイに使う4芙出
器の数はできるだけ多くすべきである。そのためVIJ
えシま+iす述のように検出器をアレイの6夕l]に2
0個使い、従って20個の検出器対J−11I−11’
、・・・蛍使う1つ これによって弔5図に示−J、t
 7人の検出器アレイとなる。このような20対の1ツ
Σ出器r傅つ7ξアレイVCよって、佑果的に20本の
、[,54、イLIIl]11、+1に(lり疋するこ
とになる。被試験体18とr’jj +、i旨、1γプ
レイ19の相対位置はla引ごとに短資)J回17 ’
tv jIリドIJ 6 ))回に谷1束出器の簡さと
等しい距killすつJ−らさ71之)ので、X絨隊か
ら収集されるエネルギl−Jニーi・1冒]冒俗の数に
関連した係数で増加し、あるいは・J″’、 I) /
+:工ツ・ルギハ1((リイJ ’H:H’、)、・ノ
1.・加することに・1−るより1・j」いび・ぐ1す
汁+:I’l′1tt=を1:lあ/ξめに使うことか
−Cさ、λす・Sいは収弔効率の改善により掻試暎体へ
のj!ii +、’i411sJljiiを減らすこと
かできる。1タリえは佐者の’))4 ’j’V y 
20旧の1す4出i&かアレイに用いられていると照1
.i;) u;“j間紮保7ベ20でイ威らすことがで
き、従ってX1fflの照IJj中1−yIo分の1秒
程度にすることかできる。、 阪試験体18とX耘検出器アレfの相対位置をビームJ
111引’f1.Lにr人出t1にアレイの分屏能(例
えば第6図の0.7 mm )ずつずらして行く場合、
谷検出器は全体1氷を、Jl: jl □I−るの1・
′こ便われるので、これらの利点を達成するには幾つか
の検出器からの仏シ)を加昇するだけでよい。例え17
i取込才れるテ〜りの系列を考えると、ビームの初の掃
引の間に検出器Iによって一本のデータ(MJ!テ−タ
)をRjることかできる3、2@目のビーノ・掃引では
検出器Iによってもう一本のチータフf:取込むが、検
出器11によっても一本のデータが得られ、これはMi
J回の検出器lによる線データと被試験体において同じ
商さなので、これら2本の再テークは加1p−aれる、
3街目のビーム掃引の間では扱試1験休は検出器アレイ
に対し史にイ多動しているので、4黄出器11による2
番目の再テーク及び検出器Iによる1釘目の再テークが
得られた被試1賢体における場Qi L回じnfから検
出器■によつ−C峡初の線データが得られ、これらの線
データはすべて加昇される。以下同様である。このよう
な線データの加す↓け適当なコンピュータプログラムか
又は専用回路によって行われ(第1図参照)、前に述″
べた利点を達成することができる。
アレイ中のいろいろな検出器によって伯□ら、ノ1.た
信号(礼(1−タ)足組合せる場合、短い時18」間隔
の遅れで竹検吊器が次々と被試験体の同じ領域を(I晃
4111するその時間遅れを考j、1、しなけれはなら
ない。
捷た信′−!iを組合せる場合、回転ティスフ13のス
リットの回転中心から遠い方の部分に対応する走査X、
ト11ビームのV小分に沿った一連の検出器はよりユ!
8)いtIiν引を受けるので、過当な位相補正を行う
ことが必υビである。、像の中心、又ははソ中心で(は
即ち作用しているスリット14が検出器アレイ19の長
さ方向に直角の所では位相補正は必要でない6゜しかし
なから像の端部に向うにつれ、任意の瞬間(即ち什怠の
ザンブリング期間)でのそれぞれの検出器が受けるX脚
はアレイの中心線から11次離itk位1谷での被試験
体を透過した投影にヌ・」応しでいる3、従って岐路1
]′NJな像を形成するため一連の線テークを加p、す
る前に、組合すた各テークザンプルが中心線から等距離
のそれぞれの位置(抜試1験体中の位置)に対応するも
のとなるよう一連の線データに利し位相差を与える必要
がある。この位相差は各検出器において一1気的に補正
するか、あるいは未袖止測定チータケ遍当なノントウエ
アによる内挿で↑Fit正してもよい。
1詠デ一タ信号ケ加nするかわりに、4束吊器1’十I
l’+l’+−−−によって伯だf占しから快出嵜、1
十n+m+−・・・によってイ4tた信号を引具するこ
とVCよって幾つかの1−号の工不ルキ(威R−ヲ行っ
てもよい3、イ芙吊器1 + II + In 」−・
・・は1八い力のエネルギX稼孕狽1]定し、検出器]
’+II°−1−Ill“」−・・・何、高い方のエイ
・ルキX腺をdlす定するc6
【図面の簡単な説明】
化1図はこの発明による検出)(iアレ1イ蛍有するX
i向装置のj、l彷1図、卯2図は第1図における検出
器アレイのlづ)r問図、第3図Q」、第21゛凶のδ
’′、J!A Aでのり[開−、第4図は第2図の線1
3〜Bでの1仇囲図、化5図はこの発明の実かiL例に
通用−(′きる代表的な寸法を示す検出器アレイのが1
祝図、第6図は谷)曵出高の擦過角での動作に関係した
(J−法を示すだめの1つの検出器の11jr 1l)
1図である。 10:X線街乏、13:回転ティスフ、14:回転スリ
ット、16二固ボスリツト、18::#J、試1、史′
吻体、19:検出器プレイ、21:中望都相、22:7
ノチレ−タスクリーン、22a:/ンチレークスクリー
ン、22b=不透明板、23:フ第1・マルチプライア
、。 ’jjli’l出1:iit人 アメリカン ナイエン
ス アンド」二/ノニアリンク インコーポレイテソト
代 理 人 I″+1−!l!J・ 小図面の汀IP)
(内容に変更なし) 扁 1.1 、−一 〜〉 1〜 ヘーくて[L二や−八 手続補正W(方式)(3) 11ij 41158年12月2311%式% 、発明の名称 X線検出器 :3抽正をする者 事件との関係 特許出願人 アメリカン ザイエンス アンド エンジニアリングイ
ンコーホレイテッド 4、代 理 人 東京都新宿区新宿4−2−21 相極
ビル6615 弁理士 草 野 にI−IL、“・・(
1) 願書の特許出願人の欄を1li5. +1訂正願
書のように削正する。 (21命任状を徐封する。 図面の浄51」(自答に変更なし)。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (IJ 試験される物体を通ってあらかじめ決められた
    直腺走罹方向に掃引される輻射エネルギのビームを1′
    「るようにされた輻射エネルギ#M碌のためにi=号検
    出器プレイであって、前記ビームの膜面ははソ長方形を
    しておシその長軸が前記直KM走査方向を1負−■する
    方向に向いており、前記検出器アレイは前記1duから
    0り記物1本を通過してさ/ζ輻射エネルギを受けるよ
    うに配置gちれ、111)記1束出器アレイは互いに平
    行に瞬接して配(mlされた複数の2国長い中空部材を
    台み、谷前記中全部利の長さ方間の媚(は前記直1sj
    r!走査方向にはtま平行に向いており、谷1)IJ記
    中空部月は輻射エネルギに幻し透明な材料でできており
    かつ光フォトンを反射する内10す衣1f11ケ有し、
    前記中空部材けその長さ方向に処長された細長い長方形
    の根面を持ち前記Ia、腺走肴方向に前記ビームが掃引
    されるにつれiij記中空部狗孕通過する輻射エネルギ
    を受けるように配U、されたンンチレータ伺料の比教的
    清い換を営み、各前記膜面の長さ−、少くとも前6己ビ
    ームの直腺走食長と等しく、府前Be膜面の11%は前
    ハ己ビームか前記定歪方向に掃引される時省前記膜面が
    そのビームの一部のみを受けるよりに前記ビームの断面
    の長袖寸法の一部の大きさであり、谷前記シンチレータ
    月科の膜のj膜面は前記ビームの前記一部を擦過角で受
    けるように傾むいており、前記膜面の異なるものは前記
    ビームの異なる・部分を受け、前記/ンチレータ材料の
    膜によって出射される光フ第1・ンを受けるだめの複数
    の光応答素子が前記伏絃の中空部材に接続されており、
    前記物体の幅)(1工ネルギ不透明度を表わす合成出力
    信号を1′「るための+段が前記複数の光応答素子に接
    続されたX線(芙出器。 (2) 前記細長い中空部材のそれぞれは長方形の断面
    を有し、111記中空部材のそれぞれに関係している前
    記シンチレータ材料の膜面は前記中空部拐の1つの内側
    面を構成している特許請求の範囲4゛1,1項記載のX
    線検出器。、 (,31’+il記中窄815利のそれぞれは細長い平
    行四角柱のプレ勿しており、^1」記中空部拐は順次血
    と而を7・」接させて一列され一対の互いに重ねられた
    列を形成し、自IJ記中窒都拐と関係する+3iJ記/
    ノチレータ材;(1の谷膜は前記中空蹄利の東ねられた
    列の間に配置つれた連続したノートの一都を植成してい
    る特許請求の範囲第1項記載のX縁検出器。 (4) 前記一対の列の一方の列のff1fJ記中空部
    祠は他方の列の前記中空部材に対しすらされて配列され
    ている7t、、に訓−ii!’1求の乾囲第3項記j成
    のX刹Hか吊器。 (5J nil記ノンチレータ材料の前記連続した/−
    1・は前6Cアレイ11C向う前記ビームの入射方向p
    c対し擦過角孕なずよう填むいた面に配置されており、
    前記ンンチレータ拐料の傾いたシートの投影寸法し」、
    前記ビームの走青方向に直角な方向において前記ビーム
    の断面の長袖寸法と少くとも等しい大きさを有する特計
    誼求の朝m1・2−:3項1尼載のX紛4突吊器、。 (6) 前記シンチレータ月料のff!J :己膜面は
    互い(′(はぼ共通:(]Iとなる特51晶求の11・
    1も囲i11,1項1把載のX勝才芙吊器。 (7) 前記細長い長方形の膜iMJは各f3+j Q
    α中窄都イシjVごついて同じ寸法て〜あり、それによ
    って谷前目己11’=面は前記ビームのはソ均骨分割卯
    分勿受げるようにされている特g’t 請求の申[、!
    囲第1項記載のλ弯1検出器1、 (8) 透過輻射ビームを作りそのビームを試験さJ′
    する物体f:通して掃引するようにされだ輻射エネルギ
    線源をイ1するような装置に梗われるXぞJ1検出器で
    あって、前記検出器は前記物体を通過した帖、射エネル
    ギを受けるようにされ、前記検出)(5は前記輻射エイ
    ・ルギに対し透明な個数の細長い中空部利を含み、谷前
    記中空部材はその長さ方向に延び入射された輻射エネル
    ギに応答して元)第1・ンを出射するプζめのンンチレ
    ーク拐料の消い膜を含み、前記シンチレータ材別の各j
    換はぞの/ンチレータ材料の)罠と関係している前記中
    空部4”Aへの前記ビームの入射方向に苅し擦ノ逼角で
    則ム【二人用すもt射エイ・ルギを受けるよう1頃むい
    〆5 +j果聞’++−’4jL/ 、+’+il記複
    数の中空部材の互いの位置と111J記i<711;+
    jに対する位置及び前1己ヒームのfirf引方向と1
    11−角方向において各前記中空部材と関係したrii
    t記j反間の寸法は各111記中空部材の関’r’、し
    ている前記膜面が前記ビームの異なる部分荀それぞれ受
    けるよう選idれており、前記シンチレータ$i 4)
    1のll兄1fCよって出射される光フ第1・ンにLi
    >答して出力信号を作るだめの個数の光応召素子が前r
    tt、複数の中空部祠に結合されており、j)lI記稜
    叙のX k、、谷糸子からの出力信号に応答してtiu
    記物捧の輻射エネルギに利する不透明度r衣わ゛ノー介
    1戎イ1、シlを作るだめの〕・段を有するx紛1す之
     吊器、。 (9) 前記利I長い中を部材はiI]記輻射エイ・ル
    キ腺源から遠さかる方向に一列に配列されそれによって
    前1把ビームはll’l ti己夕1jの中空部(」を
    j唄次コ2λ]儀するようにされた特許請求の範囲第8
    項記載のX縁検出器。、 (10)前記11.III長い中空部材l−L′liい
    P仁FJ」ねられた”pg叔の列に配列され、前記ビー
    ムは異なるlIJ記列の異なるBII記中窒部利にはソ
    同時に入射するようにされた特許請求の;叱囲第8項記
    載のX線検出器。 (11)前記ゾンチレ−り月4斗の腹面は前P1ピ車ノ
    Dら九だ列の間にある同一平面内で互いに実質的に共通
    な面となるよう配置されている特許請求の範囲第10項
    記載のX線検出器、J (12)内?j記jl−ねられた夕1jのI覧接する肖
    り記中空部材(は互いにすらされて配置されている特許
    請求の範囲第10項記載のX線検出器、9 (1,3)透過する輻射エネルギのビームを作る輻射エ
    ネルギ勝諒と共に使用する暎吊器であり、ts!l 1
    jL:検出器は前記輻射エネルギに勾し透明な旧11で
    作られた細長い中空部利勿含み、前記中空台1)材の内
    面は光フ第1・ンを反射するようにされ、前記ビームが
    前記中空部材を照q1するような前記輻射エネルギ線源
    との低値関係で前記中空部イ、1を安打するだめの手段
    を刊し、前記中空部材は前記中?)テ部(,11j−1
    九過するI描躬エネルギr受ける/Cめの膜間光′・1
    )するンンチレータ拐料の細長いj戻を含み、前:iL
    : L9Q’: l川は前記中空its材の軸と平イ■
    に延ひfJll i、I;ビームの方向と小さい擦過角
    を成して賄−むげられぞれによって前記シンナレータ材
    ト1の1俣を・透過するil’ra射エネルギの経路長
    か前記IjWの厚さより大きくなるようにされ、6す記
    中¥i′ils月の少くとも一端と瞬接して配置され前
    記/ノチレータ(オ料のINによって出射され前記中空
    1ils材の内Inにより反射いれた光フォトンを受け
    るための光応二に手段を廟するようにされたX IJ1
    リミ出ンカ、4゜ (14) 、)i+記シ/チレータ材料のnIJ記膜而
    は面屈ビームの方向((−幻し2 以下の擦過角で1頃
    むいているようfCさi+た慣iT 請求のφll田川
    第13項記載X!顯恢出酩3、 (15) 1iil記ンンチレータ材料の膜’K M遇
    する輻射エネルギの社路Kid前6【ニハ騒の1早さの
    少くとも15招であるようVCされた肋帽−粕氷の範囲
    第13項Δα載のX h」44欠出器。 (16)前記シンチレータ相料のin、lI長いj戻r
    L」、前記細長い中窒都祠とはソ同じに延長されている
    待rl−til’4求の卸囲第j3JJ1記戦のX線検
    出器。、(]7)前記ノンチレータ拐旧の膜の厚へば0
    . ]−mmのオーダとされた特許請求の範囲第13項
    記載のX線検出器。、
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