JPS6049304A - 光集積回路と発光・受光素子の光学的結合構造 - Google Patents
光集積回路と発光・受光素子の光学的結合構造Info
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- JPS6049304A JPS6049304A JP15631983A JP15631983A JPS6049304A JP S6049304 A JPS6049304 A JP S6049304A JP 15631983 A JP15631983 A JP 15631983A JP 15631983 A JP15631983 A JP 15631983A JP S6049304 A JPS6049304 A JP S6049304A
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/34—Optical coupling means utilising prism or grating
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）発明の技術分野
本発明は光集積回路と発光素子・受光素子の光学的結合
構造に関するものである。
構造に関するものである。
（ロ）技術の背景
光集積回路（以下光ＩＣと呼ぶ）は、光スィッチ、変調
器、光分岐回路、光分波器などの種々の機能ヲ、ニオブ
酸リチウム（ＬｉＮｂＯ５） 、ガリウムヒ素（Ｇａ
Ａｓ ） ＋インジウムリン（ＩｎＰ ） ＊ガラス等
から成る１枚の基板上に、集積化して形成される。そし
て、光ＩＯに設けられた入力側の光導波路（以下、光ガ
イドと呼ぶ）から入力信号光が入力され、前記の如き種
々の機能を有する光デバイスを経由して出力側の光ガイ
ドから出力信号光として出力される。この入力信号光は
１通常は、レーザダイオード（ＬＤ）、発光ダイオード
（ＬＥＤ）等の発光素子によって出射されて前記入力側
光ガイドに入力される場合が多い。この場合１発光素子
の出射光が効率良く光ガイドに入力される必要がある。
器、光分岐回路、光分波器などの種々の機能ヲ、ニオブ
酸リチウム（ＬｉＮｂＯ５） 、ガリウムヒ素（Ｇａ
Ａｓ ） ＋インジウムリン（ＩｎＰ ） ＊ガラス等
から成る１枚の基板上に、集積化して形成される。そし
て、光ＩＯに設けられた入力側の光導波路（以下、光ガ
イドと呼ぶ）から入力信号光が入力され、前記の如き種
々の機能を有する光デバイスを経由して出力側の光ガイ
ドから出力信号光として出力される。この入力信号光は
１通常は、レーザダイオード（ＬＤ）、発光ダイオード
（ＬＥＤ）等の発光素子によって出射されて前記入力側
光ガイドに入力される場合が多い。この場合１発光素子
の出射光が効率良く光ガイドに入力される必要がある。
従って、光ＩＣと発光素子の光学的結合を効率良く最適
にするため、これら両者は固定基板上で相互の光軸が適
宜に整合調整されて固定基板上に固定化される。しかし
、この両者の整合調整は１両者の端面形状が非常に微小
であシ、シかもＸ、Ｙ、Ｚ軸方向と、角度θ、Ｖ方向の
合計５方向についての調整が必要であるため。
にするため、これら両者は固定基板上で相互の光軸が適
宜に整合調整されて固定基板上に固定化される。しかし
、この両者の整合調整は１両者の端面形状が非常に微小
であシ、シかもＸ、Ｙ、Ｚ軸方向と、角度θ、Ｖ方向の
合計５方向についての調整が必要であるため。
非常に煩雑である。こ＼で、Ｙ軸とは、前記発光素子の
光軸と直交する水平方向の軸、Ｙ軸とは。
光軸と直交する水平方向の軸、Ｙ軸とは。
前記発光素子の光軸と平行方向の軸、Ｚ軸とは。
前記発光素子の光軸と直交する垂直方向の軸、θとは前
記発光素子の光軸を含む水平面内における光軸に対する
角度、Ｖとは前記発光素子の光軸を含む垂直平面内にお
ける光軸に対する角度のことである。また１発光素子の
出射光は、一般に、出射点から円錐状に拡開して出射さ
れる。例えば。
記発光素子の光軸を含む水平面内における光軸に対する
角度、Ｖとは前記発光素子の光軸を含む垂直平面内にお
ける光軸に対する角度のことである。また１発光素子の
出射光は、一般に、出射点から円錐状に拡開して出射さ
れる。例えば。
ＬＤの場合は、出射光の断面が楕円状に拡開し。
その長軸が垂直方向に位置して出射される。従って、光
ＩＣと発光素子の光学的結合構造としては。
ＩＣと発光素子の光学的結合構造としては。
このように拡開して出射される出射光全効率良く光１０
０入力側光ガイドに入力させることができ。
０入力側光ガイドに入力させることができ。
しかも両者相互の整合調整及び固定を簡易化し得る構造
のものであることが望ましい。
のものであることが望ましい。
（ハ）従来技術と問題点
第１図と第２図は、従来例の一例として示した光ＩＯと
発光素子の光学的結合構造１０の説明図であり、第１図
はその概略的斜視図、第２図は第１図の矢印入方向から
みた側面図である。両図において、符号ｌｌは発光素子
としてのレーザダイオード（ＬＤ）、１２は光１０．１
２ａは光１０１２の入力側光ガイド、１３は固定基板を
それぞれ示す。固定基板１３に形成された固定台１３ａ
上にＬＤが固定される。そして、固定基板１３上に、光
１０１２が載置され、かつ光ガイド１２ａの入力端面１
２ｂが１．Ｄｌｌの出射端面１１ａと対向して配置され
る。この状態で、ＬＤＩＩの光軸に対し光ガイド１２ａ
の光軸が整合するように。
発光素子の光学的結合構造１０の説明図であり、第１図
はその概略的斜視図、第２図は第１図の矢印入方向から
みた側面図である。両図において、符号ｌｌは発光素子
としてのレーザダイオード（ＬＤ）、１２は光１０．１
２ａは光１０１２の入力側光ガイド、１３は固定基板を
それぞれ示す。固定基板１３に形成された固定台１３ａ
上にＬＤが固定される。そして、固定基板１３上に、光
１０１２が載置され、かつ光ガイド１２ａの入力端面１
２ｂが１．Ｄｌｌの出射端面１１ａと対向して配置され
る。この状態で、ＬＤＩＩの光軸に対し光ガイド１２ａ
の光軸が整合するように。
光ｌ０１２が固定板１３上で微動調整されてから固定板
１３上に接着剤等により固定される。尚。
１３上に接着剤等により固定される。尚。
この場合、ＬＤＩＩの出射端面１１ａと光ガイド１２ａ
の入力端面１２ｂとの相互間隔寸法ｎ１ｔａｌＯμｍ程
度又はそれ以下に設定される。このように両者を密着さ
せず１両者間に空隙を介在させることは、ＬＤＩＩの寿
命を延長化させる等の理由から必要とされている。この
従来例は１以上のように構成されたものであるが１次に
述べるような問題点がある。
の入力端面１２ｂとの相互間隔寸法ｎ１ｔａｌＯμｍ程
度又はそれ以下に設定される。このように両者を密着さ
せず１両者間に空隙を介在させることは、ＬＤＩＩの寿
命を延長化させる等の理由から必要とされている。この
従来例は１以上のように構成されたものであるが１次に
述べるような問題点がある。
■ ＬＤＩＩの出射端面１１ａからの出射光を光ガイド
１２ａの端面１２ｂで受光する構造を採っているため、
ＬＤｌｌの拡開して出射する出射光の外周部が光ガイド
１２ａに入力されず無駄になり、光学的結合効率が良好
でない。
１２ａの端面１２ｂで受光する構造を採っているため、
ＬＤｌｌの拡開して出射する出射光の外周部が光ガイド
１２ａに入力されず無駄になり、光学的結合効率が良好
でない。
■ ＬＤＩＩと光ガイド１２ａを整合調整するために、
前述したｘ、ｙ、ｚ、θ及びグ方向の合計５方向におけ
る調整が必要であシ、このため。
前述したｘ、ｙ、ｚ、θ及びグ方向の合計５方向におけ
る調整が必要であシ、このため。
調整作業が非常に煩雑で手間がかかる。また、これらの
調整全可能とするために固定基板１３等の構造が複雑化
され、固定のための構造が複雑である。尚、これらのこ
とは受光素子と光ガイドの結合時にも同じことが言える
。
調整全可能とするために固定基板１３等の構造が複雑化
され、固定のための構造が複雑である。尚、これらのこ
とは受光素子と光ガイドの結合時にも同じことが言える
。
に）発明の目的
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、光ＩＯ
と発光素子・受光素子の光学的結合の高効率化が可能で
アシ、かつこれら両者の整合調整及び固定構造を簡略化
し得る光■０と発光・受光素子の光学的結合構造全提供
することにある。
と発光素子・受光素子の光学的結合の高効率化が可能で
アシ、かつこれら両者の整合調整及び固定構造を簡略化
し得る光■０と発光・受光素子の光学的結合構造全提供
することにある。
（ホ）発明の構成
そして、上記目的を達成するために１本発明に依れば、
光スィッチ、光分岐回路等の機能を一枚の基板上に集積
化して形成され／ヒ光集積路路における入力側光導波路
上面に回折格子を設け、該光集積回路基板を搭載して固
定するだめの固定基板に、底面が鏡面状に形成された反
射溝を設け。
光スィッチ、光分岐回路等の機能を一枚の基板上に集積
化して形成され／ヒ光集積路路における入力側光導波路
上面に回折格子を設け、該光集積回路基板を搭載して固
定するだめの固定基板に、底面が鏡面状に形成された反
射溝を設け。
該反射溝の底面上に発光素子（又は受光素子）を配設し
、前記光導波路を前記反射溝上に整合させて、前記光集
積回路基板を固定基板上に面接触状態で載置すると共に
前記光導波路の入出力端面を発光素子（又は受光素子）
の出射端面（又は入射端面）に近接配置して形成したこ
とを特徴とする光集積回路と発光・受光素子の光学的結
合構造が提供される。
、前記光導波路を前記反射溝上に整合させて、前記光集
積回路基板を固定基板上に面接触状態で載置すると共に
前記光導波路の入出力端面を発光素子（又は受光素子）
の出射端面（又は入射端面）に近接配置して形成したこ
とを特徴とする光集積回路と発光・受光素子の光学的結
合構造が提供される。
（へ）発明の実施例
以下１本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
第３図から第６図は本発明の詳細な説明するための図で
ある。これらの図において、符号２０は本発明に依る光
集積回路（光１０）と発光素子の光学的結合構造を示し
、２１は固定基板、２１ａは固定基板２１に形成された
反射溝、２２は発光素子としてのレーザダイオード（Ｌ
Ｄ）、２３は光１０基板、２４は光１０基板２３上に形
成された光１０（図示は省略）、２４ａは光１０２４の
入力側光ガイド、２４ｂは入力側光ガイド２４ａの上面
に形成された回折格子をそれぞれ示す。
ある。これらの図において、符号２０は本発明に依る光
集積回路（光１０）と発光素子の光学的結合構造を示し
、２１は固定基板、２１ａは固定基板２１に形成された
反射溝、２２は発光素子としてのレーザダイオード（Ｌ
Ｄ）、２３は光１０基板、２４は光１０基板２３上に形
成された光１０（図示は省略）、２４ａは光１０２４の
入力側光ガイド、２４ｂは入力側光ガイド２４ａの上面
に形成された回折格子をそれぞれ示す。
第３図は固定基板２１の斜視図である。固定基板２１は
シリコン（Ｓｉ）板から形成され１表面に８ｉ０２膜（
酸化シリコン膜）が数千Ｘ程度の厚さで設けられている
。この表面にケミカルエツチング等の手法で、 ５ｔｏ
２膜が除去された部分に反射溝２１ａが設けられている
。反射溝２１ａは直線状に形成され、その幅が数μｍ〜
数百μｍ程度に設定され、深さも数μｍ〜数百μｍ程度
に設定される。反射溝２１ａの底面２１ｂは旧が露出さ
れ鏡面状に形成されている。後述するように。
シリコン（Ｓｉ）板から形成され１表面に８ｉ０２膜（
酸化シリコン膜）が数千Ｘ程度の厚さで設けられている
。この表面にケミカルエツチング等の手法で、 ５ｔｏ
２膜が除去された部分に反射溝２１ａが設けられている
。反射溝２１ａは直線状に形成され、その幅が数μｍ〜
数百μｍ程度に設定され、深さも数μｍ〜数百μｍ程度
に設定される。反射溝２１ａの底面２１ｂは旧が露出さ
れ鏡面状に形成されている。後述するように。
この鏡面によって発光素子からの出射光が反射される。
反射溝２１ａの断面形状は、この場合逆台形状に形成さ
れているが矩形又は方形状に形成してもよい。反射溝２
１ａの底面２１ｂ上にＬＤ２２が配設される（第５図参
照）。尚、この場合。
れているが矩形又は方形状に形成してもよい。反射溝２
１ａの底面２１ｂ上にＬＤ２２が配設される（第５図参
照）。尚、この場合。
ＬＤ２２はその出射方向が反射溝２１の長手方向に沿う
ように整合される。そして、このＬＤ２２に電流を供給
するための電極用導体パターン２１ｃが固定基板２１上
に設けられ、第５図に示すように、ボンディングワイヤ
２５によってＬＤ２２と電気的に接続される。また、固
定基板２１上に。
ように整合される。そして、このＬＤ２２に電流を供給
するための電極用導体パターン２１ｃが固定基板２１上
に設けられ、第５図に示すように、ボンディングワイヤ
２５によってＬＤ２２と電気的に接続される。また、固
定基板２１上に。
光ＩＯを所望の位置に載置するためのマーク等を設けて
おくこともある。
おくこともある。
第４図に、光１０２４（ｒ備えた光ｉｏ基板２３を示す
。この基板２３は、ニオブ酸リチウム（ＬＩＮｂＯｓ）
、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ ） ＋ インジウムリン
（Ｉｎｋ）、ガラス等から形成されたもので、その上面
に１図示してないが、光スィッチ。
。この基板２３は、ニオブ酸リチウム（ＬＩＮｂＯｓ）
、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ ） ＋ インジウムリン
（Ｉｎｋ）、ガラス等から形成されたもので、その上面
に１図示してないが、光スィッチ。
変調器、光分岐回路、光分波器等の機能を集積化した光
１０２４が形成されている。この光ＩＣ２４の入力側光
ガイド２４ａは１図示の如く、直線状に形成され、その
幅寸法は１０μｍ程度に設定されている。そして、光ガ
イド２４ａ上面に微細な凹凸全形成することにより１回
折格子（グレーティング）２４ｂが設けられている。
１０２４が形成されている。この光ＩＣ２４の入力側光
ガイド２４ａは１図示の如く、直線状に形成され、その
幅寸法は１０μｍ程度に設定されている。そして、光ガ
イド２４ａ上面に微細な凹凸全形成することにより１回
折格子（グレーティング）２４ｂが設けられている。
そして、第５図に示すように、第３図に示した固定基板
２１上に、第４図に示した光１０基板２３全、上下に反
転して光ガイド２４ａｋ下側にして、該光ガイド２４ａ
’に反射溝２１ａ上に整合して載置し、かつ光ガイド２
４ａの端面２４ＣがＬＤ２２の出射端面２２ａ（第６図
参照）と対向して数ｌＯμｍ又はそれ以下の間隙（第６
図のλ寸法）をもって近接配置されている。このように
して。
２１上に、第４図に示した光１０基板２３全、上下に反
転して光ガイド２４ａｋ下側にして、該光ガイド２４ａ
’に反射溝２１ａ上に整合して載置し、かつ光ガイド２
４ａの端面２４ＣがＬＤ２２の出射端面２２ａ（第６図
参照）と対向して数ｌＯμｍ又はそれ以下の間隙（第６
図のλ寸法）をもって近接配置されている。このように
して。
本実施例の光学的結合構造が構成され、その作用は次に
述べる如くである。ＬＤ２２からの出射光２２ｂは上下
に大きく拡開したビーム形状（断面が縦楕円形状）をし
ているので、第６図に示すように、光ガイド２４ａに端
面２４Ｃから直接入射できるのはわずかであり、はとん
どの出射光２２ｂは反射溝２１ａの底面２１ｂへ向かっ
て出射し。
述べる如くである。ＬＤ２２からの出射光２２ｂは上下
に大きく拡開したビーム形状（断面が縦楕円形状）をし
ているので、第６図に示すように、光ガイド２４ａに端
面２４Ｃから直接入射できるのはわずかであり、はとん
どの出射光２２ｂは反射溝２１ａの底面２１ｂへ向かっ
て出射し。
この底面（鏡面）２１ｂＫよって反射される。底面２１
ｂＫよって反射された出射光２２ｂは光ガイド２４ａの
回折格子２４ｂに当り、この回折格子２４ｂの作用によ
って光の進行方向が屈折されて光ガイド２４ａ内に導ひ
かれる。このように。
ｂＫよって反射された出射光２２ｂは光ガイド２４ａの
回折格子２４ｂに当り、この回折格子２４ｂの作用によ
って光の進行方向が屈折されて光ガイド２４ａ内に導ひ
かれる。このように。
本実施例に依れば、ＬＤ２２の出射光２２ ｂ 金、光
ガイド２４ａに、その端面２４Ｃと上面（回折格子２４
ｂ）とから入射させる構成を採ることにより、前出の従
来例（第１．２図）では無駄になっていた光をも光ガイ
ド２４ａに入射させることが可能となり、高効率の光結
合′ｊｆ、実現することができる。尚、この場合、ＬＤ
２２の出射位置と光ガイド２４ａの位置との上下方向に
おける相対位置関係が重要である。すなわち１回折格子
２４ｔｌ’通過して光ガイド２４ａに入射できる光は１
回折格子２４ｂに対する入射角度が制限されるからであ
る。従って１発光素子の出射光の形状特性１回折格子２
４ｂの形状等の関連要素を考慮して反射溝２１ａの深さ
等を適宜に設定することが好捷しい。また１種々の入射
角度の光が光ガイド２４ａに効率良く入射できるように
１回折格子２４ｂの各凹凸部相互の周期（ピッチ）を適
宜に変化させることも有効である。例えば、ＬＤ２２に
近い場所では１回折格子２４ｂに対する入射角度が小さ
いので１周期を小さく形成し、ＬＤ２２から遠くなるに
従って周期を大きく形成することが好ましい。また１本
実施例に依れば１反射溝２４ａの深さ全所定値に設定し
、固定基板２１上に光１ｏ基板２３？！−面接触状態で
載置しているので、 ＬＤ２２と光ガイド２４ａとの整
合調整が非常に容易化される。すなわち、前出の従来例
（第１．２図）の」場合は、前述したように、ｘ、ｙ、
ｚ、θ、ｆ方向の合計５方向の調整が必要であったが１
本実施例の場合は、このうち、Ｚ、Ｆ方向の調整が不要
となＬ’Ｘ、Ｙ、θ方向の合計３方向のみの調整を行な
うだけでよい。
ガイド２４ａに、その端面２４Ｃと上面（回折格子２４
ｂ）とから入射させる構成を採ることにより、前出の従
来例（第１．２図）では無駄になっていた光をも光ガイ
ド２４ａに入射させることが可能となり、高効率の光結
合′ｊｆ、実現することができる。尚、この場合、ＬＤ
２２の出射位置と光ガイド２４ａの位置との上下方向に
おける相対位置関係が重要である。すなわち１回折格子
２４ｔｌ’通過して光ガイド２４ａに入射できる光は１
回折格子２４ｂに対する入射角度が制限されるからであ
る。従って１発光素子の出射光の形状特性１回折格子２
４ｂの形状等の関連要素を考慮して反射溝２１ａの深さ
等を適宜に設定することが好捷しい。また１種々の入射
角度の光が光ガイド２４ａに効率良く入射できるように
１回折格子２４ｂの各凹凸部相互の周期（ピッチ）を適
宜に変化させることも有効である。例えば、ＬＤ２２に
近い場所では１回折格子２４ｂに対する入射角度が小さ
いので１周期を小さく形成し、ＬＤ２２から遠くなるに
従って周期を大きく形成することが好ましい。また１本
実施例に依れば１反射溝２４ａの深さ全所定値に設定し
、固定基板２１上に光１ｏ基板２３？！−面接触状態で
載置しているので、 ＬＤ２２と光ガイド２４ａとの整
合調整が非常に容易化される。すなわち、前出の従来例
（第１．２図）の」場合は、前述したように、ｘ、ｙ、
ｚ、θ、ｆ方向の合計５方向の調整が必要であったが１
本実施例の場合は、このうち、Ｚ、Ｆ方向の調整が不要
となＬ’Ｘ、Ｙ、θ方向の合計３方向のみの調整を行な
うだけでよい。
尚１本発明は、光ＩＣと受光素子の光学的結合の場合も
、上記実施例と同様な要領で構成することにより、同様
な効果を得ることができる。
、上記実施例と同様な要領で構成することにより、同様
な効果を得ることができる。
（ト）発明の効果
以上、詳細に説明したように１本発明に依る光ＩＣと発
光素子の光学的結合構造は、固定基板に。
光素子の光学的結合構造は、固定基板に。
底面が鏡面状に形成された反射溝を設け、抜溝の底面上
に発光素子を配設し、光ＩＯの入力側光ガイド上面に回
折格子を設けて、これら全適宜に対向配置することによ
り、光結合効率の向上、及び光ＩＣと発光素子の整合調
整の容易化と共に固定構造の簡略化が可能であるという
効果大なるものがある。
に発光素子を配設し、光ＩＯの入力側光ガイド上面に回
折格子を設けて、これら全適宜に対向配置することによ
り、光結合効率の向上、及び光ＩＣと発光素子の整合調
整の容易化と共に固定構造の簡略化が可能であるという
効果大なるものがある。
第１図は一例として示した従来の光ＩＣと発光素子の光
学的結合構造の概略的斜視図、第２図は第１図の矢印へ
方市からみた側面図、第３図は本発明に係る固定基板（
２１）の斜視図、第４図は本発明に係る光１０（２４）
’に備えた光ＩＣ基板（２３）の斜視図、第５図は本発
明に依る光ＩＣと発光素子（ＬＤ２２）の光学的結合構
造の概略的斜視図、第６図は第５図の８−ｕ線１１１１
１面断面図である。 ２０・・・本発明に依る光ＩＣと発光素子の光学的結合
構造、２１・・・固定基板、２１ａ・・・反射溝、２１
ｂ・・・底面（鏡面に形成）、２２・・・レーザダイオ
ード（ＬＤ）（発光素子Ｌ ２２ａ・・・出射端面。 ２２ｂ・・・出射光、２３・・・光集積回路（光１０）
基板、２４・・・光集積回路（光１０）、２４８・・・
入力側光導波路（入力側光ガイド）、２４ｂ・・・光ガ
イド（２４ａ）上面に形成された回折格子（グレーティ
ング）、２４Ｃ・・・光ガイド（２４ａ）の端面。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 １）幸 男 弁理士 山 口 昭 之 第２図 第３図 第４図 ２乙
学的結合構造の概略的斜視図、第２図は第１図の矢印へ
方市からみた側面図、第３図は本発明に係る固定基板（
２１）の斜視図、第４図は本発明に係る光１０（２４）
’に備えた光ＩＣ基板（２３）の斜視図、第５図は本発
明に依る光ＩＣと発光素子（ＬＤ２２）の光学的結合構
造の概略的斜視図、第６図は第５図の８−ｕ線１１１１
１面断面図である。 ２０・・・本発明に依る光ＩＣと発光素子の光学的結合
構造、２１・・・固定基板、２１ａ・・・反射溝、２１
ｂ・・・底面（鏡面に形成）、２２・・・レーザダイオ
ード（ＬＤ）（発光素子Ｌ ２２ａ・・・出射端面。 ２２ｂ・・・出射光、２３・・・光集積回路（光１０）
基板、２４・・・光集積回路（光１０）、２４８・・・
入力側光導波路（入力側光ガイド）、２４ｂ・・・光ガ
イド（２４ａ）上面に形成された回折格子（グレーティ
ング）、２４Ｃ・・・光ガイド（２４ａ）の端面。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 １）幸 男 弁理士 山 口 昭 之 第２図 第３図 第４図 ２乙
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光スィッチ、光分岐回路等の機能を一枚の基板上に
集積化して形成された光集積回路における入力側光導波
路上面に回折格子を設け、該光集積回路基板を搭載して
固定するための固定基板に。 底面が鏡面状に形成された反射溝を設け、該反射溝の底
面上に発光素子（又は受光素子）を配設し。 前記光導波路を前記反射溝上に整合させて、前記光集積
回路基板を固定基板上に面接触状態で載置すると共に前
記光導波路の入出力端面全発光素子（又は受光素子）の
出射端面（又は入射端面）に近接配置して形成したこと
を特徴とする光集積回路と発光・受光素子の光学的結合
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15631983A JPS6049304A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 光集積回路と発光・受光素子の光学的結合構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15631983A JPS6049304A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 光集積回路と発光・受光素子の光学的結合構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049304A true JPS6049304A (ja) | 1985-03-18 |
| JPS6319842B2 JPS6319842B2 (ja) | 1988-04-25 |
Family
ID=15625194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15631983A Granted JPS6049304A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 光集積回路と発光・受光素子の光学的結合構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049304A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6464139A (en) * | 1987-09-04 | 1989-03-10 | Hitachi Ltd | Thin film optical pickup |
| WO1994008263A1 (de) * | 1992-09-29 | 1994-04-14 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen eines deckels für eine integriert optische schaltung, deckel für eine integriert optische schaltung und mit diesem deckel hergestellte integriert optische schaltung |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5280042A (en) * | 1975-12-22 | 1977-07-05 | Ibm | Optical coupler |
-
1983
- 1983-08-29 JP JP15631983A patent/JPS6049304A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5280042A (en) * | 1975-12-22 | 1977-07-05 | Ibm | Optical coupler |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO1994008263A1 (de) * | 1992-09-29 | 1994-04-14 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen eines deckels für eine integriert optische schaltung, deckel für eine integriert optische schaltung und mit diesem deckel hergestellte integriert optische schaltung |
| US5454055A (en) * | 1992-09-29 | 1995-09-26 | Robert Bosch Gmbh | Method of making a cover for an integrated optical circuit, cover for an integrated optical circuit, and integrated optical circuit made with this cover |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6319842B2 (ja) | 1988-04-25 |
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