JPS6049686A - 内部ミラ−型ガスレ−ザ管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、内部ミラー型ガスレーザ管に関する。

当業者には周知の如く、共振用反射鏡をレーザ管の内部
と接するように固定して一体化した、内部ミラー型と称
されるガスレーザ管が提案され実用に供されている。こ
の種のガスレーザ管は、共振用反射鏡の表面が埃等によ
って汚染されないために保守が容易で、しかもコンパク
トで且つ安定性が高いという特徴を有している。この内
部ミラー型ガスレーザ管としては、例えば、特開昭５４
−１４２０８８号公報に開示されているものを掲げるこ
とができる。このレーザ管は、一部に塑性変形可能な金
属支持体を有する１／−ザ管本体と一対の共振用反射鏡
とを具備し、上記レーザ管本体の両端に上記共振用反射
鏡を固着することによって密閉ハウジングが構成される
。そして、偏光面規制板は上記レーザ管本体の金属支持
体内に保持されている。また、他の例としては、両端部
に例えばホウ硅酸ガラスから形成された側管を有するレ
ーザ管本体と一対の共振用反射鏡とを具備し、上記レー
ザ管本体の側管に上記共振用反射鏡が固着されたものを
掲げることができる。かかるレーザ管では、レーザ管本
体内に配設された放電路形成用の細管、の一端に偏光面
規制板が固定されている。とれらレーザ管においてレー
ザ光の光軸を調整するには、前者においては金属支持体
を塑性変形させることによって行がわれ、後者において
はバーナ等の加熱手段を用いて上記側管を熱変形させる
ことによって行なわれ、それ故に、光軸の調整が煩雑で
あることに加えて精度の高い調整が困難である問題があ
った。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その目
的は、レーザ光の光軸の調整を容易に行うことができる
改良された内部ミラー型ガスレーザ管を提供することで
ある。

本発明によれば、筒状の主部と該主部の両端に固定され
たプレート状の端部とを有するハウジングを具備し、少
なくとも片方の該端部にブリュースタ窓を構成する偏光
面規制板を設け、該偏光面規制板によってその片側を密
閉し、更に、片方の該端部の該主部の軸線方向に見て該
偏光面規制板よシも外側に位置する部位に共振用反射鏡
を固定したことを特徴とする内部ミラー型ガスレーザ管
が提供される。

以下、本発明に従って構成された内部ミラー型ガスレー
ザ管の好適具体例を、添付図面を参照して詳細に説明す
る。

ガスレーザ管の断面図を示す第１図において、ガスレー
ザ管はハウジング２を具備している。ハウジング２は円
筒形状の主部４とプレート状の端部６とを有し、プレー
ト状の端部６が主部４の両端に低融点ガラスによって固
定されている。具体例では、主部４は例えばホウ硅酸ガ
ラスの如きガラスよシ形成され、端部６は例えばコバー
ル合金の如き金属から形成されている。尚、ハウジング
２は高温となる故に、端部６は主部４の熱膨張率に近い
熱膨張率を有することが重要である。片方の端部６（第
１図において左側の端部）は主部４の軸線方向（第１図
において左右方向）外側に突出するように湾曲されてお
り、その略中央部に孔８が形成されている。この片方の
端部６．の略中央部の外面には、上記孔８を密閉するよ
うに低融点ガラスによって平面鏡１０が固定されている
。平面鏡１０はガスレーザ管の片方の共振用反射鏡を構
成し、９８．５〜９９係程度の反射率を有している。

また、他方の端部６（第１図において右側の端部）は主
部４の軸線方向（第１図において左右方向）外側に突出
するように湾曲された端部本体１２ａと、この端部本体
１２＆の略中央部にて端部本体１２ａの内側端部から主
部４の軸線方向内側に突出している管状部１２ｂとを有
している。端部６の管状部１２ｂの先端はブリュースタ
角に加工されてお９、この先端にガラス平面板１４（偏
光面規制板を構成する）が管状部１２ｂの貫通孔を密閉
するように固定されている。従って、具体例では上記ガ
ラス平面板１４によってブリュースタ窓が構成されてい
る。端部６の−に肥土部４の軸線方向に見てガラス平面
板１４よりも外側に位置する端部本体１２ａの略中央部
外面には、更に、凹面鏡１６が固定されている。凹面鏡
１６が固定される端部本体１２ｍの略中央部外面は曲面
に形成されておシ、凹面鏡１６は後述する如くして略中
火部の所定位置に位置付けられた後にその外面に低融点
ガラスによって固定される。この凹面鏡１６はガスレー
ザ管の他方の共振用反射鏡を構成し、実質上１００チの
反射率を有してる。

具体例のレーザ管においては、平面鏡１４及び凹面鏡１
６によって密閉されたハウジング２内にはヘリウム（Ｈ
ｅ）とネオン（Ｎｏ）の混合ガスが封入されている。こ
のハウジング２内には、更に、円筒状の陰極１８及び細
管２０が配設されている。

円筒状の陰極１８は表面が酸化層によって覆われたアル
ミニウムから形成されておシ、その一端（第１図におい
て右端）が主部４内に装着された支持部材２２の支持突
部２２ａに装着され、その他端（第１図において左端）
がハウジング２の片方の端部６に固着されている金属製
の接続片２４に固定されている。細管２０は円筒状の陰
極１８の内側に配設されておシ、支持部材２２を貫通し
て主部４の略中心部にてその略全長に渡って延びている
。この細管２０は石英ガラスの如きガラスから形成する
ことができ、具体例においては、細管２０の右端が主部
４の右端に接続されて主部４と一体に形成されている。

上述した通υのガスレーザ管においては、第２図に示す
如く、ハウジング２の片方の端部６と他方の端部６との
間に直流電圧Ｅが印加される。かく電圧Ｅを印加すると
、円筒状陰極１８が陰極、他方の端部６（第１図におい
て右側の端部）が陽極となり、ハウジング２内に封入さ
れたヘリウム（Ｈｅ）−ネオン（Ｎ＠）の混合ガスが放
電されて細管２０内に放電プラズマが形成され、かくし
て平面鏡１０と凹面鏡、１６との共振作用によりレーザ
発振が起こり、平面鏡１０を通してレーザ光が得られる
。

上述した通シのガスレーザ管においては、以下の如くし
てレーザ光の光軸の調整が行なわれる。

第２図を参照して説明すると、まず、平面鏡１゜及びガ
ラス平面板１４によって密閉され、内部にヘリウム（Ｈ
ｅ）−ネオン（Ｎｏ）の混合ガスが封入されていて未だ
凹面鏡１６が固定されていないハウジング２を支持台２
６に取付けられたハウジング支持部材２８に装着する。

ハウジング支持部材２８はハウジング２を上下方向等に
調整するだめの調整ねじ３０を有しており、ハウジング
２をハウジング支持部材２８に載置した後は調整ねじ３
０を回動させてハウジング２を所定位置に位置付ける。

次いで、ハウジング２の一端側（平面鏡１ｏが配設され
ている側）にレーザ光検出器（図示せず）が装着されて
いる検出器支持部材３２を配設して、ハウジング支持部
材２８に支持されたハウジンク２からのレーザ光がレー
ザ光検出器に受光されるように位置付ける。また、ハウ
ジング２の他端側（ガラス平面板１４が配設されている
側）に凹面鏡１６が支持されている凹面鏡支持部材３４
を配設して、平面鏡」０からの反射光が凹面鏡１６によ
って反射されるように位置付ける。凹面鏡支持部材３４
は、凹面鏡１６を上下方向に移動させるだめの調整ねじ
３６、凹面鏡１６を第２図において紙面に垂直々方向に
旋回させるための調整ねじ３８、及び凹面鏡１６を上下
方向に旋回させるための調整ねじ４０を有している。

しかる後に、ハウジング２の片方の端部６と他方の端部
６との間に直流電圧を印加して上述した如くレーザ光を
発振させる。レーザ光を発振させると、ハウジング２か
らのレーザ光はレーザ光検出器に受光される。

レーザ光が発振した後は、ハウジング２からのレーザ光
の出力が実質上最大となるようにレーザ光検出器により
レーザ光の出力を検出しながら凹面鏡１６を所定位置に
位置付ける。凹面鏡１６の位置付けは、調整ねじ３６．
３８及び４０を回動させることによって所要通シに行な
われる。そして、位置付けの際には、凹面鏡１６の周縁
部が他方の端部６の端部本体１２ａの略中央部外面に尚
接しながら移動され、かくしてレーザ光の光軸の調整が
行なわれて凹面鏡１６は正確に所定位置に位置付けられ
る。

上述した如くして凹面鏡１６の位置付けが終了した後は
、凹面鏡１６は低融点ガラスによって上記端部主体１２
ａの略中央部外面に固定され、かくして所要通シのレー
ザ光の光軸の調整の後に他方の端部６に固定される。

上述した通りのガスレーザ管においては、上述した記載
から理解される如く、ハウジング２が平面鏡１０及びガ
ラス平面板１４によって密閉されている故に、レーザ光
の光軸の調整の際にレーザ光を発振させながら凹面鏡１
６を自由に移動させることができ、レーザ光の光軸の調
整が容易となる。

以上、本発明に従って構成され゛たガスレーザ管の具体
例について説明したが、本発明はかかる具体例に限定さ
れるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種
々の変形乃至修正が可能である。

例えば、具体例においては凹面鏡を低融点ガラスによっ
て固定しているが、ハウジング２の他方の端部がガラス
平面板によって密閉されている故に、低融点ガラスに代
えて接着剤（例えばエポキシ系合成接着剤）によって固
定することも可能である。

また、具体例においては平面鏡をハウジングの片方の端
部に固定することによって位置調整不可能となっている
が、所望ならば、上記片方の端部に塑性変形可能な金属
支持体を設け、かかる金属支持体に上記平面鏡を固定す
ることによって、平面鏡を位置調整可能に装着すること
も可能である。

また、具体例ではハウジングの一端を平面鏡によシ密閉
し、その他端をガラス平面板により密閉しているが、所
望ならば、上記ハウジングの一端部をその他端部と実質
上同一の構成にしてブリュースタ窓を構成するガラス平
面板によシ密閉するようにすることも可能である。

更にまた、具体例においては共振用反射鏡を平面鏡と凹
面但の組合せによシ構成しているが、これに代えて一対
の凹面鏡の組合せよシ構成することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って構成されたガスレーザ管の好
適具体例を示す断面図。 第２図は、第１図のガスレーザ管におけるレーザ光の光
軸の調整を説明するための簡略図。 ２・・・ハウジング ４・・・主部 ６・・・端部 １０・・・平面鏡 １４・・・ガラス平面板 １６・・・凹面鏡 １８・・・陰極 ２０・・・細管 特許出願人　三田工業株式会社 １５− ４０９−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、筒状の主部と該主部の両端に固定されたプレート状
   の端部とを有するハウジングを具備し、少なくとも一方
   の該端部にブリュースタ窓を構成する偏光面規制板を設
   け、該偏光面規制板によってその片側を密閉し、更に、
   一方の該端部の該主部の軸線方向に見て該偏光面規制板
   よシも外側に位置する部位に共振用反射鏡を固定したこ
   とを特徴とする内部ミラー型ガスレーザ管。 ２、一方の該端部は該主部の軸線方向外側に突出するよ
   うに湾曲された端部本体と、該端部本体の略中央部にて
   該端部本体の内側端部から該主部の軸線方向内側に突出
   している管状部とを有該偏光面・規制板は該管状部の先
   端部に固定され、該共振用反射鏡は該端部本体の略中央
   部外面に固定されている特許請求の範囲第１項記載の内
   部ミラー型ガスレーザ管。 ３、該共振用反射鏡は凹面鏡から構成され、該共振用反
   射鏡が固定される該端部本体の略中央部外面は曲面であ
   シ、該凹面鏡はレーザ光の発振状態を検出しながら所定
   位置に位置付けられ、しかる後に該端部本体の略中央部
   外面に固定される特許請求の範囲第２項記載の内部ミラ
   ー型ガスレーザ管。