JPS60500251A - シランの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 シランの製造方法 本発明はシランガス（ｓｉＨ４）の製造に関し、さらに特別にはシラン製造のた めの非常に有利な、商業的に魅力のある方法に関する。

純粋なシランの製造は、半導体および他の目的用の超高度に純粋な珪素の最終的 製造における重要な工程である。

過去には、当業界は四塩化珪素（５ＬＣ１４）から珪素を合成する幾つかの方式 を教示されてきたが、これらの商業的の可能性は証明されなかった。むしろ、工 業では商業的シラン製造用として各種の別の経路を選択してきた。例えば、ある 外国の製造業者は、液体アンモニア中で珪化マグネシウム（Ｍｇ２Ｓｉ　）と塩 化アンモニウムとを反応させていると伝えられている。別の、国内の製造業者は 、四塩化珪素と比較的高価な四水素化アルミニウムリチウム（Ｌ　ｉ　Ａ　］、 Ｈ４）とを反応させている。他の製造業者は、冶金縁珪素を塩化水素処理をして 各種のクロロシランを製造し、次いで、このクロロシランを触媒床中において不 均化してシランと四塩化珪素とを得ている。なお別の製造業者は、シランを全く 避け、その代りクロロシランから珪素を析出させている。従って、容易に入手で きる出発物質を用いて経済的な合成法によって純粋なシランを供給する必要性２ 　特表昭に０−５００２５１　（２）が存在する。

本発明は、容易に入手できる出発物質から経済的に可能な経路によって純粋なシ ランがスの供給を指向している。

本発明は、四フッ化珪木を四水素化アルミニウムナトリウム、四水素化アルミニ ウムカリウムまｔ二は四水素化アルミニウムナトリウムと四水素化アルミニウム カリウノ・どの混合物と独占的に反応させろ／ランの製造方法である。

本発明は、また、四フッ化珪素を非−固体形態で反応域に導入する方法でもある 。

本発明は、また、四フッ化珪素を不活性な液体反応媒質中で連続的に特定の四水 素化物と反喧さぜ、そわによって実質的に全反応期間を通して反応混合物が前記 媒質中の副生物固体の非粘性スラリーから成る方法である。

本発明は、また、副生物固体　反応体の四水素化物のモル比が少なくとも１であ る連続式方法とも云えるっ本発明には、また、四フッ化珪素ガスを四水素化アル ミニウムナトリウムを含有する不活性液体反応媚質中に導入し、その反応媒質を ６０〜８０℃の範囲の温度に維持するシランの製造方法が含まれる。

さらに別の態様において、四フッ化珪素ガスを攪拌されている、四水素アルミニ ウムナトリウムを含有する不活性な液体ポリエーテル反応媒質中に導入し、該反 応混合物を、（＋）３０〜８０°Ｇの温度、（１１）大気圧から１００気圧まで の圧力、および０１］）水素、シランまたは両者の雰囲気下に維持す゛ることが ら成ろシランの製造方法が本発明によって提供される。

本発明のさらに別の態様では、 （ａ）　四フッ化珪素ガスを四水素化アルミニウムナトリウムを含有する不活性 な反応媒質中に導入し、θ〜１５０’Ｃの範囲内の温度で反応させ、高純度のシ ランガスおよび副生物の固体とを生成させことから成り、その際該液体反応媒質 が、副生物固体はそれには不溶であり、該副生物が該液体媒質とは安定な錯体を 形成しないものであることをさらに特徴とするものであり、 （ｌ〕）　高純度７ランガスを回収し、＜ｃ）前記の副生物固体を前記の反応媒 質から分離し、そして、 （ｄ）　前記の液体反応媒質と前記の副生物固体とを別々に回収する 諸工程から成ることを特徴とする高純度７ランガスの経済的な製造７１法が含ま れる。

本発明の他の態様においては、前記の７ランガスの経済的方法は、少なくとも周 期的に、そして好ましくは連続的に、（ａ）四フッ化珪素ガスと（ｂ）新しい不 活性反応媒質中の四水素化アルミニウムナトリウムとを反応域中の不活性反応媒 質中に別々に導入し、少なくとも周期的に、そして好ましくは連続的に（Ｃ）シ ランガス生成物と（ｄ）前記の副生物固体を含南ずろ液体反応媒質とを反応域か ら取出すことから成る連続基準で行なうことをさらに特徴する方法である。

本発明の方法によって、純粋な７ランガスが、四フッ化珪素（Ｓ］、Ｆ４　’） と四水素化アルミニウムナトリウム（Ｎａ八へＨ，）、四水素化アルミニラｊ・ カリウム（ＫＡ］Ｘ１４）または四水素化アルミニウムナトリウムと四水素化ア ルミニラ１１カリウムとの混合物との反応から生成されろ。好まし２い反応は、 四ツノ化珪素と四水素化アルミニウムナトリウムとの反応である。

四フッ化珪素は、燐酸塩肥料工業の副生物Ｊ・；よび他の供給源から入手できろ ヘキザフルＡ珪酸（Ｆ（２員ｌつ、）からガスとして容易に製造できろ。四ツノ 化珪素（佳、四塩化珪素Ｋまさろ幾つかの利点かあ）４）。例えば、四水素化ア ルミニウムナトリウノ、または四水素化アルミニウムカリウムとの反応によって 生成されたフルオライド副生物は好ま（７いポリニーデル反応媒質と錯体を形成 せず、従って比較的容易に媒質がＣつ分離−（できも。

これと比較して、クロライド副生物・；よ、好ましく・ポリエーテル媒質と安定 な錯体な形成する〕−め溶剤の回収が困離になり、全体の反応の経済性および実 用性を低めている。フルオライドも時々粘稠なスラリーを形成するが、これらは 通常品濾過性であるため溶剤の回収は可能である。例えば四フッ化アルミニウム ナ［・リムの５ 溶解度は、室温でジグソノ、中において０．５５重量裂と測定され−でいる、こ れに対して四塩化アルミニウムナトリウムの溶解度は室温てεベグリノ、中にお いて約３０係と４１１１定されτ見・ろ。

ト発明では四フッ化珪素との反応用に金属Ｎ水素化物錯体が使用される。本発明 の金属水素化物錯体には、四水素化アルミニウムナトリウムおよび四水素化アル ミニｒ′７ムカリウムカー含まねる、四水素化−アルミニウム−マゲネシウノ、 ｋ４ｇ（八１ＦＩ４）、および四水素化アルミニ−ウノ、カルシウムのような四 水素化アルミニウムアルカリ土類金属は、本発明からは除外されろ。四水素化ア ルミニムナｌ−ＩＪウドは、製造、取扱いが比較的容易であり、比較的安定で友 ・す、好ま牙するＣ夜体反応媒質中て一般に不溶性でｔ）ろため本発明用として は好ましい。

本発明の方法は、液体反応媒質中で好ましく行なわれる。本発明の液体媒質Ｖこ は、ジエチレングリコールのジメチルエーテル（ジグリム）、エチレングリコー ルのジメチルエルチル（モノグリム）、トリエチレングリ：１−ルのジメチルエ ーテル（トリグリム）、テトラエチレングリコールのジメチルエーテル（テトラ グリム）のようなポリエーテル、ジアルコ扼シル、４−ジオキサンおよび１．ろ −ジオキシラン、テトラヒドロ７う／（ＴＨＦ）、）ルエンおよびキシレンを含 む炭化水素、ジエチルエーテルおよびジフェニルエーテルのような単一脂肪族お よび芳香族エーテル、トリエチル６　１８表日ＨＧＯ−５００２５１（３）アミ ン、１−１１ブチルアミンを３む第一アミンおよび１・ｊ−メチルピロリドンが 含まλ１石）。

ｓｒ　ＩＪエーテルの好まＩ−い部類以外の液体反応媒質も、また一般に水と混 合性である。炭化水素媒質は、ボールミル反応器のような強力な攪拌をｈなわな け牙しばシラン収量は低〜中程度になる。

好ましい液体反応媒質は、ポリエーテルである。にれらには、１，４−ジオキサ ン、１．ろ−ジオキソラン、エチレングリコールのジエチルエーテル、エチレン グリコールのジエチルエーテル、プロピレングリコールのジメチルエーテル、ジ エチレングリコールのジメチルエーテルなどが含まれろ。

液体反応媒質のさらに好ましい部類は、ｆルキレングリコールのジー（ａ級アル キルエーテルである。これらには、エチレングリコールのジエチルニーデル、プ ロピレングリコールのジメチルニーデル、ジエチレングリコールのジメチレンニ ーテールなどが含まれろ。

さらになお好まし見・のは、エチレングリコールのジー低級アルキルエーテルで ある。これらにはエチレングリコールノシメチルエーテル、ジエチレンクリコー ルのジメチルエーテル、トリエチレングリコールのジメチルエーテル、ジエチレ ングリコールのジエチルエーテルなどが含まれろ。

最も好ましい媒質は、ジエチレングリコールのジメチルエーテル（ジグリム）で おる。本発明の好ましい溶剤は、四水素化アルミニウムナトリウムまたは四水素 化アルミニウムカリウム反応体に対して恰好の溶解度を伺与する溶剤で゛ある。

本発明の四水素化物の化学量論より過剰量、好ましくは四水素化アルミニウムナ トリウムの過剰量で反応を行うことである。反応体の四フッ化珪素は、超高純度 珪素の製造用に使用するときのシランの価値を低下させる硼素不純物を１〜ばし ば含有する。前記の過剰の四水素化アルミニは、液体反応媒質内の硼素汚染物を 捕捉する。

液体反応媒質中の四水素化物の濃度は、バッチ法ては該液体反応媒質の少なくと も約２重量係が好ましく・。

これより低い濃度は不経済てηす、副生物および反応媒ηの回収に問題を生じる 。反応媒質の１重量係のような低い四水素化物の濃度は、パッチ法では商業的に 実施できない。またあまり過大量の反応媒質は不必要に高い攪拌動力所要量を必 要とする。

シラン合成用として好ましい反応体である四水素化−アルミニウムナトリウムは 、ポリエニーチル反応媒質中の溶液として導入し、四フッ化珪素ガスをそれに添 加するのが好ま（５，い。

本発明の方法は広い温度範囲で行うことができろ。

四フッ化珪素はガスとして計量され、反応域中に凝縮され、ここで凍結し、て固 体になる。その後、系内の温度上昇に伴℃・、四フッ化珪素は四水素化アルミニ ウムナトリウム、四水素化アルミニウムカリウ１．または四水素化アルミニウム ナトリウムと四水素化アルミニウムカリウムとの混合物反応体と反応をはじめる ゛。四フッ化珪素は、液体窒素で約−１９６℃で凍結てきる。

好適な反応温度範囲は、液体反応媒質の分解カー起こり本発明の他の反応が妨害 されろ温度まで拡げられる。

適用可能な反応温度範囲は約１６０°Ｃまでである。エーテル反応媒質における 好ましい範囲は、Ｏ〜ｓｏ’ｃである。さらに好ましい範囲、エーテル型液体反 応媒質を使用する本発明の反応用としては特に、４０〜７０°Ｃである。最も好 ましい反応温度範囲は、５０〜６０°Ｃである。

本発明の方法は、大気圧より高いまたは低い圧力で実施できるが、圧力は四フッ 化珪素と四水素化アルミニウムナトリウム、四水素化アルミニウムカリウムまた は四水素化アルミニウムと四水素化アルミニラｌ、カリウムとの混合物との反応 性に友・まり強く影響を及ぼさない。反応圧力の好適な範囲は、１〜１００気で ある。好ましい範囲は、１〜４０気圧である。大気圧における四フッ化珪素のジ グリム中の溶解度は約０．７５係であり、５００ｐｓｉ３　ではグリム中で約５ ％の溶解度である。

この反応は不活性雰囲気下で行うことができろ。便利なのはシラン雰囲気であり 、所望とよって水素のスイーブ’　（Ｓｗｅｅｐ　）を行い、好ましくは液体反 応媒質中９ 反応域より上に該生成物の発生に伴って維持する。アルゴン、ヘリウム、窒素お よび他の不活性がスも使用できる。

本発明の方法は機械的または他の攪拌を伴って行なうのが好ましい。攪拌はスラ リー粘度が著しく低下するジグリム中の５０°Ｃより高い温度において向上する 。

本反応は大部分の反応条件で殆んど瞬間的である。

液体反応媒質中に四フッ化珪素がスを気泡として送入する場合は純粋のシランガ スが容易ＬＬ発生する。

本反応は、四フッ化珪素がボールミル反応器のような攪拌されている反応容器中 の四水素化物に供給される場合には液体反応混合物なしで行うことができろ。

ボールミル反応器および同様な装置は、また炭化水素のようなある種の反応媒質 にも好ましい。かような媒質を使用するときは高剪断攪拌は良好な反応に役立つ 。

この反応は若干発熱性であるため、反応体／反応スラリーを外部熱交換器への循 環または内部冷却コイルの使用によって除去することができる。

本発明の好ましい一つの態様は、四フッ化珪素ガスおよびジグリム中に溶解した 四水素化アルミニウムナトリウムの連続的供給である。この態様には、反応が完 結に近づく条件で作動する連続的に逆混合される（　ｂａｃｋ−ｍｉｘｅｄ　） 反応器中における操作が含まれる。

反応域のスラリー中の副生物固体のモル濃度が四水素化物のモル量を超えると、 スラリーのコンシステンシ１０　特表昭ＧＯ−５００２５１（４）−は、高い粘 度（粘稠）から中程度の粘度（うすい）に移る。この現象は四フッ化珪素ガスを 液体スラリーに物質移動させるのに好ましく、そのため完全かつ急速な反応が行 なわれる。

本発明のパッチ法とは反対に、連続方式においては液体反応媒質中の四フッ化物 の濃度は、反応媒質の重量の２係以下に十分かつ好ましく低下できる。連続法の 利点は、パッチ法に関して前記した任意の問題が克服できることである。

次の実施例は本発明の理解にさらに役立つ。

実施例　１ ５０−（７）三つ口丸底反応フラスコに、１０ミリモルの四水素化アルミニウム ナトリウム（ＮａＡｌＨ４）をジグリム中の４％溶液として添加した。このフラ スコをガス補集装置に接続し、予め精製した水素でパージした。

直径にインチの２リテトラフルオロエチレンチユーブを四フッ化珪素ガス溜に接 続し、一端をフラスコ中の四水素化アルミニウムナトリム／ジグリ溶液の表面下 に延長した。反応器に続くコンデンサーはドライアイスとアセトンとの混合物で 冷却され、生成物トラップは液体窒素で冷却された。磁気攪拌を始動させ、四フ ッ化珪素を前記溶液の表面下に１０ミリモル／３０分の供給量で流出させた。四 水素化アルミニウムナトリウムのジグリム溶液の温度は、四フッ化珪素の供給開 始時は５０°Ｃであり、徐々に上昇して最終温度は６゜°Ｃであった。約１０　 ミＩＪモルの四フッ化珪素の添加後、反応器および捕集系統に水素をさらに３０ 分間通した。

コンデンサーと生成物トラデとの間のパルプを閉め、トラップおよび捕集系統を 減圧にした。目盛りのある部分を隔離し、凝縮した生成物がその中に気化するよ うにした。気体生成物は、観察された初めと終りの圧力に基づいて理想気体法則 によって計算した。試料は質量分析法によって分析した、シランの収率は装填し た四水素化アルミニウムナトリウムに基づいて９９φ反応を６０〜７０°Ｃで行 ったのを除いては実施例１と同じ一般的方法で行った。四水素化アルミニウムナ トリウムに基づくシランの収率は９０％であった。

実施例　ろ 反応を５５°ＣおよびろＱ　ｐｓｉｇの圧力で行ったのを除いては実施例１と同 じ一般的方法で行った、また、化学量論よりわずかに過剰の（１，０：　０．９ ７　）四フッ化珪素を使用した。１時間後の収率は９６チであり、生成物のシラ ンは若干の四フッ化珪素ガスを含有した。

実施例　４ 反応を５０°Ｃおよび６０ｐｓｉｇで行ったのを除いては実施例１と同じ一般的 方法で行った。収率は８０φであり、生成物のシランは若干の四フッ化珪素ガス を含有した。

実施例　５ 反応を５０℃および５５　ｐｓｉｇで行ったのを除いては実施例１と同じ一般的 方法で行った。この場合も化学量論より過剰（１，０：　１．２　）の四水素化 アルミニウムナトリウムを使用した。収率は９６％シランであり、四フッ化珪素 は含まれなかった。

実施例　６ 実施例１と同じ一般的方法で行った。但し、四水素化アルミニウムナトリウムを 、ジグリム中の６チ溶液として供給し、反応を５０°Ｃおよび６０　ｐｓｉｇで 行った。また化学量論より過剰（１，０：　１．２　）の四水素化アルミニウム ナトリウムをこの場合も使用した。２時間後、シランの収率は９７飴であり、こ の場合も四フッ化珪素は含まれなかった。

実施例　７ 実施例１と同じ一般的方法で行った。但し、四水素化アルミニウムナトリウムを ５係溶液として供給し、四フッ化珪素を液体反応媒質の上に供給した。化学量論 より過剰（１，０：　０．９１　）の四フッ化珪素を５０°Ｃおよび大気圧で反 応させた。２時間後のンラ／の収率は９８％であった。

実施例　８ 液体反応媒質も若干のテトラヒドロフランを含有し、反応を２５〜５Ｄ’Ｃで行 ったのを除いては実施例１と同じ一般的方法で行った。シランの収率は８６係で あ１ろ 四水素化アルミニラ、ムナトリウムを、使用−ｔろ前に再結晶したのを除いては 、実施例１と同じ一般的方法で行った。反応は５５°Ｃおよび３ろｐｓｉｇで行 い、１時間後のシラン収率は８６チであった。

実施例１０ 実施例１と同じ一般的方法で行った。化学量論より過剰（１，０：　１．３　） の再結晶した四水素化アルミニウムナトリウムをジメトキシエタンの４５係溶液 で使用し、２ろ０Ｃおよび大気圧で反応を行った。１時間後のシラン収率は、８ ４％であった。

本発明の方法を、反応域中に種（５ｅｅｄ　）物質を導入して行うこともできろ 。種物質には、ＭｇＯ、、Ｎａ２ＳｉＦ６、Ｃａ　ＣＯ３、ＫＦ　その他が含ま れる。また、若干の実験を上記の実施例と同じ条件下で行い、同様な良結果が得 られた。

実施例１１と１２とは反応混合物に種物質を添加したものを説明する。

実施例１１ 約２０ミリモルのＭｇＯも四水素化アルミニウムナトリウムと共に反応混合物に 添加したのを除いては実施例１と同じ一般的方法で行った。上記の実施例よりシ ラン収率は高く、副生物スラリーは前実施例のスラリーより迅速に濾過でとた。

１４　特表日Ｒ６０−５００２５１（６）実施例１２ ４ミリモルのフン化珪素ナトリウム（Ｎａ、５ＩＦ６）を反応混合物に添加した のを除い−こは実施例１と同じ一般的方法で行った。シランの収率ば９４φであ り、副生物固体の性質は変化した。

メチル−ｔ、　−−ｆ　チルエーテル、ジフェニルエーデルおよびトルエ／を用 いた若干の実験では、低い７ラン収率が得られた（それぞれ、１０係、５チおよ び１％未満）、シかし、これらの液体媒質を使用した反応混合物と高剪断攪拌装 置とを併用すれば収率は増加するであろう。

手続補正書（睦） 昭和５９年　９月２０日 特許庁長官殿 ■、事件の表示 ｐａＴ／１ｙｓ８３１０１９７５ ２、発明の名称 シランの製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 □ 昭和　年　月　日 ６、補正により増加する発明の数 国際調査報告 １−１−ｎ４ａ＋ｌ＋＋ｎｓｌ　Ａｐ１１１ｉｅａ＋ｉｏ。、。ＰＣＴ／１ｌｓ ８３１０１９７５１、　ＣＬＡ５ｇ１ＦＩＣＡＴＩＯＮ　ＯＦ　ＳυＢ註ｅＴ　 ＭＡＴｒ！Ｒｌｉｔ　＋ｅｖａ＋ａｌ　ｃｌａ＊５ｉｆｉｃ＋＋１ｌｏｎ　ｓ） ｍｂｏｌ＊　ａｐ内、　１ｎｄｌｃａｌｓ　ａｌｌ＋　’Ａｅｅａ＋ｄｉｎｇｔ ｏＩｎｌａ＋ｎａ＋ｌＯｎａｌＰａｌａＩＩＩＣｌａｍｉｉｌｌｅａ＋Ｉｏ＋＋ ｆｌＰｃｌｏｒ＋ｏｂｏｔｈＮａｔｉｏｎａｌＯａｔｓ：１ｅａａａｎａｎｄＩ ＰｃＩｎｔ、　ＣＬ３　Ｃ０４Ｂ３３１０４、　ＵＳ　ＣＬ、４２３／３４７ Ｃ１ａｓｓｉｆｉｃａｔｉＯｎＳ１＊ｌｓｍＩＣｌａｓｘｌＴｅｘｔｌｏｎＳＹ ｍｂｏｌｓ：ＵＳ１′４２３／３４７ １　１、、ｔｈｅＥｘｔａｎｔｔｈａｔｓｕｅｈＤｏｃｕｍｅｎｔｓａｓｓＩｎ ｃｌｕｄｅｄＩｎｔｈｅＦｉｅｌｄｓＳｅａ＋ｅｈｅｄＩＣａｌａｇａ「Ｙ’１ ＣｉＬｓｌｉｏｎｏｌＤｏｃｕｍｅｎ＋、＋Ｉｗｉｔｈｉｎｄｉｅａ＋ｌｏｎ、 冑ｈｅｒｅａ口ρ＋ａｐ＋１ａｌｓ、ｏずＬｈｓ＋ｅｌｅｖａｍｐａｕａ卯ｓ１ １１ＲａｌｅｖａｍｌＯＣｌａｉｍ）ｌｏ、ｌｌＹ　：ＧＢ、　Ａ　８２３，４ ９６．　（Ｋｅｌｌｙ）　１１　Ｎｏｖｅｍｂｅｒ　１９５９　１　１−１２□ Ｙ　’　Ｎ、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｆｌｕｏｒｉｎｅ　Ｃｈｅｍｉｓ仁ｒｙ、 １４　１ｓｓｕｅｄ　１−１２’　１９７９．　Ｐａｄｍａ　ｅ仁　ａｌ　５ｉ ｌｉｃｏｎ　Ｔｅ仁ｒａｆＬｕｏｒｉｄｅ：　ｌ　１−１２’　Ｐｒｅｐａｒａ ｅｉｏｎ　ａｎｄ　Ｒｅｄｕｃ＋：Ｌｏｎ　ｗｉｔｈ　Ｌｉｔｈｉｕｍ　Ｊ：Ａ ｌｕｍｉｎｕｍ　Ｈｙｄｒｉｄｅ、　ｐｐ、　３２７−３２９Ｘ　、：　ＧＢ、 　Ａ　８５１，９６２．　（Ａｌｌｉｅｄ　Ｃｈａｍ、　Ｃｏｒｐ、）　１−１ ２・　１９　０ｃｅｏｂｅｒ　１９６０ Ｙ　’、　ＧＢ’、、　Ａ　９０９，９５０．　（ＩＪ、　Ｅ、１．　Ｄｕ　ｐ ａｎｔ　Ｄｅ　Ｎｅｔｎｏｕｒｓｌ　１−１２Ｃｏ、）　０７　Ｎｏｖｅｍｂｅ ｒ　１９６２　１ｉ Ａ　ｉ　ＧＥ、Ａ　８３２，３３３．　（Ｒａｄｌｅｙ　ｅ仁　ａｌ）　０６　 Ａｐｒｉｌ　１９６０　１Ａ　・′ＥＰ、　Ａｌ　５２，８°８．　（’Ｌｅｆ ｒａｎｃｏｉｓ）　Ｇ２　Ｊｕｎｅ　１９８２　ｔ　ＩＹ　’、Ｎ、　Ｊｏｕｒ ｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　ＥｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａＬ　５ｏｃｉｅ仁ｙｌ　 １−１２１ 、’　１２　１ｓｓｕｅｄ　１９６１．Ｌｅｗｉｓ　ｅ仁　ａｌ　Ｐｒｅｐａｒ ａｔｉｏｎ　ｏｆ　１：冊−Ｐｕｒｘｌ：ｙ　５ｉ１１ｃｏｏ　ｆｒｏｍ　５ｉ ｌａｎｅ　ｐｐ、　１１１４−　ｉ：、） ■ ！　！ ’　Ｓｏｍｅ：ａＩｃｘ＋＠ｇｏｓ＠ｓ　０１　ｃｉ＋ｎｄ　ｄｏｃｕｍｓｎｖ ｓ：　”’Ａ”ｄＱｃ１１１１１１１１１１ｄ＠ｎｎｌｎＱｔｈｅｇ４ｎｓ＋５ ｌｌｌａｌｅＯ’＋ｈａａＱ”Ｍｌｆ：”Ｉｓ’０１：’Ｈ：÷１′？二”５ｎ ’ｄ”；＋”ｓ＋”ａ’ｎ’ｄｆｌａｔＩｎ、、讐ｎ、ｆｌ、ｉコ＋、７：Ｗ： ：；ａ、ｉｏ：；：：島ｒｚ：ｃｏｎａ１ｄａ＋ａｄ　ｌｏ　ｂｔ＋　Ｏｆ　ｐ ａＭｃｕｌａ＋　＋ｓｌｅ＋＋＋ｎｃｅ　□ｎｖｓｎｂａｎ’Ｅ−＠ｙｌｉ＠Ｔ 　ｄｏｃｕｍｅｎｔ　ｂｕｔ　ｏｕｂｌｉ＋ｈｓｄ　ａｎ　ＯＴ　ａｌ’１ｆｌ ｌ　ｔｈｅ　：ｍｅｍａｂａｎａ１ｒ山”””ｃａｎｎ、、ｔｂａＣＱｎｓｌｄ ｓｒａｄｎｏｖｓ１ｏｒＣｗｎｏ＋ｂｓｅ。。＊＋ｄｍｅｄ＋。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　四フッ化珪素と、四水素化アルミニウムナトリウム、四水素化アルミニウム カリウム、または四水素化アルミニウムナトリウムと四水素化アルミニウムカリ ウノ、との混合物とを独占的に反応させろことを特徴とするシランの製造方法。 ２　前記の四フッ化珪素を、気体形態でその反応域に導入寸ろ請求の範囲第１項 に記載の方法。 ５　前記の反応を、不活性な液体反応媒質中で行う請求の範囲第１項に記載の方 法。 ４　前記のポリエーテルが、アルキレングリコールのジー低級アルキルエーテル である請求の範囲第６項υＪ記載・プ〕・方法。 ５　前記のボリエーテｙしが、ジエチレングリコールのジメチルエーテルであろ 請求の範囲第ろ項に記載の方法。 ６　前記の４？リエーテルが、エチレングリコールのジメチルエーテルである請 求の範囲第３項に記載の方法。 ７　前記の反応を、水素またはシランまたは両者の雰囲気下、攪拌を伴う不活性 な液体反応媒質中で行う請求の範囲第１項に記載の方法。 ８　四フッ化珪素を、独占的に四水素化アルミニウムミニウ　ｌ、　ＩＪウムと 反応さぜる請求の範囲第１項に記載の方法。 ９　四フッ化珪素がスを、四水素化アルミニウムナトリウトを含有する不活性な 液体反応媒質中に導入１〜、該反応媒質を３０〜８０　’Ｃの範囲内の温度に維 持する請求の範囲第８項に記載の方法。 １０　前記の四フッ化珪素と四水素化アルミニウムナトリウムとを、実質的に全 反応期間を通じて該四水素化アルミニウムナトリウムの量が、使用される該四フ ッ化珪素の化学量論量より過剰であるように配分する請求の範囲第９項に記載の 方法。 １１　前記の反応を、５０〜６０°Ｃの範囲内の温度、および１〜１００気圧の 範囲内の圧力て行う請求の範囲第９項に記載の方法。 １２　前記の四ツノ化珪素ガスを、四水素化アルミニウドナトリウムを含有する 、攪拌されている不活性なポリエーテル反応媒質中に導入し、その反応混合物を 、（１）３０〜８０°Ｃの範囲内の温度、（１１）大気圧から１００気圧までの 範囲内の圧力および０１１）水素、ソラ／または両者の雰囲気下に維持する請求 の範囲第９項に記載の方法。 １ 浄書（内容に変更なＬ）