JPS6050301B2 - クロマトグラフ質量分析装置 - Google Patents
クロマトグラフ質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6050301B2 JPS6050301B2 JP52158475A JP15847577A JPS6050301B2 JP S6050301 B2 JPS6050301 B2 JP S6050301B2 JP 52158475 A JP52158475 A JP 52158475A JP 15847577 A JP15847577 A JP 15847577A JP S6050301 B2 JPS6050301 B2 JP S6050301B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- mass
- chromatograph
- slide valve
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
ガスクロマトグラフ質量分析装置においてデータ処理装
置を用いる場合、質量軸の較正は従来の方法ではデータ
処理装置と分析操作者との対話形式（直値の質量数を人
間が入力する）で行なわれ−、−ｆＪ°’（↓に−Ｌ、
ｌ９、庁１六コー〃ヒ出、ｆ−ク；ｆ、−ス、Ｌｉ斗非
常に面倒である。
置を用いる場合、質量軸の較正は従来の方法ではデータ
処理装置と分析操作者との対話形式（直値の質量数を人
間が入力する）で行なわれ−、−ｆＪ°’（↓に−Ｌ、
ｌ９、庁１六コー〃ヒ出、ｆ−ク；ｆ、−ス、Ｌｉ斗非
常に面倒である。
この発明は質量軸の自動較正を行なうことのできるクロ
マトグラフ質量分析装置を提供しようとするものである
。
マトグラフ質量分析装置を提供しようとするものである
。
以下実施例について説明する。第１図はこの発明のクロ
マトグラフ質量分析装置の一実施例装置であり、１はガ
スクロマトグラフ、２はガスクロマトグラフからの流出
ガスを濃縮するモノキユラーセパレータ、３はこのセパ
レータからのガス流を任意に導通または遮断させるため
のバルブで通常のスライドバルブを用いる。４はバルブ
３を制御するための自動バルブ制御装置、５は加熱標準
試料（ＳＨ）を導入するための加熱試料導入用のスライ
ドバルブ（以下Ｈｉバルブと称する）、６は加熱試料導
入装置、７はデータ処理装置である。
マトグラフ質量分析装置の一実施例装置であり、１はガ
スクロマトグラフ、２はガスクロマトグラフからの流出
ガスを濃縮するモノキユラーセパレータ、３はこのセパ
レータからのガス流を任意に導通または遮断させるため
のバルブで通常のスライドバルブを用いる。４はバルブ
３を制御するための自動バルブ制御装置、５は加熱標準
試料（ＳＨ）を導入するための加熱試料導入用のスライ
ドバルブ（以下Ｈｉバルブと称する）、６は加熱試料導
入装置、７はデータ処理装置である。
８はイオン源、９は分析管、１０は磁石、１０１は分析
管内の磁界強度（質量軸信号）検出部、１１は分析管で
分散されたイオンの強度を検出するイオン検出器、１２
は測定結果の表示、記録装置置（たとえばビデイグラフ
）であり、磁界強度検出部１０１からの磁界強度信号（
質量軸信号）および検出器１１からのイオン強度信号は
、それぞれデータ処理装置７および表示記録装置１２に
入力される。
管内の磁界強度（質量軸信号）検出部、１１は分析管で
分散されたイオンの強度を検出するイオン検出器、１２
は測定結果の表示、記録装置置（たとえばビデイグラフ
）であり、磁界強度検出部１０１からの磁界強度信号（
質量軸信号）および検出器１１からのイオン強度信号は
、それぞれデータ処理装置７および表示記録装置１２に
入力される。
データ処理装置は通常のデータ処理機能をすべて備えて
おり磁界強度検出部１０１、検出器１１からの信号はＡ
Ｄ変換器７１を経て入力される。
おり磁界強度検出部１０１、検出器１１からの信号はＡ
Ｄ変換器７１を経て入力される。
７２はバルブ制御のためのプログラムを収納するバルブ
制御ソフトウェア部、７３は質量軸を自動較正するため
のプログラムを収納する質量軸自動較正ソフトウェア部
、７４はＨｉバルブ５その他の動作を制御する自動バル
ブ制御装置４を動作させるバルブ制御信号部である。
制御ソフトウェア部、７３は質量軸を自動較正するため
のプログラムを収納する質量軸自動較正ソフトウェア部
、７４はＨｉバルブ５その他の動作を制御する自動バル
ブ制御装置４を動作させるバルブ制御信号部である。
これらのプログラムの内容は第２図に示されるが、これ
については第１図の装置の動作とともに以下に説明する
。１ まず通常の測定時にはバルブ３が開、バルブ５が
閉の状態におかれる。分析試料はガスクロマトグラフ１
の試料導入装置に導入され、成分ごとに分離されて溶出
しセパレータ２によりキャリヤーガスの大部分が除去さ
れて試料成分が濃縮される。スライドバルブ３は試料の
溶媒成分のピークが流出している間は閉じられ、所望の
試料成分のピークが流出している間は開かれている。ス
ライドバルブ３によつてサンプリングされた試料は、イ
オン源８においてイオン化され分析管９を通つて分散さ
れ、質量数の走査（磁界走査）に応じて検出器１１によ
り質量数ごとに検出される。
については第１図の装置の動作とともに以下に説明する
。１ まず通常の測定時にはバルブ３が開、バルブ５が
閉の状態におかれる。分析試料はガスクロマトグラフ１
の試料導入装置に導入され、成分ごとに分離されて溶出
しセパレータ２によりキャリヤーガスの大部分が除去さ
れて試料成分が濃縮される。スライドバルブ３は試料の
溶媒成分のピークが流出している間は閉じられ、所望の
試料成分のピークが流出している間は開かれている。ス
ライドバルブ３によつてサンプリングされた試料は、イ
オン源８においてイオン化され分析管９を通つて分散さ
れ、質量数の走査（磁界走査）に応じて検出器１１によ
り質量数ごとに検出される。
一方質量軸信号は検出部１０１により検出される。この
質量軸信号はデータ処理部で記憶されている換算式によ
り質量数に換算され、イオン強度信号とともに表示記録
装置１２に送られてマススペクトルが描かれる。
質量軸信号はデータ処理部で記憶されている換算式によ
り質量数に換算され、イオン強度信号とともに表示記録
装置１２に送られてマススペクトルが描かれる。
２測定開始後所定の時間、例えばクロマトグラ．フの流
出ピークとピークの中間に到達すると、質量軸自動較正
が始まりバルブ制御ソフトウェアに応じてバルブ制御信
号部７４を経て自動バルブ制御部４にスライドバルブ３
の閉、Ｈｉバルブ５の開の信号が送られ、スライドバル
ブ３が閉じられ、続いてＨｉバルブ５が開かれ、標準試
料ＳＨが加熱試料導入装置６、スライドバルブ５を経て
質量分析計に導入される。
出ピークとピークの中間に到達すると、質量軸自動較正
が始まりバルブ制御ソフトウェアに応じてバルブ制御信
号部７４を経て自動バルブ制御部４にスライドバルブ３
の閉、Ｈｉバルブ５の開の信号が送られ、スライドバル
ブ３が閉じられ、続いてＨｉバルブ５が開かれ、標準試
料ＳＨが加熱試料導入装置６、スライドバルブ５を経て
質量分析計に導入される。
続いて磁石装置１０に走査信号が送られて磁場走査が行
なわれデータ処理装置７によりこのときの標る準試料の
所定のスペクトルピークのイオン強度信号に関連する質
量軸信号が読みとられ、記憶されている換算式により換
算された質量数と、これも記憶されている標準試料の質
量数とが比較され偏差値が算出される。比較する代表は
質量数にして、たとえば１０マス間隔約２０〜３０点位
とればよい。
なわれデータ処理装置７によりこのときの標る準試料の
所定のスペクトルピークのイオン強度信号に関連する質
量軸信号が読みとられ、記憶されている換算式により換
算された質量数と、これも記憶されている標準試料の質
量数とが比較され偏差値が算出される。比較する代表は
質量数にして、たとえば１０マス間隔約２０〜３０点位
とればよい。
次にこの偏差値が最も小さくなるように換算が行なわれ
、たとえば３次曲線による最小２乗近似で新らたな換算
式が求められる、この換算式が記憶されていた前回の較
正時の換算式にかわつて記憶される。
、たとえば３次曲線による最小２乗近似で新らたな換算
式が求められる、この換算式が記憶されていた前回の較
正時の換算式にかわつて記憶される。
以上の処理が終了すると次にバルブ制御信号７）４を経
由して自動バルブ制御部４にＨｉバルブ５をじる信号が
送られ、続いて７４を経由して４にスライドバルブ３を
開く信号が送られ、３が開かれて測定スタートの状態に
戻り、クロマトグラフから導入される試料は新らたに記
憶された換算式・のもとにその質量軸信号から質量数が
算出されるようになる。
由して自動バルブ制御部４にＨｉバルブ５をじる信号が
送られ、続いて７４を経由して４にスライドバルブ３を
開く信号が送られ、３が開かれて測定スタートの状態に
戻り、クロマトグラフから導入される試料は新らたに記
憶された換算式・のもとにその質量軸信号から質量数が
算出されるようになる。
以下このような較正一測定一軸正・・・・のくり返しが
自動的に行なわれる。
自動的に行なわれる。
なお、測定前の最初の較正のときには比較すべき前回の
換算式が存在し”ないが、この場合は適当な換算式を用
いればよい。本発明によれば以上のように、質量較正軸
動作を自動的に行なうことができ、面倒な人為的質量軸
較正操作を省くことができるが、さらにつぎのような効
果も得ることができる。
換算式が存在し”ないが、この場合は適当な換算式を用
いればよい。本発明によれば以上のように、質量較正軸
動作を自動的に行なうことができ、面倒な人為的質量軸
較正操作を省くことができるが、さらにつぎのような効
果も得ることができる。
ガスクロマトグラフ質量分析計においては長時間にわた
り装置を使用していると質量軸信号は種種の要因（例え
ば温度上昇等）でドリフトを起すので、分析中において
分析を長く中断することなく手早く較正することが望ま
れるが、本発明では所定のプログラムに従つて、例えば
クロマトグラフからのピークとピークの間において較正
が自動的に迅速に行なわれるので、質量軸信号のドリフ
トがほとんどなくなり、データ処理装置７からの出力デ
ータの分析精度、データの信頼性、再現性が著るしく向
上される。
り装置を使用していると質量軸信号は種種の要因（例え
ば温度上昇等）でドリフトを起すので、分析中において
分析を長く中断することなく手早く較正することが望ま
れるが、本発明では所定のプログラムに従つて、例えば
クロマトグラフからのピークとピークの間において較正
が自動的に迅速に行なわれるので、質量軸信号のドリフ
トがほとんどなくなり、データ処理装置７からの出力デ
ータの分析精度、データの信頼性、再現性が著るしく向
上される。
第３図は本発明の他の実施例てあり、第２図の構成をす
べて備えている。
べて備えている。
共通の符号は共通の要素を示すが図では一部省略されて
いる。第３図において５１は直接試料導入用バルブ、６
１は直接試料導入装置であり、バルブ制御ソフトウェア
７２によりバルブ制御信号部を経由してバルブ自動制御
装置４に信号が与えられ、これによつて各バルブ３，５
，５１が制御される。
いる。第３図において５１は直接試料導入用バルブ、６
１は直接試料導入装置であり、バルブ制御ソフトウェア
７２によりバルブ制御信号部を経由してバルブ自動制御
装置４に信号が与えられ、これによつて各バルブ３，５
，５１が制御される。
さらに第３図においてはバルブ制御信号部７４からバル
ブ自動制御装置４へのバルブ開閉指令信号伝達系４１の
ほかにこのバルブ自動制御装置４からバルブ制御信号部
７４へのバルブ状態読取信号伝達系４２が設けられてお
り、試料導入操作をきわめて簡便に行なうことができる
。すなわち従来の装置においては、Ｈｉバルブ５から標
準試料等の導入を行ないたい場合でも別の試料導入装置
１または６１から分析対象試料が分析装置に送られてい
るときはＨｉバルブ５が閉となつており、加熱試料導入
装置からの試料導入は行なうことができなかつた。
ブ自動制御装置４へのバルブ開閉指令信号伝達系４１の
ほかにこのバルブ自動制御装置４からバルブ制御信号部
７４へのバルブ状態読取信号伝達系４２が設けられてお
り、試料導入操作をきわめて簡便に行なうことができる
。すなわち従来の装置においては、Ｈｉバルブ５から標
準試料等の導入を行ないたい場合でも別の試料導入装置
１または６１から分析対象試料が分析装置に送られてい
るときはＨｉバルブ５が閉となつており、加熱試料導入
装置からの試料導入は行なうことができなかつた。
第３図の装置においてはたとえば第１図のバルブ制御ソ
フトウェアの判断論理（第２図）によりバルブ制御信号
部７４からＨｊバルブ５を開とする指令が発信されると
、自動バルブ制御部４がスライドバルブ３を開→閉にす
る制御を行ない、その後Ｈｉバルブ５を閉→開にする制
御が行なわれる。
フトウェアの判断論理（第２図）によりバルブ制御信号
部７４からＨｊバルブ５を開とする指令が発信されると
、自動バルブ制御部４がスライドバルブ３を開→閉にす
る制御を行ない、その後Ｈｉバルブ５を閉→開にする制
御が行なわれる。
自動バルブ制御装置４は各バルブの状態読取信号をデー
タ処理装置７に送り、このデータ処理装置７は分析準備
完了を判断して、分析スタートの信号をＧＣＭＳ制御装
置９１に送る。
タ処理装置７に送り、このデータ処理装置７は分析準備
完了を判断して、分析スタートの信号をＧＣＭＳ制御装
置９１に送る。
加熱試料導入装置６等から導入された試料（通常標準試
料）はイオン源８でイオン化され分析管９を通つた後検
出器１１で検出されビジグラフ１２に測定結果が記録さ
れるとともに上記のごとき較正が行なわれる。
料）はイオン源８でイオン化され分析管９を通つた後検
出器１１で検出されビジグラフ１２に測定結果が記録さ
れるとともに上記のごとき較正が行なわれる。
（なおこの図においてはデータ処理装置へ質量軸信号を
取り込む第１図のごとき結線は省略した）加熱試料導入
装置を用いた分析が終了すると、Ｈｉバルブ５を開→閉
、スライドバルブ３を閉→開にする制御がデータ処理装
置７の指令に基づいて行なわれ、バルブがもとの分析時
の状態に復帰して分析が続行される。
取り込む第１図のごとき結線は省略した）加熱試料導入
装置を用いた分析が終了すると、Ｈｉバルブ５を開→閉
、スライドバルブ３を閉→開にする制御がデータ処理装
置７の指令に基づいて行なわれ、バルブがもとの分析時
の状態に復帰して分析が続行される。
以上のようにこの発明においては、クロマトグラフ質量
分析装置においてクロマトグラフからの分離成分のピー
クの出現の合間をぬつて所定のプログラムにしたがつて
較正を迅速に行ない得るので分析結果の信頼性が上昇し
、特に微量分析には効果を発揮することができるのであ
る。
分析装置においてクロマトグラフからの分離成分のピー
クの出現の合間をぬつて所定のプログラムにしたがつて
較正を迅速に行ない得るので分析結果の信頼性が上昇し
、特に微量分析には効果を発揮することができるのであ
る。
なお、本願においてはスライドバルブの開閉を利用して
いるが、スライドバルブはその機能上短時間で開閉が可
能であり、本願のようにデータ処理装置のソフトを利用
するものにあつては特に有用である。
いるが、スライドバルブはその機能上短時間で開閉が可
能であり、本願のようにデータ処理装置のソフトを利用
するものにあつては特に有用である。
第１図、第３図はそれぞれ本発明の１実施例装置概略図
、第２図は本発明装置に用いられるプロノグラムの１例
を示す図である。 １・・・・・・ガスクロマトグラフ、２・・・・・・セ
パレータ、３・・・・・・スライドバルブ、４・・・・
・・自動バルブ制御装置、５・・・・・・加熱試料導入
用バルブ、６・・・・・・加熱試料導入装置、７・・・
・・・データ処理装置、８・・・７イオン源、９・・・
・・・分析管、１０・・・・・・磁石装置、１１・・・
・・イオン検出器、１２・・・・・・表示記録装置、７
１・・・・・・ＡＤ変換器、７２・・・・・・バルブ制
御ソフトウェア部、７３・・・・・・質量軸自動較正ソ
フトウェア部、７４・・・・・・バルブ制御信号部。
、第２図は本発明装置に用いられるプロノグラムの１例
を示す図である。 １・・・・・・ガスクロマトグラフ、２・・・・・・セ
パレータ、３・・・・・・スライドバルブ、４・・・・
・・自動バルブ制御装置、５・・・・・・加熱試料導入
用バルブ、６・・・・・・加熱試料導入装置、７・・・
・・・データ処理装置、８・・・７イオン源、９・・・
・・・分析管、１０・・・・・・磁石装置、１１・・・
・・イオン検出器、１２・・・・・・表示記録装置、７
１・・・・・・ＡＤ変換器、７２・・・・・・バルブ制
御ソフトウェア部、７３・・・・・・質量軸自動較正ソ
フトウェア部、７４・・・・・・バルブ制御信号部。
Claims (1)
- １ クロマトグラフと質量分析装置との間の流路に設け
られたクロマトグラフからの流出成分を導入するための
第一のスライドバルブと、クロマトグラフを経由せず前
記流路に直接標準試料を導入するための側路と、この側
路に設けられた第二のスライドバルブとをそなえたもの
において、前記第一、第二のスライドバルブを所定のプ
ログラムに従つて周期的に開閉制御するバルブ制御装置
と、このバルブ制御装置を介して第一、第二のバルブを
交互に開閉するデータ処理装置を有するとともに、この
データ処理装置は、第二のバルブが開のとき導入された
標準試料の所定のスペクトルピークのイオン強度信号に
関連する質量軸信号から換算した質量数と標準試料の質
量数とを比較し、その偏差値に応じた質量軸信号の較正
用の換算式を算出し、以後この換算式のもとに試料の質
量軸信号を演算するようにしたことを特徴とするクロマ
トグラフ質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52158475A JPS6050301B2 (ja) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | クロマトグラフ質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52158475A JPS6050301B2 (ja) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | クロマトグラフ質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5492388A JPS5492388A (en) | 1979-07-21 |
| JPS6050301B2 true JPS6050301B2 (ja) | 1985-11-07 |
Family
ID=15672544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52158475A Expired JPS6050301B2 (ja) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | クロマトグラフ質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6050301B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190898A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 四重極型質量分析装置および四重極型質量分析装置の質量校正方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8720586D0 (en) * | 1987-09-02 | 1987-10-07 | Vg Instr Group | Apparatus & method |
| US4866270A (en) * | 1987-09-02 | 1989-09-12 | Vg Instruments Group Limited | Method and apparatus for the determination of isotopic composition |
| JPH01117262A (ja) * | 1987-10-29 | 1989-05-10 | Yokogawa Electric Corp | 高周波誘導結合プラズマ分析計 |
| JP2008282749A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Ihi Corp | イオン注入装置用の質量分析システムとその校正方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5228597B2 (ja) * | 1972-06-19 | 1977-07-27 |
-
1977
- 1977-12-29 JP JP52158475A patent/JPS6050301B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190898A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 四重極型質量分析装置および四重極型質量分析装置の質量校正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5492388A (en) | 1979-07-21 |
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