JPS6051659B2 - 電子スピン共鳴装置 - Google Patents
電子スピン共鳴装置Info
- Publication number
- JPS6051659B2 JPS6051659B2 JP11428781A JP11428781A JPS6051659B2 JP S6051659 B2 JPS6051659 B2 JP S6051659B2 JP 11428781 A JP11428781 A JP 11428781A JP 11428781 A JP11428781 A JP 11428781A JP S6051659 B2 JPS6051659 B2 JP S6051659B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron spin
- spin resonance
- cavity resonator
- substrate
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/20—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
- G01R33/28—Details of apparatus provided for in groups G01R33/44 - G01R33/64
- G01R33/32—Excitation or detection systems, e.g. using radio frequency signals
- G01R33/34—Constructional details, e.g. resonators, specially adapted to MR
- G01R33/345—Constructional details, e.g. resonators, specially adapted to MR of waveguide type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子スピン共鳴装置（ＥＳＲ装置）に関し、
特に大きな板状の試料を破壊することなく測定てきるＥ
ＳＲ装置に関するものである。
特に大きな板状の試料を破壊することなく測定てきるＥ
ＳＲ装置に関するものである。
近時磁気バブルメモリが実用段階に入り、コンピュー
タ用あるいは電子交換機用のメモリとして幅広く利用さ
れるものと期待されている。現在バブル材料として用い
られる磁性ガーネットであり、非磁性ガーネット基板の
上にエピタキシャル法で薄膜として成長させている。こ
の様なバブル材料の特性を測定して評価を下す手段とし
てＥＳＲ装置を用いることが提案されている。具体的に
は第１図に示すように静磁場痰に置かれた空胴共振器１
内に基板２を配置し、基板面がＨｏの方向となす角度を
００、９００に変えるかあるいは００から９００の間て
何段階かに変えてＥＳＲスペクトルを測定し、スペクト
ルの変化から材料の特性パラメータを求めている。とこ
ろがこの様な従来の方法では空胴共振器１内に挿入する
試料の大きさに限界があるため、製造段階で数インチ径
の基板に作成したメモリから数−角程度のチップを切出
して測定しなければならず、手間がかかると同時に基板
全面について測定することは困難であつた。 本発明は
上述した点に鑑みてなされたものであり、円筒型空胴共
振器の周面に外部と連通する小穴を開け、該小穴に外部
から基板を当てることにより基板を破壊することなしに
ＥＳＲ測定を行い得るようにしたことを特徴としている
。
タ用あるいは電子交換機用のメモリとして幅広く利用さ
れるものと期待されている。現在バブル材料として用い
られる磁性ガーネットであり、非磁性ガーネット基板の
上にエピタキシャル法で薄膜として成長させている。こ
の様なバブル材料の特性を測定して評価を下す手段とし
てＥＳＲ装置を用いることが提案されている。具体的に
は第１図に示すように静磁場痰に置かれた空胴共振器１
内に基板２を配置し、基板面がＨｏの方向となす角度を
００、９００に変えるかあるいは００から９００の間て
何段階かに変えてＥＳＲスペクトルを測定し、スペクト
ルの変化から材料の特性パラメータを求めている。とこ
ろがこの様な従来の方法では空胴共振器１内に挿入する
試料の大きさに限界があるため、製造段階で数インチ径
の基板に作成したメモリから数−角程度のチップを切出
して測定しなければならず、手間がかかると同時に基板
全面について測定することは困難であつた。 本発明は
上述した点に鑑みてなされたものであり、円筒型空胴共
振器の周面に外部と連通する小穴を開け、該小穴に外部
から基板を当てることにより基板を破壊することなしに
ＥＳＲ測定を行い得るようにしたことを特徴としている
。
以下図面を用いて本発明を詳説する。 第２図は本発明
の一実施例の構成を示す断面図であり、図において１１
は円筒型（ＴＥｏ、、モード）空胴共振器である。
の一実施例の構成を示す断面図であり、図において１１
は円筒型（ＴＥｏ、、モード）空胴共振器である。
該空胴共振器１１の周側面には例えば３−角程度の小穴
１２が開けられており、この小穴の部分に近接するよう
に被検試料である基板１３が共振器１１の外部に配置さ
れている。 斯かる構成において円筒型空胴共振器１１
内には高周波磁界が破線で示す様に放射状に回転対称形
で分布しており、小穴の部分では外部に漏洩している。
１２が開けられており、この小穴の部分に近接するよう
に被検試料である基板１３が共振器１１の外部に配置さ
れている。 斯かる構成において円筒型空胴共振器１１
内には高周波磁界が破線で示す様に放射状に回転対称形
で分布しており、小穴の部分では外部に漏洩している。
そしてその漏洩部分に当る様に基板１３が配置されてい
るため、該基板１３に対して垂直な静磁場Ｈ。を印加し
てＥＳＲ測定を行えば、ＨＯに対して９０。の角度での
ＥＳＲスペクトルを得ることができる。基板１３の位置
をずらして基板１３の小穴に面する場所を種々に変えて
測定を繰返せば基板全面について測定することができる
。又もう一つの小穴１４を小穴１２に対して９０。ずれ
た位置に開ければ、その小穴を利用して式に対して００
のＥＳＲスペクトルを測定することができる。尚上述の
様にＨ。
るため、該基板１３に対して垂直な静磁場Ｈ。を印加し
てＥＳＲ測定を行えば、ＨＯに対して９０。の角度での
ＥＳＲスペクトルを得ることができる。基板１３の位置
をずらして基板１３の小穴に面する場所を種々に変えて
測定を繰返せば基板全面について測定することができる
。又もう一つの小穴１４を小穴１２に対して９０。ずれ
た位置に開ければ、その小穴を利用して式に対して００
のＥＳＲスペクトルを測定することができる。尚上述の
様にＨ。
に対して００と９００の２種のスペクトルを測定するだ
けではなく、その間の角度についても測定する場合には
第３図に示す様に円筒型空胴共振器１１の外周中央部を
リング状に分割して矢印方向に摺動可能となし、そのリ
ング部１５に小穴１２を開ければ良い。この様にすれば
リング部分を回転することにより基板と桃がなす角度を
任意に設定して測定することができる。この際本発明で
は円筒型空胴共振器を用いているため前述の様に高周波
磁界が回転対称に分布しており、小穴の位置をずらして
も磁界強度に変化はない。従つて角度を変えても同一条
件で測定を行うことができるという大きな効果が得られ
るし、第２図の実施例においても小穴を開ける位置に神
経を払う必要がないという効果が得られる。以上詳述し
た如く本発明によれば大きな試料を破壊せずにＥＳＲ測
定を行うことのできる装置が実現される。
けではなく、その間の角度についても測定する場合には
第３図に示す様に円筒型空胴共振器１１の外周中央部を
リング状に分割して矢印方向に摺動可能となし、そのリ
ング部１５に小穴１２を開ければ良い。この様にすれば
リング部分を回転することにより基板と桃がなす角度を
任意に設定して測定することができる。この際本発明で
は円筒型空胴共振器を用いているため前述の様に高周波
磁界が回転対称に分布しており、小穴の位置をずらして
も磁界強度に変化はない。従つて角度を変えても同一条
件で測定を行うことができるという大きな効果が得られ
るし、第２図の実施例においても小穴を開ける位置に神
経を払う必要がないという効果が得られる。以上詳述し
た如く本発明によれば大きな試料を破壊せずにＥＳＲ測
定を行うことのできる装置が実現される。
第１図は従来例を説明するための図、第２図及び第３図
は夫々本発明の一実施例の構成を示す断面図である。 １３：基板、１１：円筒型空胴共振器、１２，１４：小
穴、１５：リング状部分。
は夫々本発明の一実施例の構成を示す断面図である。 １３：基板、１１：円筒型空胴共振器、１２，１４：小
穴、１５：リング状部分。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 静磁場Ｈ＿０中に円筒型空胴共振器を配置し、該空
胴共振器の外周部に内部のマイクロ波を外部へ漏洩させ
るための穴を設け、該共振器外部から試料を上記穴へ接
近させて配置し測定を行うようにした電子スピン共鳴装
置。 ２ 前記穴を９０゜の角度をおいて２つ設けてなる特許
請求の範囲第１項記載の電子スピン共鳴装置。 ３ 前記空胴共振器の穴を設けた部分を周方向に回転可
能に設けることにより穴の位置を移動可能とした特許請
求の範囲第１項記載の電子スピン共鳴装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11428781A JPS6051659B2 (ja) | 1981-07-21 | 1981-07-21 | 電子スピン共鳴装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11428781A JPS6051659B2 (ja) | 1981-07-21 | 1981-07-21 | 電子スピン共鳴装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5824843A JPS5824843A (ja) | 1983-02-14 |
| JPS6051659B2 true JPS6051659B2 (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=14634063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11428781A Expired JPS6051659B2 (ja) | 1981-07-21 | 1981-07-21 | 電子スピン共鳴装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6051659B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418457U (ja) * | 1987-07-22 | 1989-01-30 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63231251A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-27 | Hitachi Ltd | 電子スピン共鳴装置 |
-
1981
- 1981-07-21 JP JP11428781A patent/JPS6051659B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418457U (ja) * | 1987-07-22 | 1989-01-30 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5824843A (ja) | 1983-02-14 |
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