JPS6053157U - イオンポンプ電源装置 - Google Patents

イオンポンプ電源装置

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JPS6053157U
JPS6053157U JP14534483U JP14534483U JPS6053157U JP S6053157 U JPS6053157 U JP S6053157U JP 14534483 U JP14534483 U JP 14534483U JP 14534483 U JP14534483 U JP 14534483U JP S6053157 U JPS6053157 U JP S6053157U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion pump
power supply
pump power
high voltage
power output
Prior art date
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Pending
Application number
JP14534483U
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English (en)
Inventor
喬 伊藤
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す回路図、第２図は第１
図の動作説明図である。 Ａ・・・イオンポンプ、Ｂ・・・イオンポンプ、ＡＣ・
・・商用電源、ＨＶ・・・直流高電圧発生部、ＢＡ・・
・バッファアンプ、Ｅｓ・・・基準電源、Ｒ，ｒ・・・
抵抗、ＣＯＭＰ・・・コンパレータ、ＴＭ・・・タイマ
ー、Ｇ１・・・オアゲート、Ｇ２・・・ナントゲート、
ＭＭ・・・モノマルチ回路、ＲＹ・・・リレー、ｒ１□
・・・常開接点、ｒｌ、、ｒｌ３・・・常閉接点、ＳＷ
・・・スイッチ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオンポンプを駆動するための高圧電源出力を供給する
    イオンポンプ電源装置において、高圧電源出力の変化状
    況の良否を判定する手段と、該判定手段の判定結果に従
    って高圧電源出力の供給を制御する手段とを設けたこと
    を特徴とするイオンポンプ電源装置。
JP14534483U 1983-09-20 1983-09-20 イオンポンプ電源装置 Pending JPS6053157U (ja)

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JPS6053157U true JPS6053157U (ja) 1985-04-15

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5638930A (en) * 1979-09-05 1981-04-14 Hitachi Ltd Power supply for driving ion pump
JPS57210556A (en) * 1981-06-22 1982-12-24 Tohoku Metal Ind Ltd Power supply for ion pump
JPS58119147A (ja) * 1982-01-11 1983-07-15 Ulvac Corp イオンポンプの自動起動回路装置
JPS5927439A (ja) * 1982-08-09 1984-02-13 Hitachi Ltd イオンポンプ電源

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5638930A (en) * 1979-09-05 1981-04-14 Hitachi Ltd Power supply for driving ion pump
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