JPS6053308B2

JPS6053308B2 - 両面用フォトマスクの作成方法

Info

Publication number: JPS6053308B2
Application number: JP53105981A
Authority: JP
Inventors: 繁雄中村; 勲小島
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1978-08-30
Filing date: 1978-08-30
Publication date: 1985-11-25
Also published as: JPS5533123A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、プリント板の両面に、フォトエッチングで配
線パターンを形成するための、表裏一対のワーキングマ
スクを作成する方法に関し、表面用ワーキングマスクと
裏面用ワーキングマスクを同じ条件で作成し、同じ精度
のものを得ることを目的とする。

第１図は両面プリント板の製造方法を工程順に示す断面
図である。まずイ図のように、ガラス布−エポキシ樹脂
等の絶縁基板１の表裏両面に銅箔２、２’が全面に貼り
つけられた材料を用意する。次に口図のように、銅箔２
、２’にフオツトレジスト３、３’を塗布して乾燥し、
その上にパターン形成用のフオツトマスク４、４’を重
ねて、露光する。そして、マスク４、４’を除去した後
溶剤に入れると、ポジ型の場合、口の工程で光が当たつ
た部分だけレジストが溶けて、感光しない部分は残り、
ハ図のようになる。これを腐食液に入れて、銅箔をエッ
チングすると、一因のように銅箔の必要部分だけが残り
、続いて残つたフォトレジスト３、３’を除去すると、
ホ図の状態となる。最後にへ図のように、スルホールの
ランド部分に孔をあけて、スルーホールメッキ５を施し
て、両面の配線パターン２、２’を接続すると、両面プ
リント板が完成する。多層プリント板の場合は、ホ図の
ようにパターン化された材料を数枚用意し、間に絶縁材
のプリプレグを挾んで一体に圧着した後、孔あけ、スル
ーホーメツキ処理を行う。このように配線パターンを２
層以上有するプリント板においては、各層の導体パター
ンの相対位置を正確に合わせないと、スルーホーメツキ
がランドの中心に形成されずに、ずれたり、あるいは電
気的特性が設計どおり得られない等の弊害が生じてくる
。

このような弊害を未然に防止するには、表裏両面のフォ
トマスク即ちワーキングマスクを相互に正確に位置合わ
せすることが必要である。また、表面用マスクと裏面用
マスクが同様に形成され同じ精度に出来上がつていて、
プリント板の表面側パターンと裏面側パターンが均等に
仕上がるようなものが必要である。前者のマスク合わせ
は、通常第２図のようにして行われる。

即ち、プリント板材およびマスク４，４″に基準孔を複
数個あけて、これらの基準ピン６，６″を挿通する。こ
のとき、表面側マスク４のマスクパターンＡ２は破線で
示され、裏面側マスク４″のマスクパターンＢ１は実線
で示されているように、各マスク４，Ｃのマスクパター
ン印刷面を銅箔２，２″側に位置させ、露光時に光が回
り込まないようにすることが不可欠である。第３図のイ
は表面側マスク牡口は裏面側マスク４″であり、夫々マ
スクパターンの印刷面側から見た図である。このマスク
でパターニングするには、第２図のようにプリント板材
料を挾んで夫々のパターン印刷面同士が向き合うように
装着するが、このとき、両マスクのＸ−Ｙ方向が正確に
一致することが必要である。ところで従来は、表面用マ
スク４ど裏面用マスク４″の製作条件が異なるので、両
方のマスクパターンが均等に仕上がらず、このためにプ
リント板の表面側と裏面側とでは配線パターンの仕上り
も異なつてきた。

第４図は従来のワーキングマスクの製造方法を示す図で
、イ図の列が裏面用マスクの製作工程、口図の列が表面
用マスクの製作工程である。７は、第７図のような自動
製図装置の吸着図板であり、制御装置８からの指令によ
つて、Ｘ−Ｙ方向へ送られ、その上にセットされた−フ
ォトフィルムにフォトヘッド９で自動作図される。

１０はＸ軸駆動モータ、１１はＹ軸駆動モータである。

図板７の隣接する２辺には位置決めピン１２ａ，１２ｂ
，１２ｃと１３ａ，１３ｂ，１３ｃが植設されており、
これらのうち例えばピン１２ａと１３ａが嵌入する位置
に位置決め孔１２″と１３″を有する表面用作図フィル
ム４１と裏面用作図フィルム４「を用意し、夫々の位置
決め孔１２５にピン１２ａが、位置決め孔１３′にピン
１３ａが夫々嵌入するように、作図フィルムを図板７に
セットする。まず、裏面用ワーキングマスク４″を作成
する場合は、前記のように裏面用作図フィルムー４Ｖを
図板７にセットして、自動製図装置でパターンデータに
基づいて裏面用パターンＢＯを作図し、これを原画とす
る。

次にこの原画を別の感光性フィルム４″に焼付けてワー
キングマスク４″を得るが、このとき原画を逆さにして
裏から照光するこ”とにより、パターンＢ１のように反
転させる。即ち、原画を１回焼付け反転することにより
、裏面用ワーキングマスク４″とする。表面用ワーキン
グマスク４を得るには、前記のように表面用作図フィル
ム４１を図板７にセットして、自動製図装置で表面用パ
ターンんを作図し、これを表面用原画とする。

このとき、パターンんは、でき上がつたプリント板を裏
から透視で見た状態に作図する。次にこの原画を別の感
光性フィルム４２に、裏面用の場合と同様に１回焼付け
反転して、反転パターンＡ１を得る。ただしこのパター
ンをそのままワーキングマスクとすることはできないの
で、このパターンＡ１を別のフィルム４にもう一度焼付
け反転し、パターンＡ２を得て、これをプリント板ワー
キングマスクとする。したがつて、この表面用ワーキン
グマスク４を、第２図のように逆さにしてマスクパター
ン〜側をプリント板に重ね、裏面用ワーキングマスク４
″は、そのまマスクパターンＢ１側をプリント板の裏面
に重ねて、露光すれば、でき上がつたプリント板は、そ
の表面側パターンのスルーホールランドと、裏面側パタ
ーンのスルーホールランドとが丁度向き合うことになる
。

ところで、前記のように裏面側のマスクパターン八は原
画を１回焼付け反転して得られたものであるが、表面側
マスクパターンＡ２は、焼付け反転を２回行つたもので
ある。ところが、焼付け反転の作業は、フィルムを現像
液に浸漬したり熱風乾燥する工程が必要であり、このと
きフィルムの伸縮を伴う。また、反転作業時に空気中の
細かい塵埃がフィルム間に侵入付着して、いわゆる黒点
やピンホールが発生するおそれがある。このため焼付け
反転を２回行うということは、このような悪条件を２回
受けることになるので、１回反転に比べて当然精度が落
ち欠陥も発生しやすい。したがつて、でき上がつたプリ
ント板も、表面の配線パターンと裏面の配線パターンと
では、精度等のパターンの仕上りが相違し、均一な品質
が得られないことになる。本発明はこのような問題を解
消し、表裏の配線パターン間においても均一な品質が得
られるワーキングマスクを提供するものである。

このために本発明によれば、原画の作図工程を改良する
ことにより、表面側マスクも裏面側マスクも、共に１回
の焼付け反転で得られるような方法を採つている。第５
図は本発明の第一実施例を工程順に示す図であり、イ図
が裏面用マスクを得る工程、口図は表面用マスクを得る
工程である。

裏面用ワーキングマスクの作成法は従来と同じであり、
図板７に原画用フィルム４「をセットして、自動製図装
置で裏面用パターンＢ。を作図し、この原画を１回焼付
け反転して、ワーキングマスク４″を得る。表面用ワー
キングマスクを得るには、まず第一に、原画用フィルム
を載せる図板７を、イ図に示す通常の状態から９０度回
転して、口図の７″の状態とすることにより、基準ピン
１２ａ，１３ａを右下に位置させる。この状態において
、基準ピン１３ａ，１２ａで原画用フィルム４１ａを位
置決めしセットする。次に、第７図の制御装置８におい
て、Ｙ方向のデータのみその値を＋一逆極性に入れ換え
た状態で、自動作図させることにより、原画パターンＡ
。″を得る。つまり従来は第４図口の原画パターンＡ。
のように、Ｙ方向のデータが十向きに格納されているの
に対し、本発明は、そのパターン情報はそのままにして
Ｙ方向データの向きだけを逆にしてやることにより、従
来の原画パターンＡ。を１回１８ＣＳ．反転させたパタ
ーンＡ１と同じパターンを、原画パターンＡＪとして得
ることになる。したがつて本発明の原画４１ａを１回焼
付け反転するだけで、Ａ１″のように従来のワーキング
マスク４と同じパターンのマスク４ａが得られる。結局
、裏面用ワーキングマスク４″も表面用ワーキングマス
ク４ａも共に、原画を１回焼付け反転するだけで得られ
るので、両マスクとも全く同じ工程を経ることになり、
表面側と裏面側が同じ品質のワーキングマスクを得るこ
とができる。第６図は他の実施例であり、イ図が裏面用
マスクを得る工程、口図が表面用マスクを得る工程であ
る。

この実施例においても、裏面用ワーキングマスク４″を
得る工程は従来と同じである。表面用ワーキングマスク
を得るには、この実施例においては、図板７は回転させ
ずにそのままにし、裏面用フィルム４「の場合と同じ位
置に原画用フィルム４１ｂをセットする。そして作図に
あたつては、第７図の自動製図機において、ｘ軸駆動モ
ータ１０の入力ケーブルと、Ｙ軸駆動モータ１１の入力
ケーブルを入れ替えて接続する。つまり、ｘ軸駆動モー
タ１０にはＹ方向のデータを入力し、Ｙ軸駆動モータ１
１にＸ方向のデータを入力することになる。すると、こ
の入力によつて作図された原画パターンＡ。″は、従来
の第４図口の原画パターンＡＯを、位置決め孔１２″−
１３″方向の対角線を軸にして紙面を１８０度反転させ
た状態のパターンとなる。この原画パターン八′を、面
内において矢印方向へ９０度回転させると、第５図の実
施例における原画パターンＡ。″と全く同じになる。し
たがつてこの原画パターンＡ。Ｉを１回焼付け反転する
と、第４図口の表面用マスク４および第５図の表面用マ
スク４ａと同じパターン＾ｉを有する表面用マスク４ｂ
が得られる。そしてこの場合も、原画を１回焼付け反転
するだけで済む。以上のように本発明によれば、従来焼
付け反転を２回要していた方法に比べ、原画作図工程に
おいて、従来の１回反転終了後のパターンと同じパ”タ
ーンを原画として描くことができるので、ワーキングマ
スクを表面用も裏面用も共にただ１回の焼付け反転で作
成することができる。

このため、表面用ワーキングマスクも裏面用ワーキング
マスクも全く同じ条件で作成され、このマスクを利用し
て露光・フォトエッチングしたプリント板は、表面の配
線パターンも裏面の配線パターンも均一の仕上りとなり
、設計どおりの品質、特性が得られる。表面用マスクも
、焼付け反転が１回で済むため、黒点やピンホール等の
欠陥が回避できるほ・か、繁雑な作業工程が半減するこ
とになり、作業性も大幅に改善される。本発明のワーキ
ングマスクで作成された両面プリント板を、プリプレグ
を挾んで２枚以上積層すれば、多層プリント板が得られ
る。

なお、以上の説明で、プリント板の上面側を表面、下面
側を裏面として述べてきたが、いずれの面を表面・裏面
と定義するかは全く自由である。

【図面の簡単な説明】

第１図は両面プリント板の製造方法を工程順に示す断面
図、第２図は両面プリント板製造時のマスク合わせ方法
を示す斜視図、第３図イは表面側ワーキングマスクを、
口は裏面側ワーキングマスクを、夫々マスクパターン側
から見た図である。第４図は、従来の両面プリント板用ワーキングマスクの
製造方法を示す図で、イ図は裏面用マスクの、口図は表
面用マスクの製造工程である。第５図と第６図は夫々本
発明による両面プリント板用ワーキングマスクの製造方
法を示す図で、イ図は裏面用マスクの製造工程、口図は
表面用マスクの製造工程である。第７図は、自動製図装
置の斜視図である。図において、４，４ａ，４ｂは表面
用ワーキングマスク、４″は裏面用ワーキングマスク、
４１は原画、４１ａ，４１ｂは原画、ん″，ＡＯ″は原
画パターン、Ａ１′，Ａｌ２はマスクパターン、７は図
板、１０はｘ軸駆動モータＩｌｌはＹ軸駆動モータ、１
２ａ〜１２ｃ，１３ａ〜１３ｃは位置決めピンである。

Claims

【特許請求の範囲】１プリント板の表裏両面に導体パターンをフォトエッ
チングで形成するための表裏一対のワーキングマスクを
作成する方法において、裏面用のワーキングマスクは、
自動製図装置のマスク装着図板上でマスクパターンが自
動製図された原画を、１回焼付け反転することによつて
作成し、表面用のワーキングマスクは、自動製図装置の
マスク装着図板を面内で９０度回転させると共に、自動
製図装置のＸ・Ｙ両入力データのうち片方のデータの極
性を逆にして自動製図を行い、この原画を１回焼付け反
転することによつて作成することを特徴とする両面用フ
ォトマスクの作成方法。２プリント板の表裏両面の導体パターンをフォトエッ
チングで形成するための表裏一対のワーキングマスクを
作成する方法において、裏面用のワーキングマスクは、
自動製図装置のマスク装着図板上でマスクパターンが自
動製図された原画を、１回焼付け反転することによつて
作成し、表面用のワーキングマスクは、自動製図装置へ
入力するＸ方向データとＹ方向データを入れ換えて入力
することによつて原画を作図し、該原画を１回焼付け反
転することによつて作成することを特徴とする両面用フ
ォトマスクの作成方法。