JPS6054151A - 電子線装置の試料移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子線装置の試料移動装置ｔｓ特に試料ホルダ
ーに載置された試料の移動を正確に行うことがＵＪｒ来
、且つ試料移動機構の熱伸縮に伴う試料のドリフトを抑
えた試料移動装置に関するものである。

電子線装置、例えば電子顕微鏡においては、試料と電子
線軸（以下便宜上光軸という）と直交する方向から挿入
する、いわゆるサイドエントリータイプの試料移動装置
ト使用するものがある。かかるサイドエントリータイプ
の試＝Ｉｌ移動装置の中でも、特に対物レンズの発熱、
外気の温度変化、試料の熱変化装置の付設等に起因する
試料室、対物レンズ、試料移動機構の熱伸縮が試料に大
きなドリフトと与えないように改善した従来例としては
、例えば第１図乃至第５図に示すようなものがある。

これらの図中、符号１は光軸（２軸で表わす）に沿った
電子線紅路３０と形成した電子類＠鏡の鏡筒、符号６は
対物レンズの下側磁極を示し、両部材は電子顕微鏡の基
本ｆＨＩ成をなしている。

符号２は、内腔２０を有し、鏡筒１の壁に回転可能に挿
入された筒状の傾斜体で、その軸心が光軸２と交差する
ように置かれており、また当該傾斜体２の内腔加には回
転中心点Ａを持つ球体部３と先端部に有し、かつ挿入０
２１と有する保持筒４が同心状に、しかも回動可能に挿
入されている。保持筒４の挿入口２１には試別ホルダー
５が同心状に移動可能に挿入されてφる。この試料ホル
ダー５の移動は、当該試料ホルダー５に植設したキー１
３と保持筒４に形成されたキー溝１２との係合によって
規制される。試料ホルダー５の先端（真空側）は対物レ
ンズの上側磁極（図示せず）と下側磁極６との間に挿入
され、また光軸２と交差する部分に試別Ｔが装着されて
いる。保持筒４は、その基端部において、傾斜体２に螺
合された押しネジ８、ボール２２及ヒ軸心Ｘに対して押
しネジ８の反対側において傾斜体２に形成した四部１６
内に装填されたスプリング９から成る移動操作部材によ
って球体部３を中心にして回動せしめられ、試別７と試
料ホルダー５の軸心Ｘ及び光軸２と直交する方向（Ｙ方
向）に水平移動式ぜるようになっている。

また保持筒４はその基端部において、傾斜体２に螺合さ
れた押しネジ和、ボール２３及び軸心Ｘに対して押しネ
ジ１００反対側において傾斜体２に形成きれた四部１７
内に装填されたスプリング１１から成る移動操作部材に
よって、球体部３と中心にして回動せしめられ、試料７
を光軸２にほぼ沿った方向に垂直移動させるようになっ
ている。

また、傾斜体２と回せば球体部３、保持筒４及び試料ホ
ルダー５が回転するため、試料７をＸ　ｒｌｉｌ＋を中
心に傾斜させることができる。

次にＸ方向の移動は、第１図に示すように、試料ホルダ
ー５の先端に近接する位ｌｉｔにおいて該先端と対面し
作用点部分を構成する側面２７を有し、且つこのＩｌ！
１１面ｎを試別ボルダ−５の先端方向に向けて遠近移動
させるテコ体１５と、このテコ体１５の側面Ｉと試料ボ
ルダ−５の先端との、間に介在され、側面２ｒの前記移
動に関連して試料ホルダー５をＸ軸方向に移動させる連
結部材３１とによって行なわれる。上記テコ体１５は、
電子類＠鏡の鏡筒１に穿設式れた孔によって形成された
テコ収容部１４内に股１６されると共に、支点２４によ
って鏡筒１に回転可能に支持されており、支点２４と中
心としてテコ体１５はＸ軸方向に回動するように構成さ
れている。■、！ＩＪち、テコ体１５の鏡筒１外部側に
設けられたＸコントロール用の押しネジ１８とスプリン
グ１９との作用によってテコ体１５の回動が行なわれる
。。

また、テコ体１５の側面２７と試イ′４ボルダ−５の先
端との間に介在する連結部材３１０″ｉ、例えば球体の
略中心を頂点３２とし、：’Ｒ体の外表面の−＊＋＋を
その底面３３となるようにＪ：、Ｊ（体分円錐状に切断
して球面円錐描造を有する転動体から成る。かかる連結
部材３１の底面３３を連結点Ｃにおいてテコ体１５の側
面Ｉに当接させる一方、試料ホルタ。

−５先端の連結点Ｂに頂点３２を当接させた状態で試料
ホルダー５とテコ体１５との間に取付け、テコ体１５が
支点２４を中心に回動した時に底面おがテコ体１５の側
面２７上を転がり連動すること力ζ可能なように調整さ
れている。そして、押Ｌネジ１８を回せば、テコ体１５
は支点２４を中心にして回動し、その側面２７が試料ホ
ルダー５の先端方向に向けて遠近移動するから、連結部
材３１を介して試料ホルダー５をＸ方向に移動させるこ
とができる。なお、鏡筒１と保持筒４との間、及び保持
筒４と試料ホルダー５との間はそれぞれ０−リングｂ、
２６によってシールされている。

ところで、かかる従来の試料移動装置直においては、試
料７をＹ方向に移動せしめる際の試料ホルダー５の首振
り押動？スムーズに行うために、試料ホルダー５とテコ
体１５との間に連結部材３１を介在せしめ、この連結部
材３１がテコ体１５の側面Ｕ上を転がり連動するように
している。

このため、試料７の平面移動操作酸は垂直移動操作に対
して種々の問題が生じる恐れがある。

例えば、試料７をＹ方向に移動させるため、押しネジ８
を操作して第３図に示すような状態に−したとする。こ
の時の試料ホルダー５、テコ体１５、連結部材３１の係
合関係をモデル化し、且つ誇張して示すと第４図のよう
になる。この図に委すように、試料ホルダー５は、Ｙ方
向移動操作に伴い、回転中心点Ａに関してαだけ回転し
、これに伴い連結部材３１はテコ体１５０側面２７上を
転動し、点Ｃから試料ホルダー５の先端の回転中心点Ｂ
へ水平方向の外力Ｆ、を及ぼす。この外力Ｆｌと試料ホ
ルダー５とは、同図に示すごとくαの角度ずれと生し−
Ｃいる。このため、試料７を第３図中右方向へ移動させ
るべく押しネジ１８を前進さぜると、試料ホルダー５の
先端には当該試料ホルダー５の軸心に対してαだけずれ
た方向に力が加わることになる。このため、試料ホルダ
ー５の先端部にはテコ体１５の回動及び連結部材３１の
前進作用によって一定の大きさのモーメントが働き、試
料ホルダー５は回転支持点ＡＴｒ支点にして撓み変形と
起す。そして、この撓み変形？起した後、Ｘ方向（厳密
には試料ホルダー５の軸方向）へ試料７が移動していく
。

次に、試料７を第３図中左方向へ移動させるべく押しネ
ジ１８を後退させると、先の前進作用時に撓んだ試料ホ
ルダー５の先９１１４部の撓みが一旦元に戻り、その後
試料７はテコ体１５の後退方向へ移動する。このため試
料７がＸ−Ｙ平面においてＸ方向へ移動する場合には一
定のヒステリシスが生じることになる。これによって試
料７のＸ移動に対しては押しネジ１８及びテコ体１５の
操作によってＹ移動も生じ、正６ｍな移動をさせること
ができない。

そ１て、このような試料７のＸ方向移動時における、試
料ホルダー５の撓みによるヒステリシスの発生は、例え
ば第３図に示すように試料ホルダー５をＸ軸から時計回
シ方向に角度γだけ回動させた上、更にテコ体１５を角
度βだけ反時計回りに回動させたような場合、更に著し
いものとなる。即ち、このように試料ホルダー５及びテ
コ体１５と共に回動させた場合は、試料ホルダー５と試
料７をＸ方向へ移動させようとする外力Ｆ２とは、第５
図に示すように、θ＝α十β と、更に大きな角度ずれを生じることになる。

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたも
ので、試料の移動全圧１７ｍに行うことの可能な電子線
装置の試料移動装置を提供することを目的とするもので
あろう 本発明は、上記目的を達成するため、電子線経路を形成
した鏡筒に、電子線軸と直交する方向に摺動可能に延び
、且つ電子線軸に直交する平面内で鏡筒に対して回動可
能に取付けられた試料ホルダーと、試料ホルダーの先端
近傍において当該試料ホルダーとは交差する方向に延び
、且つ試料ホルダーを摺動させるテコ体とを取付ける一
方、テコ体と試料ホルダーとの間にはこれらの部材を作
動連結し、且つそれぞれの連結点において互いに回動可
能に係合された連結部材を介装し之試料移動装置におい
て、上記連結部材には、頂点と底面とを有し、且つ頂点
はテコ体の側面部分に当接する一方底面は試料ホルダー
の先端面に転勤可能に係合する転動体と用い、この転勤
係合部分においては、試）１ホルダーの回動方向に、転
動体の底面を湾曲面とし、且つ試料ホルダーの先端面を
湾曲面又は平面として互いに対接させたことｆｔ要旨と
するものである。連結部材と構成する転動体の頂点は、
試料ホルダー〇回動の態様に応じて種々の尖り構造にす
ることが出来る。例えば、試料ホルダーが電子線軸に対
して１μ交する平面内（即ち、水平面内）でのみ回動す
る構造を有する場合は、転動体の頂点は円錐体又はくさ
び形構造のいずれにしてもよい。他方、試料ホルダーが
ＩＬ電子線軸対して直交する平面藺及び電子線軸と同じ
方向に延びる平面内で回動する場合には、転動体の頂点
は円錐体構造に成形される。

また連結部材と試料ホルダーとの転勤係合部についても
、試料ホルダーの回動の態様に応じて種々の構成、を採
ることが出来る。例えば、試料ホルダーが電子線軸に対
して直交する平面内で当該電子線軸に直交する方向に回
動し、試料がＸ°軸を中心に傾纂しないｔｌｆｆ造と有
する場合は、転動体の底面又は試料ホルダーの先端面に
設けた湾曲面は、球体又ｔよ円筒体の外表面の一部を適
用したｔａｌｌ造にすることができる。他方、試料ホル
ダーが電子線軸に対して直交する平面内及び電子線軸と
同じ方向に延びる平面内で回動し、試料がＸ軸を中心に
傾斜する場合には、転動体の底面又は試料ホルダーの先
端面に設けた湾曲面は、球体の外表面の一部を適用した
構造に形成される。これによって、試料ホルダーの回動
に伴って生じるずれは、従来に比較して極めて小さくな
る。更に転勤係合部分において、連結部材及び試料ホル
ダー双方の係合面と共に湾曲面にすれば試料ホルダー〇
回動に伴う角度ずれを零とすることもできる。従って試
料？水平移動させた−ときに押しネジの操作により試料
ホルダーが回動してもテコ体及び連結部材と介して伝え
られる外力は常に一線上にあり、試料ホルダーの先端部
の撓みを防止し、ヒステリシスのない試料移動を行うこ
とができる。

以下、本発明の実施例を添付の図面を参照して詳細に説
明する。

第６図及び第７図は本発明の第１の実施例を示す図であ
る。この実施例において、試料ホルダー５をＸ移動させ
るテコ体１５の先端部分側面２１にはエツジ状に窪んだ
切欠部２８が形成されている。そして、テコ体１５と試
料ホルダー５との間には連結部イ第３１が設置され、こ
れらのテコ体１５及び試料ホルダー５とを作動連結して
いる。

この実施例において、試料ホルダー５は平板状に成形さ
れた先端面５ａを有し、この先端面５ａは試料ホルダー
５の軸心がＸ軸に一致したとき、当該Ｘ軸に対し垂７μ
の方向に延びている。一方、連結部材３１には上記従来
例において示したと同様、円弧状に湾曲した底面３３と
、頂点３２とを有する転動体が使われている。この転動
体は、第６図中符号Ｇで示す円形断面を有する円柱倣或
は円筒体）を、切シ出し、該円柱体の外側面の一部を底
面お、略中心を頂点３２とする扇状板体から成っていて
もよいし、或は球体の中心を頂点３２とし、かり、この
球体の外表面の一部を底面３３とするような球面円錐体
で’Ｉｔ（Ｊ成されていてもよい。また転動体は、湾曲
した底面３３の中心が円Ｇの中心即ち頂点３２に一致し
、この中心点が回転中心Ｃとなるように頂点３２がテコ
体１５の切欠部２８の最凹部に係合すると共に、底面＆
を試料ホルダー５の先端面５ａに点Ｏで当接させて配設
される。即ち、本実施例は、連結部材３１を構成する転
動体の頂点３２がテコ体１５に係合し、底面３３が試料
ホルダー５と係合する点が従来における試料移動装置と
大きく異なっている。

かかる構成を有する試料移動装置において、試料７を水
平移動させるため、試料ホルダー５２回転中心Ａを中心
として所定の角度γだけ回動させたものとする。この回
動により、連結部材３１は、その頂点３２位置に当る回
転中心点Ｃを中心として回動し、試料ホルダー５との接
触点はＯからＸ軸に対して微小圧ｇｆ　ｄだけ変位した
Ｐへと移る。このため、試料ホルダー５はその先端面５
ａの点Ｐにおいて当該先端面５ａに垂直な力Ｆ１を受け
るが、このＦｌは試料ホルダー５の直径の内側（即ち、
第７図中、試料ホルダーの幅寸法内）に入っているため
、試料ホルダ−５先端部に撓み変形を与えることになら
ない。このため、押しネジ１８を操作することによりテ
コ体１５２回動させ、試料７を水平面内で移動させると
きの移動精度は極めて正確に保つことができる。つまり
、−にに述べた！ｔＵ　＜　、試Ａ；・１ボルダ−５と
テコ体１５０間への連結部材３１の取付も１．１７造を
改魯することによって試料移動時における試料ホルダー
５の変形を殆どゼロにすることができるのである。

第８図乃至第１０図は本発明の第２の実ｊ面倒と示す図
である。この実施例において、転動体で構成された連結
部材３１と試料ホルダー５とは、転勤係合部分において
互いに外接する湾曲面を持って対接している。即ち、試
料ボルダ−５の先端面５ｂは、第８図に示すように、そ
の幅方向に湾曲する円柱外側面形状に成形されている。

また連結部材３１には、上記第１の実施例におけると同
様の円柱状の湾曲面を有する転動体が用いられる。そし
て試料ホルダー５の先端湾曲面５ｂと連結部材３１の匠
面３３とは点Ｑ（第８図及び第９図では点０と重なって
いる）において互いに外接している。また、試料ボルダ
−５の先端−湾曲面５ｂは、第９図及び第用図に示され
た点ＡＰ中心とする円Ｈの一部を成すことが好ましい。

また連結部材３１の底ｉＭｉ　３３は、上記第１の実施
例における七同様、回転中心Ｃを中心とする円Ｇの一部
と成している。

かかる構成を有するため、試料・Ｔを水平移動させるた
めに試料ホルダー５．を回転中心点へ？中心として所定
の角度だけ回動させたとすると、試料ホルダー５と連結
部材３１との関係は第１０図に示すようになる。この図
からも明らかになるように、連結部材３１の底面３３の
湾曲方向への長さ範囲内であれば、試料ホルダー５と回
転中心点Ａを中心として水平面内でどのように回動させ
ても、試料ホルダー５と連結Ｓ月３１とは常にＸ軸上の
点Ｑで接し、テコ体１５からの駆動力をＸ＠に沿って試
料ホルダー５へと伝える。試料ホルダー５上の点Ｏと点
Ｑとの間の寸法は、上記点０、点１間の寸法よりも更に
短かく、しかも試ネ・１ボルダ−５の直径の内側にある
点Ｑで回転中心点Ａに向う力Ｆ２を受けるから、試料ホ
ルダー５が撓み変形と起すことはなく更に極めて正確な
試料移動と行なわせることができる。

なお、第１の実施例及び第２の実施例においては、テコ
体１５と連結部材３１との保合部は、連結部材３１０基
端部を楔形に形成する一方、テコ体１５の先端部側面に
楔凹状の切欠部２８を形成することにより両部材１５　
、３１　ｔピボット係合させているがこの僕及び楔凹状
４ＴＩＩＪＭを逆にしても勿論良い。第１１図はこのよ
うなテコ体１５及び転動体で構成した連結部材３１の係
合関係を逆にした例を示す図である。即ち、テコ体１５
の側面にｔま先端部が楔形状に尖った突起部分２９が形
成される一方、連結部材３１の基端部にはテコ体１５の
突起部分に対応する楔凹状の軸受部３４が形成されテコ
体１５及び連結部材３１はピボット連結されている。な
お試料ボルダ−５と連結部材３１との保合部は、上記第
２の実施例における如く共に湾曲した面をＪ’ｂつて係
合するようになっている。

このように、連結部材３１と試料ボルダ−５との係合部
分と共に湾曲面にすると、水平面内における試料移動が
極めて正確にできることが明らかになったが、かかる考
えは、試料７の垂直移動機構と組込んだ場合にも適応す
ることができる。このためには、上記第２の実施例にお
いて湾曲面として円柱面（円筒面でもよい）を採用する
ことができたのに対して、これらのＩＨ湾曲面球面に形
成すれば試料ホタグー５の回転中心点Ａを中心とした水
平方向への回動及び垂直方向への回動についても連結部
材３１を完全に追従させることが出来、試料ホルダー５
と連結部材３１とを常に試料Ｉの傾斜軸であるＸ軸上の
点Ｑにおいて接合させることができる。したがつて、傾
斜体２０回転によって試料ホルダー５を回転し、試料７
を光軸２に対して傾斜させる場合、連結部材３１は静止
状態と保つことができる。

なお、湾曲面として球面を採用したときＶよ、連結部材
３１には」二連の球面円錐体が用いられ、切欠ｒ；＋ｓ
　２Ｆｌけ連結部材３１の頂点３２に対応して円錐凹状
に形成される。また、第１１図に準じて、テコ体１５の
突起部分器を円錐形状に形成する一方、連結部材３１の
基端部には円錐凹状の軸受ｒｒｌｓ　３４を形成しても
よい。

さらにテコ体１５と試料ホルダー５との間に介在される
連結）？１〜利３１は他の構成にすることも可能である
。第１２図はかがる連結部材３１の変形例を示す本発明
の第３の実施例を示す図である。

この実施例においては、テコ体１５のｍ１面Ｉｒはネジ
部３１を有し当該側面から突出した支持ベース３６が形
成される。連結部材３１には、基端部に円錐凹状の軸受
部３８、先端部には球状の当接面３９を有する転動体が
用いられる。そして、この連結部材３１は、第１２図に
示すように、テコ体１５の支持ベース３６に連結部材３
１の軸受部３８がボール４２を介して当接した状態で、
テコ体１５にねじ係合されたカバー４０と、当該カバー
２６内に配設されたバネ４１とによって保持されており
、試料ホルダー５を引き抜いた時に落下しないようにな
っている。また、試料ホルダー５の先端には回転中心点
Ａと中心とする球状に形成された先端湾曲面５ｂが設け
られ、この先端湾曲面５ｂに連結部材３１の当接面３９
が対接した状態で組付けられる。そして、テコ体１５が
回転作動したとき、連結部材３１の先端部では当接＋ｎ
ｉ　３９が試料ボルダ−５の先端湾曲面５ｂ上を転がり
ａｔ転する一方、連結部材３１０基端部ではボール４２
の滑り作用によってテコ体１５の支持ベース３６との間
の回転運動がスムーズに行なわれる。

以上説明したように、本発明によれば、試料ホルタ−の
先端部と、この試料ホルダーに対して直交する方向に延
びるテコ体の側面との間に転動体構造を有する連結部材
２挿入すると共に、この連結部材をテコ体に対してはエ
ツジ係合、試料ホルダーに対しては転勤可能に係合せし
めて試料ホルダーとテコ体とを作動連結するようにした
ため、試料移動装置６と構成する各機朱に対する湿度変
化に力づく熱伸縮による討゛料ドリフトを抑える一方で
、試料の水平移動に対して試料ボルダー先端に加わる曲
げモーメントを零とすることができ、これによって試料
の水平移動を締めて正確に行うことができるようになっ
た。

４　図面（７）　ｎ：ｔ　、’ｉＩＩ　ｎ！ａ明第１図
は従来のｔｌｉ子線装置の試料律動装置Ｆ：２を示す水
平断面１ソ４、第２図は上記従来の試料移動ｉＨＲにお
いて試料ボルダ−？水平移動させるための作動部側り示
す第１図巾ＩＩ−ＩＩ線における断１ｍ図、第３図は上
記従来の試料移動装置における作動状ｆｉｌを示す図、
第４図は第３し１における作動中１．￥ｉｔｌ　Ｉ＋ボ
ルダ−と連結部材とテコ体とが成す位置関係をモデル化
し且つ試料ボルダ−と連結部材間の角度ずれを誇張して
示す概略図、第５図は第４図に示す作動に更にテコ体の
回動が加わった場合における試料ボルダ−と連結部材と
テコ体とが成す位置関係分モデル化し且つ試料ホルダー
と連結部材間の角度ずれを誇張して示す概略図、第６図
は本発明の第１の実施例に係わる電子線装置の試料移動
装置を示す水平断面図、＠７図は上記第１の実施例にお
いて試料を水平移動させる際における試料ホルダー及び
連結部材間の変位状態と示す図、第８図は本発明の第２
の実施例に係る試料移動装置に使用される試料ホルダー
、連結Ｆｌ（！　ｋＡ及びテコ体を示す斜視図、第９図
は」二記第２の実施例に係る試料移動装置の構造と示す
水平断面図、第１０図は上記第２の実施例に係る試料移
動装置の作動状態を拡大して示す水平断面図、第１１図
は上記第２の実施例においてテコ体と連結１ｆ１５利と
の係合部を変形した例を示す水平断面１ソ、第１２１図
は試料移動装置において連結部材をテコ体内に組込んだ
本発明の第３の実施例を示す水平断面図である。

１・・・鏡筒　２・・・傾斜体 ３・・・球体部　４・・・保持筒 ５・・・試料ホルダー　６・・・下ｌｌＩ！Ｉ磁極７・
・・試料　１５・・・テコ体 側・・・電子線経路　３１・・・連結部材３２・・・頂
点　３３・・・底面 特許出願人　株式会社国際精工 代　理　人　弁理士　土　橋　皓 第１１図 第２圓 第６１」 第７図 ５ 第８図 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ）電子線経路を形成した鏡筒に、電子線軸と直交する
   方向に摺動可能に延び、且つ電子線軸に略直交する方向
   に回動可能に取付けられた試料ホルダーと、試料ホルダ
   ーの先端近傍において当該試料ホルダーとは交差する方
   向に延び且つ試料ホルダーを摺動させるテコ体と、テコ
   体と試料ホルダーとの間に介装、され両部材を作動的に
   接続する連結部材とを有する試料移動装置において、上
   記連結部材には、頂点と底面とを有Ｌ１且つ頂点はテコ
   体の側面部分に当接する一方、底面は試料ホルダーの先
   端面に転勤可能に係合する転動体を用い、この転勤係合
   部分においては、試料ホルダーの回動方向に、転動体の
   底面と湾曲面とする一方、試料ホルダーの先端面を平面
   又は湾曲面とし、互いに対接させたことを特徴とする電
   子線装置の試料移動装置。 ２）連結部材を試料ホルダーとの保合部分において、試
   料ホルダーの先端は当該試料ホルダーの回動方向に平面
   状に形成される一方、連結部材の先端は試料ホルダーの
   先端に外接する湾曲面に成形されていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の電子線装置の試料移動装
   置。 ３）連結部材と試料ホルダーとは、係合部分において、
   互いに外接する湾曲面をもって対接すること分特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の電子線装置の試料移動装
   置。 ４）連結部材または試料ホルダーに形成された湾曲面は
   試料ホルダーの回動方向に湾曲する断面略円形形状分有
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３項
   のいずれかに記載の電子線装置の試料移動装置。 ５）連結部材または試料ホルダーに形成された湾曲面は
   球形状を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項
   乃至第４項のいずれかに記載の電子線装置の試料移動装
   置。 ６）連結部材または試料ホルダーに形成された湾曲面の
   湾曲中心は、当該湾曲面と有する部材の回転中心に一致
   することと特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第５項
   のいずれかに記載の電子線装置の試料移動装置。