JPS6056706A - 移載機構付ステ−シヨン - Google Patents
移載機構付ステ−シヨンInfo
- Publication number
- JPS6056706A JPS6056706A JP16591183A JP16591183A JPS6056706A JP S6056706 A JPS6056706 A JP S6056706A JP 16591183 A JP16591183 A JP 16591183A JP 16591183 A JP16591183 A JP 16591183A JP S6056706 A JPS6056706 A JP S6056706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- station
- shelf
- semiconductor substrate
- loading
- substrate storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
不発明は、半導体基板収納容器乞収答するステーション
に係り、特に移載機構付きステーションに関する。
に係り、特に移載機構付きステーションに関する。
半導体装置の製造は、ウェット処理、ドライ処理、酸化
処理等の種々の処理工８を経て行われる。このため、半
導体基板は、クリーンルーム内で互に隔絶された室間を
行き来することになる。而して、半導体基板は、ロット
編成ごとに半導体基板収納容器に収納されて、人手によ
ツクリーンルーム内の缶処理工程の室間乞運搬されてい
た。しかし、人手による運搬では、防塵衣を着用する煩
しさやクリーンルームの清浄度が低下する問題がろる。
処理等の種々の処理工８を経て行われる。このため、半
導体基板は、クリーンルーム内で互に隔絶された室間を
行き来することになる。而して、半導体基板は、ロット
編成ごとに半導体基板収納容器に収納されて、人手によ
ツクリーンルーム内の缶処理工程の室間乞運搬されてい
た。しかし、人手による運搬では、防塵衣を着用する煩
しさやクリーンルームの清浄度が低下する問題がろる。
そこで、近年では第１図に示す如く、シやへい板１によ
って缶処理工程の室を隔絶したクリーンルーム２ビ使用
し、各室内に半導体基板収納容器ビ収容するステーショ
ン３を設け、ステーション３間に搬送軌道４に沿って移
動する搬送車を設けて半導体基板の搬送を行っている。
って缶処理工程の室を隔絶したクリーンルーム２ビ使用
し、各室内に半導体基板収納容器ビ収容するステーショ
ン３を設け、ステーション３間に搬送軌道４に沿って移
動する搬送車を設けて半導体基板の搬送を行っている。
第２図は、各室内に設けたステーション３である。ステ
ーション３内には、搬送軌道４の一端部が導入している
。搬送軌道４の上音自走する搬送車５には、Ｕ字状の支
持アーム６が取付けられている。支持アーム６の上端部
の対向する内面には、突起状の係合部を設けている。
ーション３内には、搬送軌道４の一端部が導入している
。搬送軌道４の上音自走する搬送車５には、Ｕ字状の支
持アーム６が取付けられている。支持アーム６の上端部
の対向する内面には、突起状の係合部を設けている。
保合部は、半導体基板収納容器７乞収容した箱体８の外
側部に形成されたＵ字状の凹部に嵌合している。箱体８
は、蓋体９で嘔か°れている。
側部に形成されたＵ字状の凹部に嵌合している。箱体８
は、蓋体９で嘔か°れている。
半導体基板収納容器７内には、複数枚の半導体基板１θ
が収納されている。
が収納されている。
而して、各室から不特定に搬入される半導体基板収納容
器７を、作業者が搬送車５から積降しする。次に、他の
ステーションに搬送するものがある場合は、空の搬送車
５に半導体基板収納容器７を積込み搬出する。この作業
を迅速に行わないと、後続の搬送車５が順次ステーショ
ンに到着する場合は、円滑な搬送ができない。
器７を、作業者が搬送車５から積降しする。次に、他の
ステーションに搬送するものがある場合は、空の搬送車
５に半導体基板収納容器７を積込み搬出する。この作業
を迅速に行わないと、後続の搬送車５が順次ステーショ
ンに到着する場合は、円滑な搬送ができない。
その結果、各ステーション３に作業者２當時付かせて積
込み、積降し作業をさせなければならない。このことに
、搬送のある無しに拘らず作業者がステーション位置に
拘束されることを意味し、極めて作業性ン低下させる原
因となって〔発明の目的〕 本発明は、ステーションでの作業者の拘束時間を短くし
て作業性の向上ン達成した移載機構付ステーションを提
供することをその目的とするものである。
込み、積降し作業をさせなければならない。このことに
、搬送のある無しに拘らず作業者がステーション位置に
拘束されることを意味し、極めて作業性ン低下させる原
因となって〔発明の目的〕 本発明は、ステーションでの作業者の拘束時間を短くし
て作業性の向上ン達成した移載機構付ステーションを提
供することをその目的とするものである。
本発明は、搬送車から半導体基板収納容器を自動的に積
降し、積込みする移送機構２設けて、ステーションでの
作業者の拘束時間を短縮し、作業性の向上を達成した移
載機構付ステーションである。
降し、積込みする移送機構２設けて、ステーションでの
作業者の拘束時間を短縮し、作業性の向上を達成した移
載機構付ステーションである。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第３図は、本発明の一実施例の斜視図である。
図中２０は、搬送軌道２１の一端部が導入されたステー
ションである。ステーション２０内には、搬送軌道２ノ
に沿って搬送車２２が出入するようになっている。搬送
車２２には、Ｕ字状め支持アーム２３が取付けられてい
る。支持アーム２３の上端部の対向する内面には、突起
状の保合部を設けている。保合部は、半導体基板収納容
器２４全収容した箱体２５の外側部に形成されたＵ字状
の凹部に嵌合している。箱体２５μ蓋体２６で塞がれて
おシ、半導体基板収納容器２４内には、複数枚の半導体
ウェハ２７が収納されている。ステーション２０の前面
には、箱体２５ン出入するための窓２８が形成されてい
る。ステーション２０の両側部にハ、箱体２５を載置す
るための複数個の棚２９馨取付けた積込吊棚２９ａと積
降用棚２９ｂが設けられている。また、ステーション２
０の前方には、ステーション２０に対向するようにして
、移載機構３０が設けられている。移載機構３０は、上
下動アーム３θａと、左右動アームｓｏｂ及びステーシ
ョン２０に向って前後進する前後動アーム３０ｃが一体
に組合せられて構成されている。
ションである。ステーション２０内には、搬送軌道２ノ
に沿って搬送車２２が出入するようになっている。搬送
車２２には、Ｕ字状め支持アーム２３が取付けられてい
る。支持アーム２３の上端部の対向する内面には、突起
状の保合部を設けている。保合部は、半導体基板収納容
器２４全収容した箱体２５の外側部に形成されたＵ字状
の凹部に嵌合している。箱体２５μ蓋体２６で塞がれて
おシ、半導体基板収納容器２４内には、複数枚の半導体
ウェハ２７が収納されている。ステーション２０の前面
には、箱体２５ン出入するための窓２８が形成されてい
る。ステーション２０の両側部にハ、箱体２５を載置す
るための複数個の棚２９馨取付けた積込吊棚２９ａと積
降用棚２９ｂが設けられている。また、ステーション２
０の前方には、ステーション２０に対向するようにして
、移載機構３０が設けられている。移載機構３０は、上
下動アーム３θａと、左右動アームｓｏｂ及びステーシ
ョン２０に向って前後進する前後動アーム３０ｃが一体
に組合せられて構成されている。
前後動アーム３（７（！には、箱体２５を保持する保持
部が設けられている。
部が設けられている。
このように構成された移動機構付ステーション４０によ
れば、積降作業乞する場合には、搬送車２２がステーシ
ョン２０内の窓２８に対向した位置で停止する。次いで
、移載機構３０の前後動作によって、前後動アーム３０
ｃ上に箱体２５が支持アーム２３から外されて移される
。
れば、積降作業乞する場合には、搬送車２２がステーシ
ョン２０内の窓２８に対向した位置で停止する。次いで
、移載機構３０の前後動作によって、前後動アーム３０
ｃ上に箱体２５が支持アーム２３から外されて移される
。
次いで、積降用棚２９ｂ側に左右動アーム２９ｂが移動
し、上下動アーム３０ａ１前後動アーム３０ｂの移動に
よって所定の棚２９に箱体２５が移されろ。また、積込
作業を行う場合には、前後動アーム３０ｃが積込吊棚２
９ａの所定の棚２９のところまで移動し、棚２９から箱
体２５を引き出す。次いで、上下動アーム３０ａ及び左
右動アーム３０ｂの移動によってステーション３０の窓
２８のところに前後動アーム、９０ ｃン導く。次いで
前後動アーム３θＣの移動によシ、窓２８を通して、ス
テーション２０内の搬送車２２に箱体２５４ｆ移す。
し、上下動アーム３０ａ１前後動アーム３０ｂの移動に
よって所定の棚２９に箱体２５が移されろ。また、積込
作業を行う場合には、前後動アーム３０ｃが積込吊棚２
９ａの所定の棚２９のところまで移動し、棚２９から箱
体２５を引き出す。次いで、上下動アーム３０ａ及び左
右動アーム３０ｂの移動によってステーション３０の窓
２８のところに前後動アーム、９０ ｃン導く。次いで
前後動アーム３θＣの移動によシ、窓２８を通して、ス
テーション２０内の搬送車２２に箱体２５４ｆ移す。
このように移載機構３０の自動操作によって、搬送車２
２から積降用棚２９ｂへの箱体２５の移載、或は積込用
棚２９ａからステーション２０内の搬送車２２への箱体
２５の移載が行われる。
２から積降用棚２９ｂへの箱体２５の移載、或は積込用
棚２９ａからステーション２０内の搬送車２２への箱体
２５の移載が行われる。
その結果、例えば３０分乃至１時間作業者がステーショ
ン２０の近傍に付着くことなく、効率的に箱体２５の自
動移載を行うことができる。
ン２０の近傍に付着くことなく、効率的に箱体２５の自
動移載を行うことができる。
よって、作業性を著しく向上させることができる。
以上説明した如く本発明に係る移載機構付ステーション
によれば、作業者のステーションでの拘束時間を短くし
て、作業性！向上させることができるものである。
によれば、作業者のステーションでの拘束時間を短くし
て、作業性！向上させることができるものである。
第１図は、クリーンルームの構成を示す説明図、第２図
は、従来のステーションの斜視図、第３図は本発明の一
実施例の斜視図である。 ２０・・・ステーション、２１・・・搬送軌道、２２・
・・搬送車、２３・・・支持アーム、２４・・・半導体
基板収納容器、２５・・・箱体、２６・・・蓋体、２７
・・・半導体ウェハ、２８・・・窓、２９・・・棚、２
９ａ・・・積込用棚、２９ｂ・・・積降用棚、３θ・・
・移載機構、３０ＦＬ・・・上下動アーム、３ｏｂ・・
・左右動アーム、３０ｃ・・・前後動アーム、４０・・
・移載機構付ステーショ／。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 〕 第３図
は、従来のステーションの斜視図、第３図は本発明の一
実施例の斜視図である。 ２０・・・ステーション、２１・・・搬送軌道、２２・
・・搬送車、２３・・・支持アーム、２４・・・半導体
基板収納容器、２５・・・箱体、２６・・・蓋体、２７
・・・半導体ウェハ、２８・・・窓、２９・・・棚、２
９ａ・・・積込用棚、２９ｂ・・・積降用棚、３θ・・
・移載機構、３０ＦＬ・・・上下動アーム、３ｏｂ・・
・左右動アーム、３０ｃ・・・前後動アーム、４０・・
・移載機構付ステーショ／。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 〕 第３図
Claims (1)
- 一端部に半導体基板収納容器の出入窓を有しその内部に
該半導体基板収納容器！運搬する搬送車の搬送軌道Ｚ設
けたステーション本体と、該ステーション本体に設けら
れた積込用棚と積降用棚と、該積込用棚及び積降用棚に
設けられた前記半導体基板収納容器を保持する棚と、前
記ステーション本体に対向して設けられ、前記半導体基
板収納容器の保持部ン備えた前後動アーム及び上下動ア
ーム、左右動アームとを一体に組合せて構成された移載
機構とを具備すること乞特徴とする移載機構付ステーシ
ョン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16591183A JPS6056706A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 移載機構付ステ−シヨン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16591183A JPS6056706A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 移載機構付ステ−シヨン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6056706A true JPS6056706A (ja) | 1985-04-02 |
Family
ID=15821347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16591183A Pending JPS6056706A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 移載機構付ステ−シヨン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6056706A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62240226A (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | カセツト移送装置 |
| US5059079A (en) * | 1989-05-16 | 1991-10-22 | Proconics International, Inc. | Particle-free storage for articles |
| US5284412A (en) * | 1990-08-17 | 1994-02-08 | Tokyo Electron Sagami Limited | Stock unit for storing carriers |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP16591183A patent/JPS6056706A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62240226A (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | カセツト移送装置 |
| US5059079A (en) * | 1989-05-16 | 1991-10-22 | Proconics International, Inc. | Particle-free storage for articles |
| US5284412A (en) * | 1990-08-17 | 1994-02-08 | Tokyo Electron Sagami Limited | Stock unit for storing carriers |
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