JPS6057273A - 受光半導体装置の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は受光半導体装置の試験装置に関するものである
。

受光半導体装置の試験の１つとして恒温槽内に設置した
定出力光源の光を光ファイバを介して上記恒温槽とは別
の恒温槽内の被試験受光半導体装置に導き、被試験受光
半導体装置を動作状態で試験する方法がある。

しかし、との方法だと被試験受光半導体装１１“イの数
だけ定出力光源が必要であシ、試験を実ＩＦｌｊｉしよ
うとする受光半導体装置を多くしたければ、それだけ定
出力光源の数を増やさなければならない。

従って、試験装置ｉ″′−が非常に高画になる。

本発明は、従来のこのような欠点を解決することのでき
る安価′ｆＪ：受光半導体装１Ｍ′、の試１験装置を提
供することを目的とする。

本発明によれば恒温槽内に設入した複数の被試験受光半
導体装ｆ（ｉｆの試験において、上記恒温槽とは別の恒
温槽内に設置しである１個の定出力光源からの光を光フ
ァイバを介し、光スィッチに導き、光スィッチからの出
力を、上記光ファイバとは別の光ファイバを介して一定
時間ごとに上記各被試験受光半導体装置に順々に導き、
複数の被試験受光半導体装置の出力を監視することを特
徴とする受光半導体装置の試験装置が得られる。

以下、本発明の詳細を図面で説明する。

第１図は、従来の受光半導体装置の試験装置６の一実施
例を示す図である。

第２図は、本発明による受光半導体装置の試・倹装置の
一実施例を示す図である。

恒温槽１に設置した定出力光源２の光を光ファイバ４を
介して光スィッチ５に導き、光スィッチ５から光ファイ
バ４とは別の光ファイバ４′を介して一定時間ごとに定
出力光源２の光を複数の被試験受光半導体装置３に順々
に導く。そこで各被試験受光半導体装置の出力を監視す
ることにより複数の被試験受光半導体装置の試験を実施
することができる。

すなわち、本発明によれば、１個の定出力光源だけで、
複数の受光半導体装置の試検を実流することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の受光半導体装置の試験装置の一実施例
を示す概念図である。 第２図ｔよ、・本発明による受光半導体装置の試；検装
置の一実施例を示す概念図である。 １．１′・・・・・・恒温槽、２・・・・・・定出力光
源、３・・・・・・被試験受光半導体装１；：【、４，
４．’ｊ３’Ｑファイバ、５・・・・・・光スィッチ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 恒温槽内に設置した複数の被試験受光半導体装置の試験
   において、前記恒温槽とは別の垣温漕内に設置しである
   １個の定出力光源からの光を光ファイバを介し、光スィ
   ッチに導き、光スィッチからの出力を、前記光ファイバ
   とは別の光ファイバを介して一定時間ごとに、前記各被
   試験受光半導体装置に順々に導き、複数の被試験受光半
   導体装置の出力を監視すると左を特徴とする受光半導体
   装置の試験装置。