JPS6057986A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS6057986A JPS6057986A JP16519783A JP16519783A JPS6057986A JP S6057986 A JPS6057986 A JP S6057986A JP 16519783 A JP16519783 A JP 16519783A JP 16519783 A JP16519783 A JP 16519783A JP S6057986 A JPS6057986 A JP S6057986A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blower
- discharge
- discharge tube
- cooling
- tubes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は放電部および冷却路の配置を改良したガスレー
ザ発生装置に関する。
ザ発生装置に関する。
一般に軸流型ガスレーザ装置は、放電管の真下に送風機
たとえば遠心プロア、ルーツブロアを配置している。放
電管の両端部および中央部は、送風機の排気管および供
給管と連通ずる冷却路を設けている。放電管内の電極間
でグロー放電をおこなえば、炭酸ガス、窒素ガス、ヘリ
ウムガス等の混合ガスが励起され、レーザ光を発生する
。レーザ光は放電管両端に設けたミラー間を共振する。
たとえば遠心プロア、ルーツブロアを配置している。放
電管の両端部および中央部は、送風機の排気管および供
給管と連通ずる冷却路を設けている。放電管内の電極間
でグロー放電をおこなえば、炭酸ガス、窒素ガス、ヘリ
ウムガス等の混合ガスが励起され、レーザ光を発生する
。レーザ光は放電管両端に設けたミラー間を共振する。
このため、放電管内はグロー放電およびレーザ光によシ
温度が高くなっている。したがって、送風機を［＠して
、混合ガスを冷却路と放電管との間で循環し、放電管内
の縮度を下げている。
温度が高くなっている。したがって、送風機を［＠して
、混合ガスを冷却路と放電管との間で循環し、放電管内
の縮度を下げている。
このように、上述の従来構成によれば、放電管の真下に
送に機を配置している。このため、送風機は組立時、修
理時、保守・点検時に放電管真下から外部に取出し７１
、或いは外部よ如放電管真下に取付けた９する時に、作
業員の頭が放電管に当り、こごんで作業をするので、作
業がしにくい。
送に機を配置している。このため、送風機は組立時、修
理時、保守・点検時に放電管真下から外部に取出し７１
、或いは外部よ如放電管真下に取付けた９する時に、作
業員の頭が放電管に当り、こごんで作業をするので、作
業がしにくい。
また、放電管真下に送風機を配置しているので、高寸法
が高くなり、左右方向の振動に対して不安定である。
が高くなり、左右方向の振動に対して不安定である。
本発明の目的は、耐震性を良くしてレーザ光出力を向上
したガスレーザ発生装置を提供することにある。
したガスレーザ発生装置を提供することにある。
本発明のガスレーザ発生装置は、放電管長手方向と直交
する方向に送風機を別配置し、送風機と放電管との間を
冷却路で連通ずれば、放電管又は送風機の高寸法だけで
よいから、左右方向の振動に対して安定し、耐震性が良
い。
する方向に送風機を別配置し、送風機と放電管との間を
冷却路で連通ずれば、放電管又は送風機の高寸法だけで
よいから、左右方向の振動に対して安定し、耐震性が良
い。
以下、本発明の実施例を第１図ないし第２図に示すガス
レーザ発生装置１により説明する。
レーザ発生装置１により説明する。
支持ベース２は上面に摺動台３を取付け、摺動台上を摺
動する摺動ローラ４は、上面に放電部本体５を配置して
いる。故′醒部本体５の下端面は、摺動ローラ３と接触
し、熱応力による放電部本体５の長手方向への伸縮を吸
収している。放電部本体内には上部放電管６および下部
放電管７を配置している。両数電管６．７はベローズ８
、絶縁管９、連絡管１０とを一体に取付けているが、絶
縁管９と連絡管１０とは一体化してもよい。出力鏡１１
および反射鏡１２は、両数電管６．７の一端に取付けら
れている。折返鏡１３は両数電管６゜７の他端に取付け
られ、かつ出力＠１１と反射鏡１２とに対応配置してい
る。陰極１３および陽極１４は絶縁管９を介して放電管
内に配置され、両電極間は直流電源１５に接続している
。混合ガス１６は両放電管内の陰極１３から陽極１４に
向って流通し、両数電管６．７と冷却路２０との間を循
環する。
動する摺動ローラ４は、上面に放電部本体５を配置して
いる。故′醒部本体５の下端面は、摺動ローラ３と接触
し、熱応力による放電部本体５の長手方向への伸縮を吸
収している。放電部本体内には上部放電管６および下部
放電管７を配置している。両数電管６．７はベローズ８
、絶縁管９、連絡管１０とを一体に取付けているが、絶
縁管９と連絡管１０とは一体化してもよい。出力鏡１１
および反射鏡１２は、両数電管６．７の一端に取付けら
れている。折返鏡１３は両数電管６゜７の他端に取付け
られ、かつ出力＠１１と反射鏡１２とに対応配置してい
る。陰極１３および陽極１４は絶縁管９を介して放電管
内に配置され、両電極間は直流電源１５に接続している
。混合ガス１６は両放電管内の陰極１３から陽極１４に
向って流通し、両数電管６．７と冷却路２０との間を循
環する。
冷却路２０は縦冷却管２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃと縦冷却
管２１Ａ〜２１Ｃと連通し、かつ直角方向に延びる横冷
却管２２Ａ〜２２Ｃとから構成している。左右および中
央の縦冷却管２１ｘ、２１ａ２１Ｃは、上部放電管６と
下部放電管７との間の両端および中央に接続している。
管２１Ａ〜２１Ｃと連通し、かつ直角方向に延びる横冷
却管２２Ａ〜２２Ｃとから構成している。左右および中
央の縦冷却管２１ｘ、２１ａ２１Ｃは、上部放電管６と
下部放電管７との間の両端および中央に接続している。
左右の横冷却管２２Ａ、２２Ｂの一端は、中心＠０よシ
下側の下部放電管７に近い縦冷却管２１Ａ、２２Ｂに連
通し、中央の横冷却管２２Ｃの一端は、中心線０よ、シ
上側の上部放電管７に近い縦冷却管２ＩＣに連通してい
る。つまり、縦冷却管と横冷却管との連絡口２２Ｄ、２
２Ｅは、縦冷却管内で混合ガスが上昇し、かつ上部およ
び下部枚電部に接近した縦冷却管に形成している。左右
横冷却管２２Ａ。
下側の下部放電管７に近い縦冷却管２１Ａ、２２Ｂに連
通し、中央の横冷却管２２Ｃの一端は、中心線０よ、シ
上側の上部放電管７に近い縦冷却管２ＩＣに連通してい
る。つまり、縦冷却管と横冷却管との連絡口２２Ｄ、２
２Ｅは、縦冷却管内で混合ガスが上昇し、かつ上部およ
び下部枚電部に接近した縦冷却管に形成している。左右
横冷却管２２Ａ。
２２Ｂおよび中央横冷却管２２Ｃの他端は、ベローズ２
３を介して熱交換器２４および送風機２５に連絡してい
る。中央横冷却管２２Ｃの一部には、絶縁管２６を設け
ているが、左右横冷却管の一部に設けてもよい。熱交換
器２４は送風機２５に連絡している。送風機２５は遠心
プロアを使用し、内部に回転羽（図示せず）を有し、軸
２７を介して駆動モータ２８に連結している。駆動モー
タ２８を駆動すれば、混合ガス１６は各放電管６゜７と
冷却路２０との間を矢印方向に沿って循環する。
３を介して熱交換器２４および送風機２５に連絡してい
る。中央横冷却管２２Ｃの一部には、絶縁管２６を設け
ているが、左右横冷却管の一部に設けてもよい。熱交換
器２４は送風機２５に連絡している。送風機２５は遠心
プロアを使用し、内部に回転羽（図示せず）を有し、軸
２７を介して駆動モータ２８に連結している。駆動モー
タ２８を駆動すれば、混合ガス１６は各放電管６゜７と
冷却路２０との間を矢印方向に沿って循環する。
この構成によれば、放電管本体５の長手方向と直交する
一方側に送風機２５および駆動モータ２８を別配置した
。このため、高寸法Ｈは放電管本体５の高さでよいから
、従来の駆動モータおよび送風機上に放電管を配置した
高寸法に比べて、放電管本体５の重心が低く、放電管本
体に左右方向の振動が働いても、振動しに〈＜、安定し
ているので、左右方向の耐震性がよい。また、送風機２
５、駆動モータ２８等が放電管本体５と離れているので
、送風機等の運転中の振動が放電管本体５に伝達されに
＜＜、放電管本体５の耐震性がよく、特に各鏡を取付け
ている調整ボルト等が緩みに＜＜、レーザ光軸が狂いに
くいので、レーザ光出力が安定し、レーザ光出力を向上
できる。更に１放電管６．７と送風機２５とは互い別配
置になっているので、作業空間が広く組立が容易である
。
一方側に送風機２５および駆動モータ２８を別配置した
。このため、高寸法Ｈは放電管本体５の高さでよいから
、従来の駆動モータおよび送風機上に放電管を配置した
高寸法に比べて、放電管本体５の重心が低く、放電管本
体に左右方向の振動が働いても、振動しに〈＜、安定し
ているので、左右方向の耐震性がよい。また、送風機２
５、駆動モータ２８等が放電管本体５と離れているので
、送風機等の運転中の振動が放電管本体５に伝達されに
＜＜、放電管本体５の耐震性がよく、特に各鏡を取付け
ている調整ボルト等が緩みに＜＜、レーザ光軸が狂いに
くいので、レーザ光出力が安定し、レーザ光出力を向上
できる。更に１放電管６．７と送風機２５とは互い別配
置になっているので、作業空間が広く組立が容易である
。
一方、中央の横冷却管２２Ｃは上部放電管側に近い縦冷
却管２１Ｃに、左右の横冷却管２２Ａ。
却管２１Ｃに、左右の横冷却管２２Ａ。
２２Ｂは下部放電管側に近い縦冷却管２１Ａ。
２１Ｂに、それぞれ連通し、混合ガス１６が上昇する時
のエネルギーを少なくして、下降する混合ガス１６と、
ヒ昇する混合ガスの流量を均等に分散し、各ツタ電管で
局部過熱によるアーク放電への移動を防止できる。
のエネルギーを少なくして、下降する混合ガス１６と、
ヒ昇する混合ガスの流量を均等に分散し、各ツタ電管で
局部過熱によるアーク放電への移動を防止できる。
上述の実施例で送風機２５は、遠心プロアを使用したが
、ルーツプロアを使用してもよい。ルーツブロアを使用
する場合、たとえば、第１図の送風機２５をルーツブロ
アと仮定すれば、ルーツブロアの上面および下面に排気
用の横冷却管および２本の供給用の横冷却管を敗付け、
排気管および供給管は中央の縦冷却管および左右の縦冷
却管と連絡するようにすればよい。また、遠心プロアお
よびルーツブロアの回転方向は、逆方向に回転して、混
合ガスを逆方向に流通してもよい。この場合、供給管と
排気管とは逆になる。更に、本発明は複数本の放電管を
直線配置にした構成にも使用できることは云うまでもな
い。
、ルーツプロアを使用してもよい。ルーツブロアを使用
する場合、たとえば、第１図の送風機２５をルーツブロ
アと仮定すれば、ルーツブロアの上面および下面に排気
用の横冷却管および２本の供給用の横冷却管を敗付け、
排気管および供給管は中央の縦冷却管および左右の縦冷
却管と連絡するようにすればよい。また、遠心プロアお
よびルーツブロアの回転方向は、逆方向に回転して、混
合ガスを逆方向に流通してもよい。この場合、供給管と
排気管とは逆になる。更に、本発明は複数本の放電管を
直線配置にした構成にも使用できることは云うまでもな
い。
以上のように、本発明のガスレーザ発生装置は、左右方
向の振動に対して安定した耐震性を有し、１７−ザ光を
安定することができるので、レーザ光出力を向上させる
ことができる。
向の振動に対して安定した耐震性を有し、１７−ザ光を
安定することができるので、レーザ光出力を向上させる
ことができる。
第１図は本発明の実施例として示したガスレーザ発生装
置の斜視図、第２図は第１図の側断面図である。 ５・・・放電管本体、６．７・・・放電管、１１，１２
゜１３・・・鏡、１６・・・混合ガス、２０・・・冷却
路、２１・・・縦冷却管、２２・・・横冷却管、２５・
・・送風機。 代理人 弁理士 高橋明夫
置の斜視図、第２図は第１図の側断面図である。 ５・・・放電管本体、６．７・・・放電管、１１，１２
゜１３・・・鏡、１６・・・混合ガス、２０・・・冷却
路、２１・・・縦冷却管、２２・・・横冷却管、２５・
・・送風機。 代理人 弁理士 高橋明夫
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 レーザ光と共振し、かつ混合ガスを有する放電部
と、放電部の両端および中間部と連通ずる冷却路と、混
合ガスを放ｄ部と冷却路との間で循環させる送ｍ、機と
、から成るものにおいて、上記送風機を放一部の長手方
向に対して横方向に別装置をし、送風機と放電部との間
を冷却路で連絡することを特徴とするガスレーザ発生装
置。 ２ 少なくとも２個の放電部を上、下に配置し、各放電
部を少なくとも３本の縦冷却路で連絡し、これらの縦冷
却路と接続し、かつ縦冷却路よシ送風機方向に延びる横
冷却路と、縦冷却路と横冷却路とを連絡する連絡口は、
縦冷却路内で混合ガスが上昇し、かつ放電部と接近した
縦冷却路に設けることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のガスレーザ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16519783A JPS6057986A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | ガスレ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16519783A JPS6057986A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | ガスレ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057986A true JPS6057986A (ja) | 1985-04-03 |
Family
ID=15807676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16519783A Pending JPS6057986A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | ガスレ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057986A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0109025A3 (en) * | 1982-11-10 | 1986-08-27 | Hitachi, Ltd. | Gas laser generator |
| FR2589639A1 (fr) * | 1985-11-01 | 1987-05-07 | Ferranti Plc | Appareil a laser a gaz |
| WO1988000765A1 (fr) * | 1986-07-18 | 1988-01-28 | Fanuc Ltd | Laser a gaz |
| US4757511A (en) * | 1984-11-24 | 1988-07-12 | Trumpf Gmbh & Company | High frequency folded gross-flow gas laser with approved gas flow characteristics and method for producing laser beam using same |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP16519783A patent/JPS6057986A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0109025A3 (en) * | 1982-11-10 | 1986-08-27 | Hitachi, Ltd. | Gas laser generator |
| US4757511A (en) * | 1984-11-24 | 1988-07-12 | Trumpf Gmbh & Company | High frequency folded gross-flow gas laser with approved gas flow characteristics and method for producing laser beam using same |
| FR2589639A1 (fr) * | 1985-11-01 | 1987-05-07 | Ferranti Plc | Appareil a laser a gaz |
| WO1988000765A1 (fr) * | 1986-07-18 | 1988-01-28 | Fanuc Ltd | Laser a gaz |
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