JPS6058014B2 - 真空プレス接着装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空プレス接着装置、特に真空プレス接着装
置を構成する上部側チャンバ内における容積を小さくし
て空気の制御量を少なくするようにした真空プレス接着
装置に関するものである。

従来、真空プレス接着装置は第１図、第２図に示すよ
うに、チャンバ１に対してテープの被接着物であるワー
ク２を配置し、このチャンバ１の上に型締シリンダ３に
よつて上下動自在に配置されたチャンバ４を設け、この
チャンバ４の内部に複数個のヒータ５を設置し、チャン
バ１側におけるテープ６をこのヒータ５によつて加熱し
ながらチャンバ１内を真空引きしてテープ６をワーク２
の表面側に圧着せしめる。この場合第１図において、テ
ープ９はチャンバ１、４間の空間を仕切る如くセットさ
れる。なお、７はワーク２を保持する基板８を上下動す
るためのエアシリンダである。また、第２図においてチ
ャンバ４の下面にはゴム板より成る弾性シート９が設け
られ、この弾性シート９でチャンバ１、４間の空間を仕
切るものでこの弾性シート９を上記ヒータ５によつて加
熱しこの加熱された弾性シートを真空引きによつてワー
ク２の表面側に圧接する如くしてテープ６を接着せしめ
ている。 しカルながら、従来の上記真空プレス接着装
置によれば、いずれもテープ６を必要な量に加熱するこ
とができず、接着力を強度なものとすることができない
。

すなわち、第１図に示す真空ブレス接着装置にあつては
、テープ６を加熱するためにチャンバ４をチャンバ１の
上にセットした後、ヒータ５を発熱しテープ６がこのヒ
ータ５によつて加熱されるまで長時間待機しなければな
らないので量産性を高めることができず、またワーク２
への部分貼りができず、また空気の抜き量が多いのでマ
シンサイクルが長く、エネルギーの消費量が大きい。ま
た第２図に示す真空ブレス接着装置においては、ゴム板
９がヒータ５から離間しているのでヒータ５によつて弾
性シート９を充分に加熱できず、このためテープ６の接
着力を強くできず、またチャンバ１内の空気を抜き取る
ことによりテープ６を貼着するため、貼着力が弱くワー
クの凹凸面に確実にテープを貼着できないという欠点を
有している。本発明の目的は、上部側のチャンバ内を上
下に仕切る仕切板を設けて上記チャンバの下部側に設け
た弾性シートを制御するための制御空間の容積を小さく
するようにして上記弾性シートの制御を高率的に行なえ
るようにし、かつ上記弾性シートに対し必要量の熱をヒ
ータから供給できるようにして上記欠点を除去するもの
であり、以下実施例を用いて詳細に説明する。

第３図は本発明による真空ブレス接着装置の一実施例を
示す簡略構成図であり、同図において、１１はワーク１
２を収容する空間を有するチャンバであり、上記ワーク
１２の上にはこのワークに被着されるべきテープ１６が
セットされる。

上記チャンバ１１の上部側にはシリンダ１３により上下
動する上部側のチャンバ１４が位置せしめられており、
このチャンバ１４は下部側が開口しており、その内部に
はヒータ１５が固定され、かつその下端側はこのチャン
バ１４の内部側空間を塞ぐように設置されかつある程度
の弛みが与えられた弾性シート１９が設けられている。
さらに、このチャンバ１４内には中央部分に孔２０を有
する仕切板２１が上記ヒータ１５側と弾性シート１９側
の空間を上下方向に密封して仕切る如く設けられ、この
仕切板２１は図示しない方法によりチャンバ１４内に固
定された保持材３０の端部が孔２０に挿入されて固定さ
れている。該仕切板２１は剛性を有する材料により形成
される。上記仕切板２１としてはヒータ１５を赤外線ヒ
ータから構成した場合は赤外線を良好に透過する透明ガ
ラスが用いられる。上記保持材３０には図示しない空気
制御部に一端が接続された管３１の他端側が延在して、
この管３１の他端側は仕切板２１と弾性シート１９との
間で形成される空間４０に臨む。チャンバ１１には図示
しない空気制御部に一端が接続された管３２の他端側が
臨み、上記管３１，３２は管３３によつて互いに接続さ
れ、これら管３１，３２，３３には空気制御弁３４，３
５，３６が設けられている。なお、２２はヒータ１５か
らの熱を弾性シート１９方向に反射する反射板である。
以上の構成において、テープ１６をワーク１２に接着す
るには、ます赤外線ヒータ１５を作動せしめこの赤外線
ヒータ１５からの赤外線を仕切板２１を通して弾性シー
ト１９に照射せしめ、これにより予め弾性シート１９を
加熱しておく。

次にシリンダ１３を駆動してチャンバ１４をチャンバ１
１の上にセットし、両チャンバ１４，１１間を密閉する
（第４図参照）。次に第５図に示すように管３２を介し
てチャンバ１１内の空間を真空引きし、これと同時に管
３１から空間４０に空気を送り込んでその空間４０内の
気圧を高め、両者によつて弾性シート１９をワーク１２
側に密着せしめ、テープ１６を軟化させた状態でワーク
１２の表面側に接着する。このような動作が完了した後
は第６図に示すように管３１および管３３，３２を介し
て空間４０およびチャンバ１１内における空間の気圧を
高めた後チャンバ１４を上昇させてワーク１２を取り出
すことができる。以上の構成によれは弾性シート１９を
設け、これを予め加熱後にテープ１６に圧接するように
したのでテープ１６を短時間で加熱でき、テープ１６を
加熱するのに長時間待機する必要がないので量産性を高
めることができ、また弾性シート１９を制御するための
空間４０を小さくしたのでこの弾性シート１９を制御す
るための空気量が少なくてよいのでマシンサイクルが短
くなりエネルギーの消費量を小さく抑えることができか
つ作業時間を短かくできる。

また、空間４０側にも空気を送るようにしてこの内部の
気圧を高めるようにし、この空気によつても弾性シート
１９に対しワーク１２方向の力を与えることにより弾性
シート１９によるテープ１６の接着力を大きくすること
ができ、ワーク１２の表面がたとえ複雑な形状の凹凸面
であつてもこの面に対しテープ１６を接着することが可
能となる。以上説明したように本発明によれば、下部側
チャンバに対向する上部側チャンバの内部にヒータを設
けかつ上記上部側チャンバの下面側に上記上部側チャン
バ内の空間を仕切るような弾性シニトを装着するように
した真空ブレス接着装置において、上記上部側チャンバ
内に上記ヒータと弾性シートとの間に介在して上記ヒー
タ側の空間と弾性シート側の空間を上下に分割する仕切
板を設けるようにしたので、弾性シートを制御するため
には上記弾性シートと仕切板との間に形成される空間内
の圧力を制御するだけでよく、制御が容易となりかつ消
費エネルギーを少なくできかつマシンサイクルを短かく
することができるのて量産化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は従来の真空ブレス接着装置の一例を示
す簡略構成図、第３図ないし第６図は本発明による真空
ブレス接着装置の一実施例を示す簡略構成図てある。 １１，１４・・・・チャンバ、１２・・・・・・ワーク
、１３・・・・・シリンダ、１５・・・・・・ヒータ、
１９・・・・・・弾性シート、２１・・・・・・仕切板
、２２・・・・・・反射板。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 上部側を向いて開口する下部側チャンバの上部位置
   に、下側を向いて開口る上部側チャンバを対向せしめ、
   該上部側チャンバ内にヒータを設置しかつ同チャンバの
   下端側にこのチャンバの開口部を塞ぐような弾性シート
   を設け、この弾性シートを空気圧によつて下部側のチャ
   ンバに設置されたワーク側に圧接するような力を与える
   ようにして成る真空プレス接着装置において、ヒータの
   背面に赤外線を反射する反射板を設けると共に上部側チ
   ャンバにおける上記ヒータと弾性シートとの間に介在し
   ヒータ側の空間と弾性シート側の空間を上下方向に分割
   して密封仕切る剛性を有する材料からなる仕切板を上部
   チャンバの下端近傍に設けるようにしたことを特徴とす
   る真空プレス接着装置。 ２ ヒータは赤外線ヒータから成り、仕切板はガラスに
   より形成して成る特許請求の範囲第１項記載の真空プレ
   ス接着装置。 ３ 仕切板と弾性シートとによつて形成される空間側に
   一端が空気制御部に接続された管の他端を臨ませ、この
   管を介して上記ヒータと弾性シートとの間によつて形成
   される空間の空気量を制御するようにした特許請求の範
   囲第１項記載の真空プレス接着装置。