JPS6059643A - 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 - Google Patents
電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置Info
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- JPS6059643A JPS6059643A JP58165087A JP16508783A JPS6059643A JP S6059643 A JPS6059643 A JP S6059643A JP 58165087 A JP58165087 A JP 58165087A JP 16508783 A JP16508783 A JP 16508783A JP S6059643 A JPS6059643 A JP S6059643A
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および
装置に関するものである。
装置に関するものである。
電子顕微鏡においては、拡散ポンプの油や真空シール用
のゴムやグリース或いは組立時に用いられる有機溶剤の
ため種々の炭水化物の蒸気が存在しており、この蒸気分
子が試料表面に付着し、そして電子照射によシ重合して
試相汚東の原因となっている。従来試料室内を清浄化す
る方法上しては組立て後長時間真空排気する方法および
精密な電子顕微鏡本体の加工精度を狂わせない程度に弱
い加熱（１００℃以内）を行なう方法しかなされていな
い。そのため、試料室周辺の壁からの汚染のため観察中
、試料表面を充分に’ｆ［ｌＩ浄に保ち１；Ｉない欠点
があった。特に、試料表面を超高真空（或いは清浄真空
）で生成して吸着層のない状態で次面観察しようとする
場合、試料室内壁の汚染社著しく悪影響を及ばずことに
なる。
のゴムやグリース或いは組立時に用いられる有機溶剤の
ため種々の炭水化物の蒸気が存在しており、この蒸気分
子が試料表面に付着し、そして電子照射によシ重合して
試相汚東の原因となっている。従来試料室内を清浄化す
る方法上しては組立て後長時間真空排気する方法および
精密な電子顕微鏡本体の加工精度を狂わせない程度に弱
い加熱（１００℃以内）を行なう方法しかなされていな
い。そのため、試料室周辺の壁からの汚染のため観察中
、試料表面を充分に’ｆ［ｌＩ浄に保ち１；Ｉない欠点
があった。特に、試料表面を超高真空（或いは清浄真空
）で生成して吸着層のない状態で次面観察しようとする
場合、試料室内壁の汚染社著しく悪影響を及ばずことに
なる。
この発明の目的は、とのような欠点や不都合を解消する
ため、試料案内壁のやｒ規の清沖方法および装置を提供
することにある。
ため、試料案内壁のやｒ規の清沖方法および装置を提供
することにある。
従って、この目的を達成するために、この発明による方
法は、電子顕微鏡の試料室内にグキー放電を起させる圧
力まで高純度のガスを導入し、試料室内に挿置した放電
電極によ）試料室にグロー放電を発生させ、試料室内壁
面が清浄になるまでガス純度を維持しながらグロー放電
を維持することを％徴としている。
法は、電子顕微鏡の試料室内にグキー放電を起させる圧
力まで高純度のガスを導入し、試料室内に挿置した放電
電極によ）試料室にグロー放電を発生させ、試料室内壁
面が清浄になるまでガス純度を維持しながらグロー放電
を維持することを％徴としている。
またこの発明による装置は、電子顕微鏡の試料室内にグ
ロー放電を生じさせる高純度のガスを導入する装置と、
上記装置によって導入されたガスでグロー放電を発生さ
せるため、試料室内の作動位置と非作動位置との間で動
くことができるように設けられた放電電極とを有し、試
料室内壁が清浄になるまでグロー放電を維持すると共に
グロー放電中ガス純度を維持するように構成したことを
特徴としている。
ロー放電を生じさせる高純度のガスを導入する装置と、
上記装置によって導入されたガスでグロー放電を発生さ
せるため、試料室内の作動位置と非作動位置との間で動
くことができるように設けられた放電電極とを有し、試
料室内壁が清浄になるまでグロー放電を維持すると共に
グロー放電中ガス純度を維持するように構成したことを
特徴としている。
以下、この発明を、添附図面を参照して一実施例につい
て説明する。
て説明する。
図面にはこの発明による装置の一実施例を概略的に示し
、ｌは電子顕微鏡の試料室２を構成しているゲージング
で、とのケーシングｌ内には試料台３および試料筒弘が
配置されている。ｊ、乙は対物レンズ磁極片であり、７
は試料室コ内への試料の挿入口であり、エアロツク（図
示してない）が組込まれている。またざはヘリウム、ア
ルゴン、ネオン、キセノン等の希ガス或いはＮ２ガス等
のグロー放電を発生させ得るカスの供給源であり、この
供給源ｒは導管２によシ試料室λ内に連通している。試
料室λ内には、導管７を介して供給される希ガスで試料
室λ内にグロー放電を発生さぜる放電電極１０が設けら
れ、この放電’＠、極１０は放電洗浄時板外には試料室
−の妨げとなりない位置に移動できるように取付けられ
ている。すなわち図・不実施例ではケーシングｌに設け
た開口部ｌ／に例えばベローズから成る伸縮可能なケー
シングｌ−２を取付け、このケーシング１２の外方端ｔ
ｉｌｌからケーシングｌ−２内に軸方向にのびる内筒１
３内に電極ｉｏを絶縁部材ｌ≠を介して取イテ」け、矢
印で示すように直線移動できるように構成きれ、そして
この電極１０は直流電源または高周波電源に接続され得
る。導管りを介して供給されるガスの圧力および放電電
極１０に印加される放電電圧は、発生されるグロー放電
の放電暗部がｏ、ｒ−〜数■程度で実質的に試料室全体
が放電によるプラズマで充満するように選ばれる。また
放電中、ガス純度を維持するために高純度ガスの導入と
排気を続けるか、または高純度ガスを試料室λに充填し
た後、強力なゲッター材を用いて汚染ガスを選択的に吸
着排気するようにされ得る。−例として例えば汚れがひ
どいときにはアルゴンガスを使用してガス圧λＸ ”−
” ＴｏｒｒでＤＣ３０分の放電で清浄でき、またアル
ゴンガスのガス圧をｊＸ／θ−’Ｔｏｒｒにして／ 、
３．！ Ａ ＭＨ，の高周波を用いてｌ！分の放電で清
浄することができた。
、ｌは電子顕微鏡の試料室２を構成しているゲージング
で、とのケーシングｌ内には試料台３および試料筒弘が
配置されている。ｊ、乙は対物レンズ磁極片であり、７
は試料室コ内への試料の挿入口であり、エアロツク（図
示してない）が組込まれている。またざはヘリウム、ア
ルゴン、ネオン、キセノン等の希ガス或いはＮ２ガス等
のグロー放電を発生させ得るカスの供給源であり、この
供給源ｒは導管２によシ試料室λ内に連通している。試
料室λ内には、導管７を介して供給される希ガスで試料
室λ内にグロー放電を発生さぜる放電電極１０が設けら
れ、この放電’＠、極１０は放電洗浄時板外には試料室
−の妨げとなりない位置に移動できるように取付けられ
ている。すなわち図・不実施例ではケーシングｌに設け
た開口部ｌ／に例えばベローズから成る伸縮可能なケー
シングｌ−２を取付け、このケーシング１２の外方端ｔ
ｉｌｌからケーシングｌ−２内に軸方向にのびる内筒１
３内に電極ｉｏを絶縁部材ｌ≠を介して取イテ」け、矢
印で示すように直線移動できるように構成きれ、そして
この電極１０は直流電源または高周波電源に接続され得
る。導管りを介して供給されるガスの圧力および放電電
極１０に印加される放電電圧は、発生されるグロー放電
の放電暗部がｏ、ｒ−〜数■程度で実質的に試料室全体
が放電によるプラズマで充満するように選ばれる。また
放電中、ガス純度を維持するために高純度ガスの導入と
排気を続けるか、または高純度ガスを試料室λに充填し
た後、強力なゲッター材を用いて汚染ガスを選択的に吸
着排気するようにされ得る。−例として例えば汚れがひ
どいときにはアルゴンガスを使用してガス圧λＸ ”−
” ＴｏｒｒでＤＣ３０分の放電で清浄でき、またアル
ゴンガスのガス圧をｊＸ／θ−’Ｔｏｒｒにして／ 、
３．！ Ａ ＭＨ，の高周波を用いてｌ！分の放電で清
浄することができた。
こうして放電洗浄処理した後、清浄な真空状態にある試
料室λ内に清浄な試料観゛察表面が挿入される。この場
合、真空蒸着（エピタキシャル成長）、ス／ぐツタ蒸着
、気相成長、或い拡超微粉発生・移送成長等を、連結し
た試料準備室（図示してない）で実施した後、同じ清浄
度を維持したまま試料を試料室λ内に挿入する真空ロッ
クを用いるか或いはまた試料室λ内の試料地地表面に直
接分子線状のビームを発生させて試料表面に堆積させる
方法を用いることができる。
料室λ内に清浄な試料観゛察表面が挿入される。この場
合、真空蒸着（エピタキシャル成長）、ス／ぐツタ蒸着
、気相成長、或い拡超微粉発生・移送成長等を、連結し
た試料準備室（図示してない）で実施した後、同じ清浄
度を維持したまま試料を試料室λ内に挿入する真空ロッ
クを用いるか或いはまた試料室λ内の試料地地表面に直
接分子線状のビームを発生させて試料表面に堆積させる
方法を用いることができる。
以上説明してきたようにこの発明によれは、希ガスやＮ
２ガスのようなガスによるグロー放電を利用することに
よって試料室内壁を十分に清浄化することかで簀、観察
すべき試料表面を観察中充分に清浄な状態に保つことが
できる。
２ガスのようなガスによるグロー放電を利用することに
よって試料室内壁を十分に清浄化することかで簀、観察
すべき試料表面を観察中充分に清浄な状態に保つことが
できる。
図面はこの発明を実施している電子顕微鏡の試料室部分
を示す概略断面図である。 図中、−２＝試料室、ｔはガス供給源、１０：放電電極
。
を示す概略断面図である。 図中、−２＝試料室、ｔはガス供給源、１０：放電電極
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ 電子顕微鏡の試料室内にグロー放電を起させる圧力
まで高純度のガスを一導入し、試料室内に挿置した放電
電極によシ試料室にグロー放電を発生させ、試料室内壁
面が清浄になるまでガス純度を維持しながらグロー放電
を維持することを特徴とする電子顕微鏡の試料室内壁の
清浄方法。 ２ 電子顕微鏡の試料室内にグロー放電を生じさせる高
純度のガスを導入する装置と、上記装置によって導入さ
れたガスでグロー放電を発生させるため、試料室内の作
動位置と非作動位置との間で動くことができるように設
けられた放電電極とを有し、試料室内壁が清浄になるま
でグロー放電を維持すると共にグロー放電中ガス純度を
維持するように構成したことを特徴とする電子顕微鏡の
試料内壁の清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165087A JPS6059643A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165087A JPS6059643A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059643A true JPS6059643A (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=15805630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58165087A Pending JPS6059643A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059643A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121711A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体 |
| JPS62121709A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体およびその用途 |
| JPH04306546A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-29 | Kokusai Electric Co Ltd | 直流グロー放電洗浄用電極 |
| JPH05270629A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-19 | Akira Hatakeyama | エプロンコンベア |
| CN112557130A (zh) * | 2021-02-28 | 2021-03-26 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种气体探测器充入气体的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57170493A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Nihon Fuijitetsuku Kiki Kk | Vacuum containing with low voltage arc discharger |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP58165087A patent/JPS6059643A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57170493A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Nihon Fuijitetsuku Kiki Kk | Vacuum containing with low voltage arc discharger |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121711A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体 |
| JPS62121709A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体およびその用途 |
| JPH04306546A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-29 | Kokusai Electric Co Ltd | 直流グロー放電洗浄用電極 |
| JPH05270629A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-19 | Akira Hatakeyama | エプロンコンベア |
| CN112557130A (zh) * | 2021-02-28 | 2021-03-26 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种气体探测器充入气体的方法 |
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