JPS6059644A - 電子顕微鏡用差動排気絞り装置 - Google Patents
電子顕微鏡用差動排気絞り装置Info
- Publication number
- JPS6059644A JPS6059644A JP58165194A JP16519483A JPS6059644A JP S6059644 A JPS6059644 A JP S6059644A JP 58165194 A JP58165194 A JP 58165194A JP 16519483 A JP16519483 A JP 16519483A JP S6059644 A JPS6059644 A JP S6059644A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- differential
- diaphragm
- chamber
- differential exhaust
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/15—External mechanical adjustment of electron or ion optical components
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡用差動排気絞り装置に係り、特に電
界放射型電子銃を有する電子顕微鏡用の超高真空を得る
ための差動排気絞り装置の改良に関する。
界放射型電子銃を有する電子顕微鏡用の超高真空を得る
ための差動排気絞り装置の改良に関する。
電子顕微鏡は電子銃にて発生した電子線を収束レンズに
よって細く絞り、試料に照射させてその透過、反射、二
次電子等を利用して画像化するものであるが、電子線を
発生する電子銃のフィラメントがタングステンやＬａＢ
ｅ等のフィラメントを加熱するものと、フィラメントの
先端を数千Å以下にして強い電界により電子を引き出す
ものとがめる。前者はフィラメント近傍のＩ（全敗は１
（１−’〜１ｏ−’、ｐａで充分使用できるが、後者は
１Ｏ−８Ｐａ以下の真空開にし微小放電を皆無にする必
要がある。これはフィラメントの先端が非常に鋭いため
わずかな放電でもフィラメントの先端が丸くなってしま
い、電子の放電（電界放射）がされなくなってしまうた
めである。電子銃室を１’ ０”” Ｐ ２に保つため
には真空排気装置としてイオ／ボ７グ紫用いるが、この
電子銃室と真空の通路全弁して導通している試料室は観
察したい試料を頻繁に交換するため、この試料室の真空
域に１０−’Ｐａ以上に保つことは非常に難しい。そこ
で電子銃室を１０−６ｐａに、試料室を１０−ラＰａに
それぞれ保つために差動排気システムが用いられている
。この差動排気システムとしては電子銃とその下部に設
けられた中間室および収束し／ズ部捷たは試料室のそれ
ぞれの間に出来るだけ小ざい差動排気絞りを設けるよう
にし、通常はこの絞り径を１ｍｍ以下にすれば必要な差
動排気を保つことができる。
よって細く絞り、試料に照射させてその透過、反射、二
次電子等を利用して画像化するものであるが、電子線を
発生する電子銃のフィラメントがタングステンやＬａＢ
ｅ等のフィラメントを加熱するものと、フィラメントの
先端を数千Å以下にして強い電界により電子を引き出す
ものとがめる。前者はフィラメント近傍のＩ（全敗は１
（１−’〜１ｏ−’、ｐａで充分使用できるが、後者は
１Ｏ−８Ｐａ以下の真空開にし微小放電を皆無にする必
要がある。これはフィラメントの先端が非常に鋭いため
わずかな放電でもフィラメントの先端が丸くなってしま
い、電子の放電（電界放射）がされなくなってしまうた
めである。電子銃室を１’ ０”” Ｐ ２に保つため
には真空排気装置としてイオ／ボ７グ紫用いるが、この
電子銃室と真空の通路全弁して導通している試料室は観
察したい試料を頻繁に交換するため、この試料室の真空
域に１０−’Ｐａ以上に保つことは非常に難しい。そこ
で電子銃室を１０−６ｐａに、試料室を１０−ラＰａに
それぞれ保つために差動排気システムが用いられている
。この差動排気システムとしては電子銃とその下部に設
けられた中間室および収束し／ズ部捷たは試料室のそれ
ぞれの間に出来るだけ小ざい差動排気絞りを設けるよう
にし、通常はこの絞り径を１ｍｍ以下にすれば必要な差
動排気を保つことができる。
しかしながら電子銃室より発生した電子線を絞り径１■
以下の絞り穴を通して試料に衝突させるためには、電子
源より収束レンズまでの光軸をすべて１０８ｍ以下のず
れにて会わせる必費がある。
以下の絞り穴を通して試料に衝突させるためには、電子
源より収束レンズまでの光軸をすべて１０８ｍ以下のず
れにて会わせる必費がある。
このためには差動排気絞り穴の加工精度および各機構部
の取付ａ度を異猟に高め、かつ精密な芯出し調整が必要
であり、これらの作業に非常に多くの時間を要するとい
う欠点がめった。
の取付ａ度を異猟に高め、かつ精密な芯出し調整が必要
であり、これらの作業に非常に多くの時間を要するとい
う欠点がめった。
〔発明の目的〕
本発明は上述の点に鑑みてなきれたもので、その目的と
するところは、差動排気効果を充分発揮できる加工組立
調整の簡単な電子顕微鏡用差動排気絞り装置を提供する
におる。
するところは、差動排気効果を充分発揮できる加工組立
調整の簡単な電子顕微鏡用差動排気絞り装置を提供する
におる。
本発明は電子顕微鏡の電子銃室下部に殴りしれた中間室
と収束レンズ部との間に絞り台に差動絞りを嵌合してな
る差動排気絞り部を設け、差動絞りを中間室の底面に、
また絞９台を収束レンズ室の上面にそれぞれ押しばねに
よって押圧当接をせ、σらにこの差動排気絞り部を光軸
に直角な面上に・おいてＸ−Ｙ方向に自由に位置調整で
さるように、板ハネにまり付勢さｎｌかつベローシール
された可動軸を差動排気絞り部に設けることにより、ノ
ヅ［期の目期を達成するようになしたものでるる。
と収束レンズ部との間に絞り台に差動絞りを嵌合してな
る差動排気絞り部を設け、差動絞りを中間室の底面に、
また絞９台を収束レンズ室の上面にそれぞれ押しばねに
よって押圧当接をせ、σらにこの差動排気絞り部を光軸
に直角な面上に・おいてＸ−Ｙ方向に自由に位置調整で
さるように、板ハネにまり付勢さｎｌかつベローシール
された可動軸を差動排気絞り部に設けることにより、ノ
ヅ［期の目期を達成するようになしたものでるる。
以下本発明に係る電子顕微鏡用差動排気絞り装置の一実
施例を図面を参照して説明する。
施例を図面を参照して説明する。
第１図および第２図に本発明の一実施例を示す。
核間に示す本実施例において、電子銃室ＩＫはれ空排気
用のイオノボ／プ２が設けられて寂り、この電子銃室ｌ
の直下には中間室３が設灯られている。この中間室３に
も真空排気用のイオンボング４が設けられている。前記
電子銃室ｌとこの中間室３との間には固定の差動排気絞
り部５が設けられている。
用のイオノボ／プ２が設けられて寂り、この電子銃室ｌ
の直下には中間室３が設灯られている。この中間室３に
も真空排気用のイオンボング４が設けられている。前記
電子銃室ｌとこの中間室３との間には固定の差動排気絞
り部５が設けられている。
前記中間室３とその直下に設けられている収束レンズ部
６との間には、電子顕微鏡の光軸と直角の面上において
Ｘ−Ｙ方向に自由に位置が変えられる差動排気絞り部が
設けられてふ・す、その詳細構造は第２図に示されてい
る。第２図において差動絞り７は絞り台８に嵌合してお
り、差動絞！１１７は前記中間室３の底面に、また絞り
台８は前記収束レンズ部６の上面に、それぞれ押しばね
９の付勢力によって当接押圧されている。該収束レンズ
部６の上部の外周にはＸ−Ｙ方向にそれぞれ１本ずつの
可動軸１０（直角方向は図ボせず）が摺動自在に嵌合さ
れて３？９、内部への突出端は前記絞り台８の外周に当
接しており、外方に突出した一端は前記収束し／ズ部の
上部の外周に気密に同役されたベローズ１１の開放端と
気密に係合している。この可動軸１θはネジ送り（図示
せず）その他の手段に工９微細に位置調整可能となって
いる。
６との間には、電子顕微鏡の光軸と直角の面上において
Ｘ−Ｙ方向に自由に位置が変えられる差動排気絞り部が
設けられてふ・す、その詳細構造は第２図に示されてい
る。第２図において差動絞り７は絞り台８に嵌合してお
り、差動絞！１１７は前記中間室３の底面に、また絞り
台８は前記収束レンズ部６の上面に、それぞれ押しばね
９の付勢力によって当接押圧されている。該収束レンズ
部６の上部の外周にはＸ−Ｙ方向にそれぞれ１本ずつの
可動軸１０（直角方向は図ボせず）が摺動自在に嵌合さ
れて３？９、内部への突出端は前記絞り台８の外周に当
接しており、外方に突出した一端は前記収束し／ズ部の
上部の外周に気密に同役されたベローズ１１の開放端と
気密に係合している。この可動軸１θはネジ送り（図示
せず）その他の手段に工９微細に位置調整可能となって
いる。
また前記絞り台８の可動軸１０の当接端と反対側の外周
面と前記収束し／ズ部６の上部の内周面との間には板バ
ネ１２が設けられて２ｖ、その付勢力にまり差動絞り７
と一体的に絞り台８ｆｔ前記可動軸１０の当接端に押圧
している。前記収束し／ズ部６の直下には試料１３を収
納する試料室１４が眩けられて２す、さらにこの試料室
１４の直下には対物し／ズ部１５が設けられている。こ
れらの試料室１４と対物レンズ部１５には真空排気用の
イオノボ／プ１６が設けられている。
面と前記収束し／ズ部６の上部の内周面との間には板バ
ネ１２が設けられて２ｖ、その付勢力にまり差動絞り７
と一体的に絞り台８ｆｔ前記可動軸１０の当接端に押圧
している。前記収束し／ズ部６の直下には試料１３を収
納する試料室１４が眩けられて２す、さらにこの試料室
１４の直下には対物し／ズ部１５が設けられている。こ
れらの試料室１４と対物レンズ部１５には真空排気用の
イオノボ／プ１６が設けられている。
上記のように構成された電界放射型電子銃（以下ＦＥ電
子銃と称す）を冶する電子顕微鏡においては、差動排気
絞り部５は電子銃室１に固設されているため絞り径が小
さい場合でも芯出しは容易でるる。また差動絞！ｌ１７
も可動軸１０により微細な位置調整が簡単にできるよう
になったため絞り径を小さくしても問題はなく電子銃室
１、中間室３、試料室１４の真空変音それぞれ１０−’
１’ａ。
子銃と称す）を冶する電子顕微鏡においては、差動排気
絞り部５は電子銃室１に固設されているため絞り径が小
さい場合でも芯出しは容易でるる。また差動絞！ｌ１７
も可動軸１０により微細な位置調整が簡単にできるよう
になったため絞り径を小さくしても問題はなく電子銃室
１、中間室３、試料室１４の真空変音それぞれ１０−’
１’ａ。
］ ｔ１−’ 〜１０−’ Ｐ ａ ＊ １０−” Ｐ
ａ に保てる。さらにまた差動絞り７は絞り台８に密
着嵌合しており、差動絞ｖ７の上面は中間室３の下面に
、絞り台８の下面は収束し／ズ部６の上面に、それぞれ
適当な圧力で当接抑圧されているので、差動絞ｖ７の中
心穴以外からの真空中のガス分子の移動がなくなり、効
率のよい差動排気が得られる。また可動軸１０はベロー
シールであるため可動中の真空変動は皆無であり、ＦＥ
ビームを出したままで差動絞り７の位置調整ができ、操
作性が著しく向上する。
ａ に保てる。さらにまた差動絞り７は絞り台８に密
着嵌合しており、差動絞ｖ７の上面は中間室３の下面に
、絞り台８の下面は収束し／ズ部６の上面に、それぞれ
適当な圧力で当接抑圧されているので、差動絞ｖ７の中
心穴以外からの真空中のガス分子の移動がなくなり、効
率のよい差動排気が得られる。また可動軸１０はベロー
シールであるため可動中の真空変動は皆無であり、ＦＥ
ビームを出したままで差動絞り７の位置調整ができ、操
作性が著しく向上する。
上記のように本発明によれば、電子顕微鏡用差動排気絞
り装置の差動絞りを適当なばね圧で差動排気面に当接抑
圧したままで、可動軸により外部より真空変動なく位置
調整ができるため、効率のよい差動排気が可能となり、
しかも組立時における芯出しに要する時間が従来の１％
以下ですむようになったので、その効果は非常に大きい
。
り装置の差動絞りを適当なばね圧で差動排気面に当接抑
圧したままで、可動軸により外部より真空変動なく位置
調整ができるため、効率のよい差動排気が可能となり、
しかも組立時における芯出しに要する時間が従来の１％
以下ですむようになったので、その効果は非常に大きい
。
第１図は本発明に係る電子顕微鏡用差動排気絞Ｖ装置の
一実施例を示す縦断面図、第２図は＠１図の差動排気絞
り部の詳細断面図である。
一実施例を示す縦断面図、第２図は＠１図の差動排気絞
り部の詳細断面図である。
Claims (1)
- １、本体が超高真空電子銃室と、中間室と、収束レンズ
室と、試料室と、対物し／ズ室とか同心状に順次配列さ
れてなる電子顕微鏡の、前記電子銃室と前記中間室との
間および前記中間室と前記収束レンズ室との間を小孔を
介して連通ずる電子顕微鏡用差動排気絞り装置において
、端面に小孔が形成され本体内に摺動自在に設けた筒状
の絞り部と、この絞り部を前記各室間を仕切る壁面に押
圧する該絞り部内に設けた押はねと、前記絞り部を電子
線に直交する平面内において摺動させる調整装置とから
なることを特徴とする電子顕微鏡用差動排気絞Ｖ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165194A JPS6059644A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡用差動排気絞り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165194A JPS6059644A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡用差動排気絞り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059644A true JPS6059644A (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=15807619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58165194A Pending JPS6059644A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡用差動排気絞り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059644A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009048799A (ja) * | 2007-08-14 | 2009-03-05 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2011003426A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP58165194A patent/JPS6059644A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009048799A (ja) * | 2007-08-14 | 2009-03-05 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2011003426A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
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