JPS6062047A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPS6062047A JPS6062047A JP58170656A JP17065683A JPS6062047A JP S6062047 A JPS6062047 A JP S6062047A JP 58170656 A JP58170656 A JP 58170656A JP 17065683 A JP17065683 A JP 17065683A JP S6062047 A JPS6062047 A JP S6062047A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- mesh electrode
- lead glass
- electrode
- mesh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線分析装置に関し、特に、ケースに設けらｎ
た試料観察窓が試料からの蒸発蒸気で汚損さｔするのを
有効に防止しうるようにしたＸ線分析装置に関するもの
である。
た試料観察窓が試料からの蒸発蒸気で汚損さｔするのを
有効に防止しうるようにしたＸ線分析装置に関するもの
である。
試料に電子ビームを照射し、この結果試料から放出さｎ
るＸ線を分析し、該試料中に含ま牡る成分の分析を行な
うようにしたＸ線分析装置が広く用いら１ｔている。こ
のＸ線分析装置では、分析の分解能を上げる７ヒめに、
試料に照射する電子ビームの径をなるべく小さくするこ
とが望ｔａｒするが、このように電子ビーム径を細く絞
ると試料の照射部分が高温となり、試料が一部蒸発し、
又は反射電子による残留ガスのイオン化が生じ、ケース
に設けら２″した鉛ガラスから成る試料観察窓にこ扛ら
が付着し、操作者が試料管充分に観察することができな
くなるという不具合いを有していた。この観察窓の汚損
は、内部からのものであり、従って、その清掃はケース
内部から行なわなけｒしばならないので、その保守が極
めて面到であった。
るＸ線を分析し、該試料中に含ま牡る成分の分析を行な
うようにしたＸ線分析装置が広く用いら１ｔている。こ
のＸ線分析装置では、分析の分解能を上げる７ヒめに、
試料に照射する電子ビームの径をなるべく小さくするこ
とが望ｔａｒするが、このように電子ビーム径を細く絞
ると試料の照射部分が高温となり、試料が一部蒸発し、
又は反射電子による残留ガスのイオン化が生じ、ケース
に設けら２″した鉛ガラスから成る試料観察窓にこ扛ら
が付着し、操作者が試料管充分に観察することができな
くなるという不具合いを有していた。この観察窓の汚損
は、内部からのものであり、従って、その清掃はケース
内部から行なわなけｒしばならないので、その保守が極
めて面到であった。
本発明の目的は、従って、Ｘ線分析装置の試料観察用ガ
ラス窓に汚染物質が付着するのを防止するようにし７’
ＣＸ線分析装置を提供することにある本発明者は、鉛ガ
ラスの汚１Ｌ状態を詳細に観、察したところ、主として
鉛ガラスの中心部分に近づくにつｎて汚ｎがひどくなる
ことを確めた。そして、種々の実験の結果、この汚損の
原因は、観察窓全構成する透明ガラス板の内表面が負に
チャージアップさｎｌ しかもその電位はガラス板の中
心はど高くなるため、電子ビームによシイオン化さｒし
て正の電荷を有するに至った残留ガスイオン等がガラス
板に静電吸引さＩして付着さＩＬることによシ生ずるも
のであることをつきとめた。
ラス窓に汚染物質が付着するのを防止するようにし７’
ＣＸ線分析装置を提供することにある本発明者は、鉛ガ
ラスの汚１Ｌ状態を詳細に観、察したところ、主として
鉛ガラスの中心部分に近づくにつｎて汚ｎがひどくなる
ことを確めた。そして、種々の実験の結果、この汚損の
原因は、観察窓全構成する透明ガラス板の内表面が負に
チャージアップさｎｌ しかもその電位はガラス板の中
心はど高くなるため、電子ビームによシイオン化さｒし
て正の電荷を有するに至った残留ガスイオン等がガラス
板に静電吸引さＩして付着さＩＬることによシ生ずるも
のであることをつきとめた。
本発明によるＸ線分析装置の構成は、本体ケースの一部
に設けら７した、試料観察用の窓ガラスの試料側前面に
、了−スミ位に保たｒした第１メツシユ電極と、所要の
正電位に保たｊした第２メツシユ電極とを配置した点に
特徴を有する。第２メツシユ電極は、第１メツシユ電極
と窓ガラスとの間に配置するのが好ましく、このように
第１及び第２メツシユ１［極を設けると、電子ビームに
よシイオン化さ扛て正に滞電した汚染物質は、鉛ガラス
に到達するｆｉｉＪに、第２メツシユ電極により押しも
とさスし、第１メツシユ電極により捕捉さ２′Ｌ１鉛ガ
ラスに付着するのが防止さｊＬる。従って、鉛ガラスに
は、試料の蒸気の如き、電気的に中性のものしか付着せ
ず、鉛ガラスの汚撲を従来に比べて著しく軽減すること
ができる。
に設けら７した、試料観察用の窓ガラスの試料側前面に
、了−スミ位に保たｒした第１メツシユ電極と、所要の
正電位に保たｊした第２メツシユ電極とを配置した点に
特徴を有する。第２メツシユ電極は、第１メツシユ電極
と窓ガラスとの間に配置するのが好ましく、このように
第１及び第２メツシユ１［極を設けると、電子ビームに
よシイオン化さ扛て正に滞電した汚染物質は、鉛ガラス
に到達するｆｉｉＪに、第２メツシユ電極により押しも
とさスし、第１メツシユ電極により捕捉さ２′Ｌ１鉛ガ
ラスに付着するのが防止さｊＬる。従って、鉛ガラスに
は、試料の蒸気の如き、電気的に中性のものしか付着せ
ず、鉛ガラスの汚撲を従来に比べて著しく軽減すること
ができる。
以下、図示の実施例によりＸ発明の詳細な説明する。
第１図には、本発明によるＸ線分析装置の一実施例が示
さ扛ている。Ｘ線分析装置１は、試料を電子ビームによ
シ走査することによｐ試料から放出さｎるＸＩｖｉ！’
ｃ取出し、該ＸＩに基づいて試料の成分を分析するたぬ
の装置であり、試料２を収納するためのケース３全備え
ている。試料２は、ケース３の底に設けら扛ている試料
置台４上に載置さ肚ておシ、ケース３には、一端が閉塞
さｎている真空チューブ５の他端開口部５αが、ケース
３内を覗くようにして気密に接続さｎている。真空チュ
ーブ５の一端部には、電子銃６が試料２と対向するよう
に配置さｎると共に、ケース３及び真空チューブ５の内
部は、電子ビームの走行を妨げることがないように図示
しない真空ポンプによ９真空引きさｎており、電子銃６
及び試料２は真空領域中に配置さｎるようになっている
。
さ扛ている。Ｘ線分析装置１は、試料を電子ビームによ
シ走査することによｐ試料から放出さｎるＸＩｖｉ！’
ｃ取出し、該ＸＩに基づいて試料の成分を分析するたぬ
の装置であり、試料２を収納するためのケース３全備え
ている。試料２は、ケース３の底に設けら扛ている試料
置台４上に載置さ肚ておシ、ケース３には、一端が閉塞
さｎている真空チューブ５の他端開口部５αが、ケース
３内を覗くようにして気密に接続さｎている。真空チュ
ーブ５の一端部には、電子銃６が試料２と対向するよう
に配置さｎると共に、ケース３及び真空チューブ５の内
部は、電子ビームの走行を妨げることがないように図示
しない真空ポンプによ９真空引きさｎており、電子銃６
及び試料２は真空領域中に配置さｎるようになっている
。
真空チューブ５の外周には、電子銃６から放出さ−ｎた
電子ビーム７を収束させるための電子レンズ８と、電子
レンズ８により収束した電子ビーム７により試料２の表
面２α上を走査させるための走査コイル９が設けらｎて
おシ、走査コイル９上に鋸歯状波電流を流すことにより
、細（絞らＩした電子ビーム７によって試料２を所定方
向に繰返し走査することができる。尚、性分１０で示さ
几るのは、電子レンズ８及び走査コイル９を保護するた
めの力具−であり、カバー１０と真空チューブ５との間
の空間は大気圧と等しい状態となっている。
電子ビーム７を収束させるための電子レンズ８と、電子
レンズ８により収束した電子ビーム７により試料２の表
面２α上を走査させるための走査コイル９が設けらｎて
おシ、走査コイル９上に鋸歯状波電流を流すことにより
、細（絞らＩした電子ビーム７によって試料２を所定方
向に繰返し走査することができる。尚、性分１０で示さ
几るのは、電子レンズ８及び走査コイル９を保護するた
めの力具−であり、カバー１０と真空チューブ５との間
の空間は大気圧と等しい状態となっている。
ケース３の内部に設けら２ｔた、窓１１を有する隔壁［
２によって、ケース３内は、室１３と室１４とに区劃さ
Ｔしておシ、室１３が試料室となっている。一方、室１
４内には、分光結晶板１５とＸ線検出器１６とカニ収納
さ牡ておシ、室１３内に配置さ７している試牙１２に電
子ビーム７が照射さ肚ることによシ試料２から放出さｊ
ＬるＸ線１７が、窓１１を介して分光結晶板１５に入射
し、Ｘ線検出器１６に到達する構成となっている。
２によって、ケース３内は、室１３と室１４とに区劃さ
Ｔしておシ、室１３が試料室となっている。一方、室１
４内には、分光結晶板１５とＸ線検出器１６とカニ収納
さ牡ておシ、室１３内に配置さ７している試牙１２に電
子ビーム７が照射さ肚ることによシ試料２から放出さｊ
ＬるＸ線１７が、窓１１を介して分光結晶板１５に入射
し、Ｘ線検出器１６に到達する構成となっている。
ケース３内の試料２の状態を操作者が随時目視すること
ができるように、ケース３の一部には、観察用の窓旬が
形成さ！しており、該窓２０には、透明の鉛ガラス２１
がはめ込−？ｉｎ、ている。
ができるように、ケース３の一部には、観察用の窓旬が
形成さ！しており、該窓２０には、透明の鉛ガラス２１
がはめ込−？ｉｎ、ている。
第２図には、この窓゛めの近傍の様子が拡大して詳細に
示さ扛ている。第２図から１１するように、窓かの内周
には、鉛ガラス２１を受ける内向きフランジ２０ （Ｌ
が突設さｎており、鉛ガラス２１は０リング２２ヲ介し
て内向き１ランジ２ｏｃＬと気密に固着さ牡ている。こ
の鉛ガラス２１の内側にイオン化さ’ＲｆＣ汚染物質が
付着し、鉛ガラス２１ ｋ介しての視界が妨げらχしる
のを防止する几め、鉛ガラス２１の試料４１１１の表面
近傍には、第１メツシュ電極％及び第２メツシユ電極勢
が設けらｒしている。第１及び第２メツシュ電極田、２
−１は、電気的絶縁材料から成る支持部材５によシケー
ス３の内壁面に、相互に電気的絶縁を保って固着さｎて
おシ、第１メツシユ電極るは直流電源２６の負極に接続
芒２’Ｌると共に丁−スさ扛、一方、第２メツシユ電極
斜は、直流電源２６の正極に接続さｎ、所定の正の電位
＆て保たＩＬている。
示さ扛ている。第２図から１１するように、窓かの内周
には、鉛ガラス２１を受ける内向きフランジ２０ （Ｌ
が突設さｎており、鉛ガラス２１は０リング２２ヲ介し
て内向き１ランジ２ｏｃＬと気密に固着さ牡ている。こ
の鉛ガラス２１の内側にイオン化さ’ＲｆＣ汚染物質が
付着し、鉛ガラス２１ ｋ介しての視界が妨げらχしる
のを防止する几め、鉛ガラス２１の試料４１１１の表面
近傍には、第１メツシュ電極％及び第２メツシユ電極勢
が設けらｒしている。第１及び第２メツシュ電極田、２
−１は、電気的絶縁材料から成る支持部材５によシケー
ス３の内壁面に、相互に電気的絶縁を保って固着さｎて
おシ、第１メツシユ電極るは直流電源２６の負極に接続
芒２’Ｌると共に丁−スさ扛、一方、第２メツシユ電極
斜は、直流電源２６の正極に接続さｎ、所定の正の電位
＆て保たＩＬている。
このように、了−スミ位に保たれた第１メツシユ電極２
３と、所定の正の’に位に保た１している第２メツシユ
電極２４とを、鉛ガラス２１の試料佃の表面に設けると
、第２図に示すように、電子ビーム７によりイオン化さ
扛て正に滞電した残留ガスイオン２７が鉛ガラス２１に
向けて走行してきても、第２メツシユ電極Ｚ１に与えら
ｎている正の電位によりはねかえさｎ％第１メツシュ電
極乙によシ捕促さｎる。このように電気的に正の電極を
有するものは第１及び第２メツシユ電極の働きＫより嫌
とんど捕促さｎてし寸い、鉛ガラス２１の表面には殆Ａ
。
３と、所定の正の’に位に保た１している第２メツシユ
電極２４とを、鉛ガラス２１の試料佃の表面に設けると
、第２図に示すように、電子ビーム７によりイオン化さ
扛て正に滞電した残留ガスイオン２７が鉛ガラス２１に
向けて走行してきても、第２メツシユ電極Ｚ１に与えら
ｎている正の電位によりはねかえさｎ％第１メツシュ電
極乙によシ捕促さｎる。このように電気的に正の電極を
有するものは第１及び第２メツシユ電極の働きＫより嫌
とんど捕促さｎてし寸い、鉛ガラス２１の表面には殆Ａ
。
ど付着することがない。従って鉛ガラス２１の表面には
殆んど付着することがない。従って、鉛ガラス２１の表
面には、電気的に中性のもの、例えば試料の蒸気、等が
付着するだけでラシ、鉛ガラス２１への汚ｎの刺着は従
来に比べて著しく改善さｎる。そして、各電極乙、２４
はメツシュであるから、鉛ガラス２１ヲ介しての視界を
妨げることはない。
殆んど付着することがない。従って、鉛ガラス２１の表
面には、電気的に中性のもの、例えば試料の蒸気、等が
付着するだけでラシ、鉛ガラス２１への汚ｎの刺着は従
来に比べて著しく改善さｎる。そして、各電極乙、２４
はメツシュであるから、鉛ガラス２１ヲ介しての視界を
妨げることはない。
本発明によｎば、上述の如く、窓のクリーニングの所要
回数も少なくて済み、保守が容易になるのは勿論のこと
、試料の観察を常時良好に行なうことができる。
回数も少なくて済み、保守が容易になるのは勿論のこと
、試料の観察を常時良好に行なうことができる。
第１図は本発明によるＸ線分析装置の一実施例を示す断
面図、第２図は第１図に示した装置の要部を拡大して詳
細に示す拡大詳細断面図である。 １゜。Ｘｉ！！ｉ！分析装置、２．。試料、３゜。ケー
ス、７．。電子ビーム、肋。、窓、２１゜。鉛ガラス、
２３゜。第１メツシユ電極、２４゜、第２メツシユ１ａ
極、２６゜。直流電源。 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務
面図、第２図は第１図に示した装置の要部を拡大して詳
細に示す拡大詳細断面図である。 １゜。Ｘｉ！！ｉ！分析装置、２．。試料、３゜。ケー
ス、７．。電子ビーム、肋。、窓、２１゜。鉛ガラス、
２３゜。第１メツシユ電極、２４゜、第２メツシユ１ａ
極、２６゜。直流電源。 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務
Claims (1)
- １、電子ビームを試料に照射することによシ該試料から
放出されるＸ線を検出し、該試料の分析を行なうための
装置であって、本体ケースに前記試料を観察するための
鉛ガラスが装着さｎているＸ線分析装置において、前記
鉛ガラスの前記試料側ｎｔ＋面に、了−スミ位に保た２
した第１メツシユ電極と、所要の正電位に保たγした第
２メツシユ電極と１配＋ｆｉ したことを特徴とするＸ
線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58170656A JPS6062047A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58170656A JPS6062047A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | Ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6062047A true JPS6062047A (ja) | 1985-04-10 |
Family
ID=15908924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58170656A Pending JPS6062047A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6062047A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01276553A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Teru Barian Kk | イオン注入装置 |
| JP2009025262A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Rigaku Industrial Co | Ｘ線分析装置 |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP58170656A patent/JPS6062047A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01276553A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Teru Barian Kk | イオン注入装置 |
| JP2009025262A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Rigaku Industrial Co | Ｘ線分析装置 |
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