JPS6062444A - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
- Publication number
- JPS6062444A JPS6062444A JP59081773A JP8177384A JPS6062444A JP S6062444 A JPS6062444 A JP S6062444A JP 59081773 A JP59081773 A JP 59081773A JP 8177384 A JP8177384 A JP 8177384A JP S6062444 A JPS6062444 A JP S6062444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- dicing
- cutting
- motor
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
- B23Q17/0952—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining
- B23Q17/0957—Detection of tool breakage
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
- B23Q17/248—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は切削刃の破損等を自動的に検出できるダイシン
グ装置に関する。
グ装置に関する。
この種のモニタ機構としては、特開昭５１−１２９９８
４に、回転ブレードとテーブルの接触による振動音の変
化により、ブレードの高さを検出するダイシング装置が
示されている。
４に、回転ブレードとテーブルの接触による振動音の変
化により、ブレードの高さを検出するダイシング装置が
示されている。
半導体工業κおいては、半導体ウェハを個々のチップに
切断するいわゆるダイシング作業は欠がせないものであ
る。かかるダイシングは、第１図に示すように、ＸＹ方
向に移動″ｆ′ろテーブル上に半導体ウェハ２を載置す
るとともに、この移動テーブル内に設けられた複数の吸
着孔９がらの真空引きを利用して半導体ウェハ２を真空
吸着固定した後、この半導体ウェハ２に回転する切削刃
（ブレード）を接触させて一定ピノナで平行に切込み溝
ができるようにしている。
切断するいわゆるダイシング作業は欠がせないものであ
る。かかるダイシングは、第１図に示すように、ＸＹ方
向に移動″ｆ′ろテーブル上に半導体ウェハ２を載置す
るとともに、この移動テーブル内に設けられた複数の吸
着孔９がらの真空引きを利用して半導体ウェハ２を真空
吸着固定した後、この半導体ウェハ２に回転する切削刃
（ブレード）を接触させて一定ピノナで平行に切込み溝
ができるようにしている。
ところで、かかるダイシング作業に使用されるブレード
は、寿命により、または半導体ウェハ面のキズにより、
あるいは前記ウェハ固定用の真空引きの力か弱《ウェハ
が動《こと等に起因して破損する場合が多い。そして、
り剛力の破損の結果円滑なダイシングが行えないという
問題が生ずる。
は、寿命により、または半導体ウェハ面のキズにより、
あるいは前記ウェハ固定用の真空引きの力か弱《ウェハ
が動《こと等に起因して破損する場合が多い。そして、
り剛力の破損の結果円滑なダイシングが行えないという
問題が生ずる。
このようにブレードが破損して切削不能となった場合等
には半導体ウェハ上の切り屑や、切削ライン等が無《な
るため、従来は、作業者が目視により図中破線で示す方
向から切削状態を観察することによりかかるブレードの
破損を検出していた。 ″しかじ、現在作業の合理化の
要請の下でダイシング作業の完全自動化（無人化）が提
案されており、かかる完全自動化の下では、作業者の目
視によってブレードの破損を検出する従来の方法は全く
採用できない。
には半導体ウェハ上の切り屑や、切削ライン等が無《な
るため、従来は、作業者が目視により図中破線で示す方
向から切削状態を観察することによりかかるブレードの
破損を検出していた。 ″しかじ、現在作業の合理化の
要請の下でダイシング作業の完全自動化（無人化）が提
案されており、かかる完全自動化の下では、作業者の目
視によってブレードの破損を検出する従来の方法は全く
採用できない。
したがって本発明の目的とするところは、自動的にブレ
ードの破損等を検出することができる装置を提供するこ
とにあり、他の目的はダイシング作業の自動化に適した
切削装置を提供することにある。
ードの破損等を検出することができる装置を提供するこ
とにあり、他の目的はダイシング作業の自動化に適した
切削装置を提供することにある。
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
第２図は本発明に係る切削装置の一例な示す説明図であ
る。
る。
図中３は円板状の回転ブレードであり、４はこのブレー
ド３を両側から挾むようにした保持板である。０の保持
板４及びブレード３はその中心部で、モータ５の回転軸
に固定されている。したがって、モータ５の回転により
ブレード３が回転部ドの周辺に元を照射する機構であり
、例えばレーザ光線８を前記ブレード３０面に対して斜
め上方からほぼ４５度の角度で投射するようになってい
る。７は受光器であり、前記ブレード３におけるレーザ
元が当る部分の斜め下方に配設され、前記レーザ光線８
がブレード面に当って返って（るほぼ４５度の角度の反
射光を受け、この反射光を電気信号に変換して出力する
ようにな−ている。この出力電気信号は、例えばブレー
ド３０回転機構たるモータ５の駆動回路に印加されるよ
うになっている。そして、この検出電気信号が出力され
ている場合は駆動回路は正常に動作し、検出電気信号が
出力されない場合には駆動回路の動作を停止させるよう
になっている。
ド３を両側から挾むようにした保持板である。０の保持
板４及びブレード３はその中心部で、モータ５の回転軸
に固定されている。したがって、モータ５の回転により
ブレード３が回転部ドの周辺に元を照射する機構であり
、例えばレーザ光線８を前記ブレード３０面に対して斜
め上方からほぼ４５度の角度で投射するようになってい
る。７は受光器であり、前記ブレード３におけるレーザ
元が当る部分の斜め下方に配設され、前記レーザ光線８
がブレード面に当って返って（るほぼ４５度の角度の反
射光を受け、この反射光を電気信号に変換して出力する
ようにな−ている。この出力電気信号は、例えばブレー
ド３０回転機構たるモータ５の駆動回路に印加されるよ
うになっている。そして、この検出電気信号が出力され
ている場合は駆動回路は正常に動作し、検出電気信号が
出力されない場合には駆動回路の動作を停止させるよう
になっている。
かかる装置は次のようにして使用される。
先ず、正常の切削状態１−なわち、ブレードが定常状態
を保っているときには、投光器６から投射されたレーザ
光線８はブレード面に当たり、その面に対して４５度の
角度で反射される。その反射光（第２図における破線）
Ａが受光器７で検出され、所定の電気信号を出力する。
を保っているときには、投光器６から投射されたレーザ
光線８はブレード面に当たり、その面に対して４５度の
角度で反射される。その反射光（第２図における破線）
Ａが受光器７で検出され、所定の電気信号を出力する。
このときはモータ５の駆動回路は正常に動作し、切削作
業が続けられる。
業が続けられる。
次にブレード３が何らかの衝撃により屈曲した状態（第
２図におけるＸ部分のように）となれば、投光器６から
のレーザ光線８は、Ｂ又はＣの矢印の如（反射する。こ
の反射ブＣは受光器７には達しないから受光器７からは
電気信号が生じない。このため前記したように、モータ
５の駆動回路の動作が停止となり、モータの回転が停止
せしめられる。これによりブレードの曲りを知ることが
できる。なお、モータ停止と同時に警報を発′−４−る
ようにしておけば、その検出はより迅速になされる０ま
た、第３図に示すようにブレード３の一部が。
２図におけるＸ部分のように）となれば、投光器６から
のレーザ光線８は、Ｂ又はＣの矢印の如（反射する。こ
の反射ブＣは受光器７には達しないから受光器７からは
電気信号が生じない。このため前記したように、モータ
５の駆動回路の動作が停止となり、モータの回転が停止
せしめられる。これによりブレードの曲りを知ることが
できる。なお、モータ停止と同時に警報を発′−４−る
ようにしておけば、その検出はより迅速になされる０ま
た、第３図に示すようにブレード３の一部が。
破損（図中Ｙで示す状態）していた場合にあっては、投
光器６からのレーザ光線８はブレード面に当ｔこらずに
矢印Ｂのように直進してしまう。このため、受光器７に
は反射光が入射せず、しｔこかって電気信号は出力され
ない。かかる場合にもモータの停止又は警報の発生によ
りブレードの破損を直ちに知ることができる。
光器６からのレーザ光線８はブレード面に当ｔこらずに
矢印Ｂのように直進してしまう。このため、受光器７に
は反射光が入射せず、しｔこかって電気信号は出力され
ない。かかる場合にもモータの停止又は警報の発生によ
りブレードの破損を直ちに知ることができる。
以上説明したように本発明の一実施例は反射光の角度を
検出し、それを電気的に処理することによりブレードの
破損等を検査することができる。
検出し、それを電気的に処理することによりブレードの
破損等を検査することができる。
したがって、作業者を要せずして自動的にブレードの状
態を検査することができる。また、自動検出が可能でｔ
）るからダイシング作業の完全自動化に適したものとな
る。さらに、切削不良の発生を未然に防止できるからダ
イシング作業の能率を向上させることができる。
態を検査することができる。また、自動検出が可能でｔ
）るからダイシング作業の完全自動化に適したものとな
る。さらに、切削不良の発生を未然に防止できるからダ
イシング作業の能率を向上させることができる。
本発明は前記実施例に限定されない。例えば前記実施例
ではレーザ光線を利用したがこれに限らず、他の光線を
利用してもよい。ｆこだ、ダイシング作業中にはブレー
ドに洗浄水がかかるため元の散乱が起り易いから、かか
る散乱を生じさせることのない直進性の良い光線を用い
る必要がある。
ではレーザ光線を利用したがこれに限らず、他の光線を
利用してもよい。ｆこだ、ダイシング作業中にはブレー
ドに洗浄水がかかるため元の散乱が起り易いから、かか
る散乱を生じさせることのない直進性の良い光線を用い
る必要がある。
また、検出電気信号は必ずしもブレードの回転停止用の
信号として用いる必要はなく、例えばＸＹテーブルの上
下動用の駆動機構に入力するようにしてブレード破損時
にウェハとブレードを離間させるようにしてもよいし、
また、単純に警報装置に入力するだけとしてもよい。
信号として用いる必要はなく、例えばＸＹテーブルの上
下動用の駆動機構に入力するようにしてブレード破損時
にウェハとブレードを離間させるようにしてもよいし、
また、単純に警報装置に入力するだけとしてもよい。
本発明は全ての切削装置に広（利用できる。
第１図はダイシング作業を説明するための断面図、第２
図は本発明に係るダイシング装置の一例を説明するため
の説明図、第３図は、本発明に係る切削装置の一例を説
明するための説明図である。 １・・・テーブル、２・・・半導体ウェハ、３・・・ブ
レード、４・・・保持板、５・・・モータ、６・・・投
ブ０器、７・・・受光器、８・・・レーザう“Ｃ線、９
・・・吸着孔。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ １′Ａ
図は本発明に係るダイシング装置の一例を説明するため
の説明図、第３図は、本発明に係る切削装置の一例を説
明するための説明図である。 １・・・テーブル、２・・・半導体ウェハ、３・・・ブ
レード、４・・・保持板、５・・・モータ、６・・・投
ブ０器、７・・・受光器、８・・・レーザう“Ｃ線、９
・・・吸着孔。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ １′Ａ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（ａｌ 被切削物を載置すべき載置台と（ｂｌ 上
記被切削物を切削するための回転ブレビと （ｃｌ 上記回転ブレードの状態を検ｆｆ１ｊる機構と よりなるダイシング装置。 ２、上記ブレードの状態を検出する機構は、上記回転ブ
レードの周辺部に元を照射する機構とブレードの状態変
化による上記光の変化を検出するための受光機構よりな
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のダイ
シング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59081773A JPS6062444A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59081773A JPS6062444A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | ダイシング装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1648778A Division JPS54109682A (en) | 1978-02-17 | 1978-02-17 | Method of cutting blade inspection |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6062444A true JPS6062444A (ja) | 1985-04-10 |
Family
ID=13755791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59081773A Pending JPS6062444A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6062444A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0428939U (ja) * | 1990-06-25 | 1992-03-09 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115875A (ja) * | 1974-07-31 | 1976-02-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | Kogumamoryosokuteihoho oyobi sochi |
-
1984
- 1984-04-25 JP JP59081773A patent/JPS6062444A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115875A (ja) * | 1974-07-31 | 1976-02-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | Kogumamoryosokuteihoho oyobi sochi |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0428939U (ja) * | 1990-06-25 | 1992-03-09 |
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