JPS6062461A - 表面の処理方法 - Google Patents

表面の処理方法

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Publication number
JPS6062461A
JPS6062461A JP59159430A JP15943084A JPS6062461A JP S6062461 A JPS6062461 A JP S6062461A JP 59159430 A JP59159430 A JP 59159430A JP 15943084 A JP15943084 A JP 15943084A JP S6062461 A JPS6062461 A JP S6062461A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
present
treated
modified
properties
roller
Prior art date
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Pending
Application number
JP59159430A
Other languages
English (en)
Inventor
ジエームズ・エコノミー
アナグノステイス・エフスタシオス・ザカリアデス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JPS6062461A publication Critical patent/JPS6062461A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B39/00—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor
    • B24B39/06—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor designed for working plane surfaces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は物品を処理してその表面の性質を修正する方法
に関する。本発明は塑性変形ｉｉｆ能な表面を有する材
料の基板もしくは処理条件を適切に選択する事によって
可塑的に変形可能な基板もしくは表面に適用される。
［従来技術］ 表面の性質を修正する方法は沢山あり、例えばカレンダ
リング及びバーニッシュ仕上げが含まれる。カレンダリ
ングは主に形状処理であり、通常−乃至それ以上の圧力
ローラを使用して、そイレらの間に処理さるべき４４７
１を通過さぜるＪＪｔによって、材料の厚さの減少、長
さを長くする事及び幅を広げる事が行われている。
バーニッシュ仕」二げは１ミに研ｌｒに使用され、処理
される材料と、バーニッシュ索子間に物理的接触がなさ
れて、材料の表面に主に接する方向の検摩力が加えられ
、かなり高いすり力の結果として材料の表面上に比較的
過激な力を与えるものである。
材料を除去する事、ＪＩｊｒさ、長さ、直経もしくは表
面の平坦性どいった他の物理的性質に変化を生ずる事な
く、又月料を硬化さＷる事なく材料の表面の性質を修正
したい応用分野が沢山ある。例えば磁気ディスクを製造
する場合には、ＡＱＭＶ、合金の様な金属性の基板材料
を使用して、その上に磁気記録層が付着されている。基
板を望み通りの表面に仕上げるためには、成る型の比較
的高価な切削加工、例えば旋盤上のダイヤモンド回転削
り、もしくは研削動作が必要とされ、続いてつや出しが
行われている。
同様に半導体分野では、セラミック基板上の絶縁体とし
て重合体被覆が使用され、下の表面と形状が一致する様
にされている場合がある。他方任意の形状の表面上に平
坦な被膜を形成する事が必要とされる場合があり、半導
体装置上に多レベルの金属線が形成されている。これに
は、容易に流動し平らな薄膜となる別の重合体処理の使
用を必　“要とする。この様な処理の合成には研究所で
さまざまの高価な実験が行ねオしなくてはならない。
［発明が解決しようとする問題点］ 前記のように、従来の表面平坦化処理方法は、相当に過
激な力を物体表面に加え、過大な変形を生じたり或は表
面を削り、破片を生じたりして、満足されない点があっ
た。これらの欠点を除くことが本発明の目的である。
［問題点を解決するだめの手段］ ′本発明に従えば硬質の超微細に仕上げられた表面を有
する一刻のローラが使用される。処理さオしる材料の硬
さはローラの表面の硬さ以下で、ローラによって加えら
］しる力は処理表面の弾性の限界を越えるが、降伏圧力
以下に選択さＡしる。
［作用］ ローラの表面が極めてン１フらかで硬く、処理材料の表
面の弾性の限界を越える変形力が加えら汎るので、材料
のバルクの性質を変化させる事なく表面の塑性変形が生
じて極めて滑らかな表面が得られる。
［実施例］ 本発明では、表面の変形ＩＪ極めて滑らかな硬い表面を
有する圧力ローラの作用にＪ：って行われる。
これ等のローラの表面が変形さるべき表面を支えている
。この結果、処理される部材の表面の仕上りはローラの
表面の仕上りと同じになる。好ましい実施例においては
、ローラ部材は硬化された工具鋼、炭化ケイ素ししくは
酸化アルミニウムの如き適切な材料の、一対の回転する
円錐状ローラより成り、その間に置かれる処理部材の硬
さよりも硬い超平坦な表面を有する。円錐状ローラの回
転によってローラ間の処理部材の回転はローラと同じ角
速度となる。この構造はディスク基板の如き円対称性の
材料と共に使用されるに適している。
ローラによって加えられる圧力はバルク基板の降伏圧力
以下であるが処理されにうとしている比較的粗い微細な
表面の弾性の限界は十分越えている。この様にして処理
表面は非可逆的に変形される。本発明の他の重要な態様
として、数ミクロン好ましくは１ミクロン以下程度の比
較的浅い処理表面の深さ部分だけが影響を受４−Ｊ、処
理部材の残りのバルクの性質及び寸法に変化は存在しな
い。
本発明は上述の如く、金属、重合体、セラミツクス及び
複合材料を含む広範囲の材料の表面の性質を変えるのに
使用される。複合１４石には酸合材料もしくは層構造体
である材料を含む。その例はＡＱ金合金ＳｉＣのひげで
強化さＡしたＡｆｌ、ファイバ強化もしくはファイバ充
填処理もしくはケイ素もしくはセラミック基板」二の破
膜爪合体基股である。予期しない事であったが、エポキ
シ樹脂の如き交差結合重合体は表面で可塑性変形を示す
様に調製する事が出来、交差結合されない部分的に交差
結合された樹脂の表面は中庸の条件の下で変形する事が
発見さＡした。本発明の重要な態様は高温度を使用して
成る時間及び倚重内で最適な表面の滑らかさが達成さ］
しる点にある。
未処理の、ＳｉＣボイス力で強化されたＡＱ基板と本発
明に従って処理された同一強化基板のＳＥＭ（走査電子
ケンビ鏡）写真を比較すると、本発明の方法によって、
処理部材のバルクの物理的性質を変える事なく、表面の
きすが激減し予想以上に滑らかに改良されていることが
わかった。本発明の方法に従って、−に記材石の表面に
は室温で７３分間９０．７２ｋｇの荷重力が加えらｔシ
、処理が進むにつれて表面の１１°１らかさの変化が観
測さｈた。
別個の材ネ・Ｉの自記あらさｉｉｌ　１ｌｌｌ＋定デー
タを読取る事によって本発明の方法の有効性が示さＡし
、事実、処理表面の表面の滑らかさがローラとして使用
された硬質材料の表面の滑らかさに近ずく事が観察する
。
上述の如く本発明はダイアモンド回転削りもしくは研削
に代ってＡＱＭｇ磁気ディスク基板の表面の性質を変え
るのにも使用出来る。通常のダイアモンド回転削りを行
った後のへ〇Ｍｇ基板の表面と本発明に従って処理され
たＡＱＭｇ基板の表面のＳＥＭ写真を比較した結果、本
発明の方法によって表面のきす、しわ、凸凹が減少し、
処理後の表面の性質には予想以」−の改良が観察された
。
［発明の効果コ 本発明の方法は多くの材料の表面の性質を修正するのに
使用出来る。本発明の方法は簡単であり、低い荷重で被
片を生ずる事なく超微細に仕上げられた表面を与える。
本発明は簡単な現在使用されているダイアモンド回転削
り、研削及びつや出しに置換出来る表面仕上げ方法を与
える。
本発明に従えば表面の変形たりて、処理表面から素材を
除去する１１（なく、又処理表面を著しく加工する事な
く９表面が超微細に仕」二げられる。
Ｌ：ａｌｙｓｔｅｐ　ｔｌｌ’ｌｌｌ上よるｔ備的試験
による表面の平坦度は２乃至４ミクロンに近い。
本発明に従えばダイアモンド回転削り及び研削に固有の
一時に一面でなく、２つの表面が同時しこ処理される表
面仕」二げ方Ｖ、が与えられる。
本発明しこ従えば、素１）Ｊの除去に関連する破片番よ
しばしば表面に固く伺着されるので素材の除去に関連す
る問題が除去される。
本発明に従えば、他の表面処理方法よりも低Ｖ）荷重で
十分であるので、バルク変形及び／もしく目表面加工に
関する問題が最小にさＡしる。
出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・
コーポレーション 代理人　弁理士　Ｉｌｌ　本　仁　朗 （夕１１　名）

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 極微細に仕上げらｈた、修正されるべき材料の表面の硬
    さを越える硬さの表面を有する一対のローラ間に上記表
    面が修正さるべき材ね仕置き、上記ローラによって上記
    修正さるべき弾性の限界を越える変形力を上記修正さる
    べき表面に加えて、上記材料のバルク部分の性質を変え
    る事なく。 上記修正さるべき表面の下の浅い深さ部分のみに塑性変
    形を与える事を特徴とする材料の表面の処理方法。
JP59159430A 1983-08-31 1984-07-31 表面の処理方法 Pending JPS6062461A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/528,351 US4520647A (en) 1983-08-31 1983-08-31 Surface finishing process
US528351 1983-08-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6062461A true JPS6062461A (ja) 1985-04-10

Family

ID=24105327

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59159430A Pending JPS6062461A (ja) 1983-08-31 1984-07-31 表面の処理方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4520647A (ja)
EP (1) EP0137684B1 (ja)
JP (1) JPS6062461A (ja)
DE (1) DE3481824D1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
EP0137684A2 (en) 1985-04-17
US4520647A (en) 1985-06-04
EP0137684A3 (en) 1986-12-17
EP0137684B1 (en) 1990-04-04
DE3481824D1 (de) 1990-05-10

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