JPS6064561U - 放電トリガ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は放電トリガーが使用されるスパッタニー　　　
　ツチング装置の構成例を示す、第２図は放電・トリガ
ーとして使われそいる従来の補助電極の断面　　−′図
、第３図は来者案番５よる放電トリガーの断面図。図に
おいて１０は真空容器、２０−は主電極、３０は補助電
極をもも放電トリガー、３１！ま絶縁碍子、３２は棒状
高圧電極、３３は永久磁石、３゜４は高圧安全保護カバ
ー、３５は高圧電源、３２　　　　　。 、１は棒状電極の中心軸、３３１は磁力線、３５１は高
圧電源と棒状電極の間の電気配線、１２１は一ガス導入
管、１２０は放電トリガー卒、１３０はその出口を示す
。 補正　昭５東５．２４　　　〜−　　　　　−−実用新
案登録請求の範囲−次のように補正す−擾。　　　　　
　　　−１、−− Ｏ実用新案登録請求の節回　　　　　１−−・　スパッ
タリング讐の他の真空容器の主電極近傍−−に組込まれ
ｆ、外部のイブ三ツションコイルその、　　　　他の高
圧電線に連名棒状電極と、該真空容器内へガスを導入す
るためのガス導入管と該真空容器内の放電空間との間に
該棒状電極を内蔵して設けら−れた放電トリガー室と　
’ｃ（ｔＬＬｔ＝ことを特徴とす−るＭ）−リガー。　
−パ−−４，− 図面の簡単な説明彎次のように補正する−　　　　−■
−−明細書第６ページの２行目の−ｒ　３２−１は・・
・・・・」−から４行目のｒ＊ｅ＊ａ＊ａ電気配線、」
までを削除す、　−−る。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. スパッタリングその他の真空容器の主電極近傍に組込ま
   れた、外部のイグニッションコイルその、他の高圧電源
   に連る棒状電極と、該真空容器内へガ支を導入するため
   のガス導入管と該真空容器内の放電空間との間に該棒状
   電極を内蔵して設けら′　　　れた放電トリガー室と、
   から成ることを特徴とする放電トリガー。