JPS6065653U - ガス配管系 - Google Patents
ガス配管系Info
- Publication number
- JPS6065653U JPS6065653U JP15786583U JP15786583U JPS6065653U JP S6065653 U JPS6065653 U JP S6065653U JP 15786583 U JP15786583 U JP 15786583U JP 15786583 U JP15786583 U JP 15786583U JP S6065653 U JPS6065653 U JP S6065653U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piping system
- gas piping
- piping
- filter
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の配管系の一例を示す系統図、第２図は第
１図の配管系に本考案を実施した一例を示す系統図であ
る。 １はタンク、２，３．４は管、５はフィルタ、６は弁、
７，８は圧力計、７１．８１は導管、７２．８２は弁、
８３はフィルタ、９はパーティクル計、１０は半導体素
子製造装置である。
１図の配管系に本考案を実施した一例を示す系統図であ
る。 １はタンク、２，３．４は管、５はフィルタ、６は弁、
７，８は圧力計、７１．８１は導管、７２．８２は弁、
８３はフィルタ、９はパーティクル計、１０は半導体素
子製造装置である。
Claims (1)
- 配管の途中にフィルタを設けて末端使用部にパーティク
ルの少ないガスを供給するように構成した配管系におい
て、前記フィルタの二次側以降の配管に連接される圧力
計、流量計等の計器をフィルタを介して連接するように
構成したことを特徴とするガス配管系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15786583U JPS6065653U (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | ガス配管系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15786583U JPS6065653U (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | ガス配管系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6065653U true JPS6065653U (ja) | 1985-05-09 |
Family
ID=30347930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15786583U Pending JPS6065653U (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | ガス配管系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6065653U (ja) |
-
1983
- 1983-10-12 JP JP15786583U patent/JPS6065653U/ja active Pending
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