JPS6068410U - 反り量測定装置 - Google Patents

反り量測定装置

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Publication number
JPS6068410U
JPS6068410U JP16057383U JP16057383U JPS6068410U JP S6068410 U JPS6068410 U JP S6068410U JP 16057383 U JP16057383 U JP 16057383U JP 16057383 U JP16057383 U JP 16057383U JP S6068410 U JPS6068410 U JP S6068410U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacement
wafer
measurement table
measuring device
back surfaces
Prior art date
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Pending
Application number
JP16057383U
Other languages
English (en)
Inventor
堀家　正祺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP16057383U priority Critical patent/JPS6068410U/ja
Publication of JPS6068410U publication Critical patent/JPS6068410U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェーハの反り量測定方法の説明図、第２図は
本考案の一実施例の反り量測定装置の全体構成図、第３
図は第２図のウェーハ反転機構の、側面図である。 ３：測定台、４：ウェーハ、６：ウェーハローダ（振出
人機構）、１０：変位検出器、１３：変位接触子、１４
：演算制御部、１５：ウェーハ反転機構。 ″・、

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェーハを少なくとも３個所で点接触支持する測定台と
    、この測定台にウェーハを搬出入する振出人機構と、上
    記測定台により支持されているウェーハを把持して反転
    させるウェーハ反転機構と、変位接触子を有しこの変位
    接触子を上記測定台により支持されている″ウェーハの
    表裏面に当接させてこれら表裏面の基準位置からの変位
    を検出する変位検出器と、この変位検出器から出力され
    た変位検出信号に基づいて反り量を算出する演算制御部
    とを具備することを特徴とする反り量測定装置。
JP16057383U 1983-10-19 1983-10-19 反り量測定装置 Pending JPS6068410U (ja)

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JP16057383U JPS6068410U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 反り量測定装置

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JP16057383U JPS6068410U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 反り量測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6068410U true JPS6068410U (ja) 1985-05-15

Family

ID=30353137

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16057383U Pending JPS6068410U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 反り量測定装置

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JP (1) JPS6068410U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008116354A (ja) * 2006-11-06 2008-05-22 Nec Electronics Corp 反り測定システム、成膜システム、及び反り測定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008116354A (ja) * 2006-11-06 2008-05-22 Nec Electronics Corp 反り測定システム、成膜システム、及び反り測定方法

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