JPS6068636U - レテイクルマスク - Google Patents
レテイクルマスクInfo
- Publication number
- JPS6068636U JPS6068636U JP1983160676U JP16067683U JPS6068636U JP S6068636 U JPS6068636 U JP S6068636U JP 1983160676 U JP1983160676 U JP 1983160676U JP 16067683 U JP16067683 U JP 16067683U JP S6068636 U JPS6068636 U JP S6068636U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle mask
- reticle
- axis
- pattern
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案レディクルマスクの一実施例を示す平面図で
ある。 １・・・・・・レティクルマスク、２・・川・レティク
ルパターン、３・・・・・・欠陥、４・・・・・・欠陥
確認パターン。
ある。 １・・・・・・レティクルマスク、２・・川・レティク
ルパターン、３・・・・・・欠陥、４・・・・・・欠陥
確認パターン。
Claims (1)
- レティクルパターン以外の部分にＸ軸、Ｙ軸に平行に欠
陥確認パターンを設けたことを特徴とするレティクルマ
スク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983160676U JPS6068636U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | レテイクルマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983160676U JPS6068636U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | レテイクルマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068636U true JPS6068636U (ja) | 1985-05-15 |
Family
ID=30353337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983160676U Pending JPS6068636U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | レテイクルマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068636U (ja) |
-
1983
- 1983-10-19 JP JP1983160676U patent/JPS6068636U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6112262U (ja) | プリント配線板用セラミツク基板 | |
| JPS58419U (ja) | レチクル | |
| JPS6076060U (ja) | 印刷配線板の搭載部品識別構造 | |
| JPS58185850U (ja) | ホトマスク | |
| JPS59155734U (ja) | 位置合わせマ−ク | |
| JPS59182974U (ja) | プリント基板 | |
| JPS58187327U (ja) | ケ−ス | |
| JPS60159436U (ja) | 半導体装置製造用ガラスマスク | |
| JPS6038796U (ja) | 平行線定規 | |
| JPS59109348U (ja) | マスクホルダ− | |
| JPS5897161U (ja) | マスク保持用治具 | |
| JPS60189044U (ja) | ホトマスク | |
| JPS6083617U (ja) | パツプ剤 | |
| JPS59174265U (ja) | 画用紙 | |
| JPS5989352U (ja) | 縮小投影露光用フォトマスク | |
| JPS59145071U (ja) | Ｉｃ用ランド | |
| JPS5823330U (ja) | フオトマスク | |
| JPS60179493U (ja) | 透写台用図板 | |
| JPS5961547U (ja) | 厚膜回路基板 | |
| JPS59135662U (ja) | 配線パタ−ン構造 | |
| JPS6020285U (ja) | ジグソ−パズル | |
| JPS58119976U (ja) | 溶接用防護幕 | |
| JPS58150858U (ja) | 印刷配線基板 | |
| JPS59169071U (ja) | プリント基板 | |
| JPS6029650U (ja) | メタルスクリ−ン |