JPS6069530A - クリ−ンル−ムの室内環境計測装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムの室内環境計測装置Info
- Publication number
- JPS6069530A JPS6069530A JP17754783A JP17754783A JPS6069530A JP S6069530 A JPS6069530 A JP S6069530A JP 17754783 A JP17754783 A JP 17754783A JP 17754783 A JP17754783 A JP 17754783A JP S6069530 A JPS6069530 A JP S6069530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- measuring instrument
- indoor environment
- trolley
- air intake
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/26—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with provision for intake from several spaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、クリーンルームの室内環境計測装置に関し
、特に、室内環境計測器とこれに連続する空気取り入れ
口とを備えた台車を、クリーンルーム内で走行させて、
クリーンルーム内に人が入ることなく、塵埃濃度を低い
値に保ちつつ、室内環境を計測する装置に関する。
、特に、室内環境計測器とこれに連続する空気取り入れ
口とを備えた台車を、クリーンルーム内で走行させて、
クリーンルーム内に人が入ることなく、塵埃濃度を低い
値に保ちつつ、室内環境を計測する装置に関する。
従来のクリーンルーム内での塵埃計測は、測定者がクリ
ーンルーム内に入り込んで計測器を操作し、且つ測定点
の移動をして計測する手段が採られている。
ーンルーム内に入り込んで計測器を操作し、且つ測定点
の移動をして計測する手段が採られている。
ところで、クリーンルームは塵埃を一般の室に比較して
非常に低い値に制御する必要があるため、室内の塵埃発
生の原因となる要素は排除しなければならない。従って
、前記従来のように、室内に人が入り込むということは
、人から発生する塵埃が歩行時で毎分１００万個という
データからみても、クリーンルーム内の清浄度を低下さ
せる原因になるから好ましくない。
非常に低い値に制御する必要があるため、室内の塵埃発
生の原因となる要素は排除しなければならない。従って
、前記従来のように、室内に人が入り込むということは
、人から発生する塵埃が歩行時で毎分１００万個という
データからみても、クリーンルーム内の清浄度を低下さ
せる原因になるから好ましくない。
また、従来は、クリーンルーム内の各計測点に設けた空
気取り入れ口と、中央監視室等に設置した計測器とをサ
ンプリング管で連結することにより、クリーンルーム内
に人が入ることなく塵埃の計測をする手段が採られるこ
ともある。しかしながら、この手段は、サンプリング管
が長くなることが余儀なくされ、管の内周に塵埃が付着
、堆積したり、またこの塵埃が再飛散して計測器に導入
されて、計測精度に誤差を生じる不具合がある。
気取り入れ口と、中央監視室等に設置した計測器とをサ
ンプリング管で連結することにより、クリーンルーム内
に人が入ることなく塵埃の計測をする手段が採られるこ
ともある。しかしながら、この手段は、サンプリング管
が長くなることが余儀なくされ、管の内周に塵埃が付着
、堆積したり、またこの塵埃が再飛散して計測器に導入
されて、計測精度に誤差を生じる不具合がある。
そこで、この発明は、このような従来の不具合を解決す
るためになされたものであり、その目的は、人がクリー
ンルーム内に入る必要なくしてその室内環境を計測する
ことにあり、またその目的は、クリーンルーム内のサン
プリング管を可及的に短くしてこれに塵埃が付着するこ
とを防止することにある。
るためになされたものであり、その目的は、人がクリー
ンルーム内に入る必要なくしてその室内環境を計測する
ことにあり、またその目的は、クリーンルーム内のサン
プリング管を可及的に短くしてこれに塵埃が付着するこ
とを防止することにある。
かかる目的をもつこの出願に係る２つの発明の構成を、
図示実施例の記号を付加して説明すると、これら発明は
、クリーンルーム内で、予め設定された経路を自動走行
するか又は遠隔操作により走行する台車１と、台車ｌに
搭載された室内環境計測器２と、室内環境計測器２に連
続され且つ台車１の車体３外に臨む空気取り入れ口４と
、を備えたことを特徴とするクリーンルームの室内環境
計測装置を特定発明とするとともに、クリーンルーム内
で、予め設定された経路を自動走行するか又は遠隔操作
により走行する台車１と、台車１に搭載された室内環境
計測器２と、室内環境計測器２に連続され且つ台車１の
車体３外に臨む空気取り入れ口４と、台車１夕「への塵
埃の飛散を防止する防塵機構と、を備えたことを特徴と
するクリーンの室内環境計測装置を併合発明とする。
図示実施例の記号を付加して説明すると、これら発明は
、クリーンルーム内で、予め設定された経路を自動走行
するか又は遠隔操作により走行する台車１と、台車ｌに
搭載された室内環境計測器２と、室内環境計測器２に連
続され且つ台車１の車体３外に臨む空気取り入れ口４と
、を備えたことを特徴とするクリーンルームの室内環境
計測装置を特定発明とするとともに、クリーンルーム内
で、予め設定された経路を自動走行するか又は遠隔操作
により走行する台車１と、台車１に搭載された室内環境
計測器２と、室内環境計測器２に連続され且つ台車１の
車体３外に臨む空気取り入れ口４と、台車１夕「への塵
埃の飛散を防止する防塵機構と、を備えたことを特徴と
するクリーンの室内環境計測装置を併合発明とする。
次にこの発明を実施例に従って説明する。
１が台車であり、これは車体３の下部に駆動輪８と足車
９とを設けており、車体３の前側にフロントバンパー１
０．後側にリヤバンパー１１を夫々装着してなる。車体
３は閉塞された箱形をなし、その内部は、水平な仕切板
１２により上室と下室とに区分されている。
９とを設けており、車体３の前側にフロントバンパー１
０．後側にリヤバンパー１１を夫々装着してなる。車体
３は閉塞された箱形をなし、その内部は、水平な仕切板
１２により上室と下室とに区分されている。
車体３の前側には補助ボンクス１３が設置され、空気取
り入れ口４の昇降装置１４が設けられる。
り入れ口４の昇降装置１４が設けられる。
この昇降装置１４は、下部が補助ボックス１３の天板に
固定されて上端が補助ボックス１３から突出する相互に
平行に立設された２本の入れ子管からなる伸縮柱１５．
１６を有し、一方の伸縮柱１５の、先端の最も径の小さ
い管には、図示しないモータ及びこれにより回転される
リールにより繰り出し１巻き取りされるワイヤ（ピアノ
線）が取付けられて、このワイヤにより前記管が昇降さ
れて伸縮柱１５が伸縮するようになっている。かかる伸
縮柱１５の伸縮駆動機構は、公知の機構を用いているた
め、詳細には図示しない。また、伸縮柱１５．１６の先
端の最も径の小さい管の間には、連結パー１７を掛は渡
して、伸縮柱１５の伸縮と一体に伸縮柱１６も伸縮する
ようになっている。
固定されて上端が補助ボックス１３から突出する相互に
平行に立設された２本の入れ子管からなる伸縮柱１５．
１６を有し、一方の伸縮柱１５の、先端の最も径の小さ
い管には、図示しないモータ及びこれにより回転される
リールにより繰り出し１巻き取りされるワイヤ（ピアノ
線）が取付けられて、このワイヤにより前記管が昇降さ
れて伸縮柱１５が伸縮するようになっている。かかる伸
縮柱１５の伸縮駆動機構は、公知の機構を用いているた
め、詳細には図示しない。また、伸縮柱１５．１６の先
端の最も径の小さい管の間には、連結パー１７を掛は渡
して、伸縮柱１５の伸縮と一体に伸縮柱１６も伸縮する
ようになっている。
伸縮柱１５．１６は、伸縮による摩耗が可及的に抑制さ
れる材質を用いて、これから発生する塵埃を抑える工夫
がされている。
れる材質を用いて、これから発生する塵埃を抑える工夫
がされている。
伸縮柱１６内には、ビニール製のサンプリング管１８が
貫通しており、サンプリング管１８の先端開口は空気取
り入れ口４を形成していて、これは、伸縮柱１６上端付
近にあって外部に開口している。このため、空気取り入
れ口４は昇降可能になっているから、クリーンルーム内
の任意の高さにおける空気のサンプリングを行うことが
できる。
貫通しており、サンプリング管１８の先端開口は空気取
り入れ口４を形成していて、これは、伸縮柱１６上端付
近にあって外部に開口している。このため、空気取り入
れ口４は昇降可能になっているから、クリーンルーム内
の任意の高さにおける空気のサンプリングを行うことが
できる。
また、サンプリング管１８の中途は、モータ１９により
回転されるリール２０に巻き取られていて、モータ１９
の正・逆転によりサンプリング管１８の送り出しと巻き
取りとを行う。このモータ１９と伸縮柱工５を伸縮する
ための前記モータとを兼用し、且つ前記伸縮柱１５のワ
イヤのリールを前記リール２０と一体に構成してもよい
。
回転されるリール２０に巻き取られていて、モータ１９
の正・逆転によりサンプリング管１８の送り出しと巻き
取りとを行う。このモータ１９と伸縮柱工５を伸縮する
ための前記モータとを兼用し、且つ前記伸縮柱１５のワ
イヤのリールを前記リール２０と一体に構成してもよい
。
なお、第３図に示すように伸縮柱１５．１６と平行にス
ケール３７を設置しておいて、空気取り入れ口４の高さ
寸法を目視できるようにしておいてもよし、さらに、サ
ンプリング管１８は、リール２０に巻かずに自然に渦巻
き状になるように、予め成形しておいてもよい。
ケール３７を設置しておいて、空気取り入れ口４の高さ
寸法を目視できるようにしておいてもよし、さらに、サ
ンプリング管１８は、リール２０に巻かずに自然に渦巻
き状になるように、予め成形しておいてもよい。
サンプリング管１８の後端は、第７図に示すように室内
環境計測器２に連結されていて、空気取り入れ目４から
取り入れたクリーンルーム内のサンプル空気を室内環境
計測器２に供給するようになっている。室内環境計測器
２は、第７図においては塵埃測定器２ａである。塵埃測
定器２ａに隣接して仕切板１２上に載置されるのは温度
測定器２２であり、連結バー１７に設けた温度センサ２
３とはケーブル２３により連結されている。室内環境計
測器２としては、塵埃測定器２ａの他に、湿度、風速、
ガス濃度等を測定する機器であってもよいことは勿論で
ある。
環境計測器２に連結されていて、空気取り入れ目４から
取り入れたクリーンルーム内のサンプル空気を室内環境
計測器２に供給するようになっている。室内環境計測器
２は、第７図においては塵埃測定器２ａである。塵埃測
定器２ａに隣接して仕切板１２上に載置されるのは温度
測定器２２であり、連結バー１７に設けた温度センサ２
３とはケーブル２３により連結されている。室内環境計
測器２としては、塵埃測定器２ａの他に、湿度、風速、
ガス濃度等を測定する機器であってもよいことは勿論で
ある。
前記第７図の例は、図示しない走行駆動装置を無線通信
によりクリーンルーム外から制御するものであり、車体
３にはそのためのアンテナ２４が立設されている。走行
駆動装置を無線で制御するための構成は公知のものを用
いる。３６はバッテリを示す。
によりクリーンルーム外から制御するものであり、車体
３にはそのためのアンテナ２４が立設されている。走行
駆動装置を無線で制御するための構成は公知のものを用
いる。３６はバッテリを示す。
第８図には、予め設定されたプログラムに基づいて、゛
クリーンルーム内の予め設定された経路を走行する形式
の台車１が示されている。ここには、車体３の下室にミ
ニコンピユータ２５が搭載されて、前記走行の制御を行
う。このミニコンピユータ２５は、室内環境計測器２の
計測データの記憶。
クリーンルーム内の予め設定された経路を走行する形式
の台車１が示されている。ここには、車体３の下室にミ
ニコンピユータ２５が搭載されて、前記走行の制御を行
う。このミニコンピユータ２５は、室内環境計測器２の
計測データの記憶。
処理、解析も可能にしである。第８図の２６は変換機で
あり、塵埃測定器２ａの測定結果を信号に変換し、これ
を無線発信器２７により、アンテナ２４からクリーンル
ーム外に送信する。
あり、塵埃測定器２ａの測定結果を信号に変換し、これ
を無線発信器２７により、アンテナ２４からクリーンル
ーム外に送信する。
第７，８図の台車１は何れもフロントバンパー１０及び
リヤバンパー１１に走行駆動装置への電源を遮断するス
イッチ（図示しない）が設置されていて、両バンパーが
物に当たった時には台車１が停止するようになっている
。
リヤバンパー１１に走行駆動装置への電源を遮断するス
イッチ（図示しない）が設置されていて、両バンパーが
物に当たった時には台車１が停止するようになっている
。
第９図には、台車１を走行させるための走行駆動装置が
示される。すなわち、車体３の下側にはブラケット２８
が固定され、これに車軸５が軸受６を介して回転自在に
支持される。車軸５には駆動輪８が一体回転するように
キー結合され、車軸５の端部は、枠板２９により囲まれ
た密封空間内に突出しており、軸受６の駆動輪８側には
硬質ゴムからなるシール材７を介在させて、軸受６の摩
耗に起因する塵埃がクリーンルーム内に飛散することを
防止している。駆動輪８のタイヤはウレタンゴムからな
り、塵埃の発生を抑制するようにしである。車軸５の図
示されない端部には従動プーリ（図中路）が固定され、
車体３王室の駆動モータ３２に固定された駆動プーリ３
３との間に伝動ヘルド（図中路）が掛は渡される。これ
らプーリ及びヘルドに代えてスプロケット及びチェノを
用いることもできる。
示される。すなわち、車体３の下側にはブラケット２８
が固定され、これに車軸５が軸受６を介して回転自在に
支持される。車軸５には駆動輪８が一体回転するように
キー結合され、車軸５の端部は、枠板２９により囲まれ
た密封空間内に突出しており、軸受６の駆動輪８側には
硬質ゴムからなるシール材７を介在させて、軸受６の摩
耗に起因する塵埃がクリーンルーム内に飛散することを
防止している。駆動輪８のタイヤはウレタンゴムからな
り、塵埃の発生を抑制するようにしである。車軸５の図
示されない端部には従動プーリ（図中路）が固定され、
車体３王室の駆動モータ３２に固定された駆動プーリ３
３との間に伝動ヘルド（図中路）が掛は渡される。これ
らプーリ及びヘルドに代えてスプロケット及びチェノを
用いることもできる。
第９図の走行駆動装置は、左右一対、夫々が同一速度で
駆動されるように設けられていて、台車１の直進時には
再走行駆動装置が駆動され、曲進時には一方の走行駆動
装置が駆動される。また、同一位置で台車１の向きを変
える時には、再走行駆動装置を相互に逆方向に駆動させ
ればよい。なお、走行速度は車体に設けられたスイッチ
により予め選択して設定することができ、また、この走
行駆動装置と電源とが連結されているときには、それが
ランプで表示されるようになっている。
駆動されるように設けられていて、台車１の直進時には
再走行駆動装置が駆動され、曲進時には一方の走行駆動
装置が駆動される。また、同一位置で台車１の向きを変
える時には、再走行駆動装置を相互に逆方向に駆動させ
ればよい。なお、走行速度は車体に設けられたスイッチ
により予め選択して設定することができ、また、この走
行駆動装置と電源とが連結されているときには、それが
ランプで表示されるようになっている。
第９図において、下室の底部には、駆動輪８の上側に開
口３０があり、その上にフィルタ３１を介してファン３
４が設置され、駆動輪８及び軸受６部分の空気を下室内
に吸引して、そこで生じた塵埃をフィルタ３１で濾過す
るようになっている。
口３０があり、その上にフィルタ３１を介してファン３
４が設置され、駆動輪８及び軸受６部分の空気を下室内
に吸引して、そこで生じた塵埃をフィルタ３１で濾過す
るようになっている。
王室と上室との間には排気道ｌ１Ｆｒ３５が形成され、
排気通路３５の外端の排気口３６は車体３に開口される
°。車体３の下室と排気通路３５との間にはフィルタ３
７が設置されて、内部の塵埃を、クリーンルーム内に排
出することを防止している。かくして、駆動輪８周辺及
びシール材７周辺の塵埃はフィルタ３１により濾過され
、下室内でモーフ３２等から発生した塵埃等はフィルタ
３７により濾過されるから、台車１の走行に起因して発
生ずる塵埃が、クリーンルーム内に飛散することは防止
される。従って、これが、塵埃の飛散を防止する防塵機
構をなす。また、開口３０からフィルタ３１．３７、排
気通路３５を介して排気口３Ｇに至る気流が生じるため
、モータ３２の冷却を促進することにもなる。
排気通路３５の外端の排気口３６は車体３に開口される
°。車体３の下室と排気通路３５との間にはフィルタ３
７が設置されて、内部の塵埃を、クリーンルーム内に排
出することを防止している。かくして、駆動輪８周辺及
びシール材７周辺の塵埃はフィルタ３１により濾過され
、下室内でモーフ３２等から発生した塵埃等はフィルタ
３７により濾過されるから、台車１の走行に起因して発
生ずる塵埃が、クリーンルーム内に飛散することは防止
される。従って、これが、塵埃の飛散を防止する防塵機
構をなす。また、開口３０からフィルタ３１．３７、排
気通路３５を介して排気口３Ｇに至る気流が生じるため
、モータ３２の冷却を促進することにもなる。
第１０図に示すように、枠板２９同志の接合部にはシー
ル材４０が介在されて、車体３内で発生した塵埃を外部
に出さないようにしである。
ル材４０が介在されて、車体３内で発生した塵埃を外部
に出さないようにしである。
かくして、駆動輪８及び足車９によりクリーンルーム内
を自在に走行する台車ｌにより、空気取り入れ口４はク
リーンルーム内を縦横に移動することができ、また昇降
装置１４により空気取り入れ口４を昇降することができ
る。このため、空気取り入れ口４は、クリーンルーム内
の任意の位置の空気を取り入れることができ、これを室
内環境計測器２により計測することが可能になった。
を自在に走行する台車ｌにより、空気取り入れ口４はク
リーンルーム内を縦横に移動することができ、また昇降
装置１４により空気取り入れ口４を昇降することができ
る。このため、空気取り入れ口４は、クリーンルーム内
の任意の位置の空気を取り入れることができ、これを室
内環境計測器２により計測することが可能になった。
以上から明らかなように、この発明によれば、予め設定
された経路を自動走行するか又は遠隔操作により走行す
る台車と、これに設けた空気取り入れ口と、これに連続
する室内環境計測器とにより、クリーンルーム内の各位
置における空気の測定をなしうるから、クリーンルーム
内に人が入り込んでその測定をする必要がなくなった。
された経路を自動走行するか又は遠隔操作により走行す
る台車と、これに設けた空気取り入れ口と、これに連続
する室内環境計測器とにより、クリーンルーム内の各位
置における空気の測定をなしうるから、クリーンルーム
内に人が入り込んでその測定をする必要がなくなった。
このため、クリーンルーム内に人から飛散される塵埃が
なくなるため、クリーンルームの清浄度を高く保つこと
ができる一方、クリーンルーム内と外部との間をサンプ
リング管により連結する必要もなくなったので、サンプ
リング管内面への塵埃の付着及び付着した塵埃が計測器
に導入されることにより生じる計測精度の低下という不
具合もなくなった。
なくなるため、クリーンルームの清浄度を高く保つこと
ができる一方、クリーンルーム内と外部との間をサンプ
リング管により連結する必要もなくなったので、サンプ
リング管内面への塵埃の付着及び付着した塵埃が計測器
に導入されることにより生じる計測精度の低下という不
具合もなくなった。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の実施例を示すものであり、第１図は、
台車の側面図、第２図は、台車の平面図、第３図は、台
車の前面図、第４図は、空気取り入れ口の昇降装置を示
す正面図、第５図は、第４図の平面図、第６図は、第４
図の側面図、第７図は、台車の側面透視図、第８図は、
台車の他の例を示す側面透視図、第９図は、台車の走行
駆動装置の一例を示す断面拡大図、第１０図は、枠板同
志の接続部分を示す断面図である。 １・・・台車、２・・・室内環境計測機、３・・・車体
、４・・・空気取り入れ口、５・・・車軸、６・・・軸
受、７・・・シール材、１４・・・昇降装置、１５．１
６・・・伸縮柱、１８・・・サンプリング管 第 ８ 図
台車の側面図、第２図は、台車の平面図、第３図は、台
車の前面図、第４図は、空気取り入れ口の昇降装置を示
す正面図、第５図は、第４図の平面図、第６図は、第４
図の側面図、第７図は、台車の側面透視図、第８図は、
台車の他の例を示す側面透視図、第９図は、台車の走行
駆動装置の一例を示す断面拡大図、第１０図は、枠板同
志の接続部分を示す断面図である。 １・・・台車、２・・・室内環境計測機、３・・・車体
、４・・・空気取り入れ口、５・・・車軸、６・・・軸
受、７・・・シール材、１４・・・昇降装置、１５．１
６・・・伸縮柱、１８・・・サンプリング管 第 ８ 図
Claims (3)
- （１）クリーンルーム内で、予め設定された経路を自動
走行するか又は遠隔操作により走行する台車と、台車に
搭載された室内環境計測器と、室内環境計測器に連続さ
れ且つ台車の車体外に臨む空気取り入れ口と、を備えた
ことを特徴とするクリーンルームの室内環境計測装置。 - （２）空気取り入れ口は、昇降可能に設けられていてク
リーンルーム内の各高さ位置に臨むようにしである特許
請求の範囲第１項記載のクリーンルームの室内環境計測
装置。 - （３）クリーンルーム内で、予め設定された経路を自動
走行するか又は遠隔操作により走行する台車と、台車に
搭載された室内環境計測器と、室内環境計測器に連続さ
れ且つ台車の車体外に臨む空気取り入れ口と、台車外へ
の塵埃の飛散を防止する防塵機構と、を備えたことを特
徴とするクリーンルームの室内環境計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17754783A JPS6069530A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | クリ−ンル−ムの室内環境計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17754783A JPS6069530A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | クリ−ンル−ムの室内環境計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069530A true JPS6069530A (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=16032852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17754783A Pending JPS6069530A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | クリ−ンル−ムの室内環境計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069530A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62152245U (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-26 | ||
| JPS6390739A (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-21 | Babcock Hitachi Kk | ダクト内を流れるガス中のダストを採取しその量を測定する装置 |
| KR20190140627A (ko) * | 2018-06-12 | 2019-12-20 | 한국지질자원연구원 | 해상 이동식 미세먼지 측정장치 및 이를 이용한 해상 미세먼지 측정방법 |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP17754783A patent/JPS6069530A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62152245U (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-26 | ||
| JPS6390739A (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-21 | Babcock Hitachi Kk | ダクト内を流れるガス中のダストを採取しその量を測定する装置 |
| KR20190140627A (ko) * | 2018-06-12 | 2019-12-20 | 한국지질자원연구원 | 해상 이동식 미세먼지 측정장치 및 이를 이용한 해상 미세먼지 측정방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110955254A (zh) | 一种智能巡检机器人及巡检机器人的使用方法 | |
| JPS6069530A (ja) | クリ−ンル−ムの室内環境計測装置 | |
| CN115262344A (zh) | 一种市政道路施工用平整度检测设备 | |
| CN113720632A (zh) | 一种扦样装置及扦样机器人 | |
| CN115078158B (zh) | 一种路面积尘负荷检测方法及系统 | |
| CN112945261A (zh) | 一种具备工程数据定测功能的便携式智能测量小车 | |
| CN112945262A (zh) | 一种具备工程数据检测功能的便携式智能测量小车 | |
| JP3244840B2 (ja) | 自動清掃車 | |
| CN113370915B (zh) | 一种玻璃温室大棚用agv巡检小车 | |
| CN119665879A (zh) | 一种用于立体车库的车辆底盘高度检测装置 | |
| CN223421941U (zh) | 卸料与桥式天车布焦一体化系统 | |
| JP2004257842A (ja) | 空調用制気口の風量風温測定装置 | |
| CN218034928U (zh) | 半导体电子厂房地秤施工用平整度检测装置 | |
| JP2736357B2 (ja) | 空調設備の吹出状態計測装置 | |
| CN107167625A (zh) | 一种冷藏车内部三维风速场测量装置 | |
| CN214890276U (zh) | 施工现场用扬尘数据采集装置 | |
| CN214953651U (zh) | 基于无人机的民用导航设备外场信号测试仪 | |
| CN110243321B (zh) | 一种基于超声波检测技术的方管壁厚检测仪器 | |
| JPH07239230A (ja) | 管内自走ロボット及びそれを用いた管軸測量装置並びに管軸測量方法 | |
| CN115855534A (zh) | 一种汽车轮毂抗压检测机 | |
| JPH0318911Y2 (ja) | ||
| CN211402055U (zh) | 一种能够调节高度及方向的粉尘检测设备 | |
| CN224081656U (zh) | 一种高速公路隧道施工用移动时风速检测装置 | |
| JP2954491B2 (ja) | 外壁診断方法及び装置 | |
| JP2872909B2 (ja) | 壁面移動体の移動装置 |