JPS6069624A

JPS6069624A - 振動減衰機能をもつ小形偏向器

Info

Publication number: JPS6069624A
Application number: JP59167267A
Authority: JP
Inventors: クウオツク　リユン　イツプ; マーチン　エドワード　バントン
Original assignee: Xerox Corp
Current assignee: Xerox Corp
Priority date: 1983-08-16
Filing date: 1984-08-09
Publication date: 1985-04-20
Also published as: JPH057689B2; DE3467818D1; US4561023A; EP0134681A1; EP0134681B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産深上９１１１−川勿づＪ本発明は、小形偏向器、詳しく言えば、小形偏向器を非
たわみ位置に戻すために要する時間を短縮するだめの制
御装置に間するものである。

ｊ（象ｑ稍−逝小形偏向器は、基本的には、反射表面を有し、光反射器
として機能することができる１個またはそれ以上の可撓
フィンガーより成っており、多くの利用面が知られてい
る。たとえば、１つの利用として、超小形偏向器は、ラ
スク走査装置の鏡面追跡装置として使われている。別の
利用として、超小形偏向器を直線配列にすれば、ビデオ
像信号人力に応じて光のシート状ビームを変調する全幅
変調器ができる。上記およびその他の利用において、超
小形偏向器を構成する１個またはそれ以上の可撓フィン
ガーは、加えられた電圧に応じて曲がる、すなわちたわ
む。したがって、１個またはそれ以−ヒのフィンガーに
当たった光は、電圧の有無にしたがって選択された方向
に向けられる。

たとえば、超小形偏向器を直線に配列して使用する場合
には、ビデオ像信号人力にしたがって個々のフィンガー
に曲げ用電圧が選択的に加えられる。超小形偏向器のフ
ィンガーのそれぞれの異なる選択的なたわみにより、走
査ビームが変調され、記録媒体が露光されて像１３号で
表される像が形成される。同様に、超小形偏向器形式の
鏡面追跡装置の場合には、超小形偏向器の可撓フィンガ
ーに制御された電圧を加えることにより、可撓フィンガ
ーが曲がって、その結果フィンガーに当たった走査ビー
ムが追跡され、走査素子の鏡面にビームが当たる点はは
一中央に維持される。

分割プ」ｐ丸蜆劣うとする［欅ｌ怠しかしながら、特に高速で利用する場合には、電圧が除
かれたあと、超小形偏向器の１個またはそれ以上のフィ
ンガーが非たわみ位置へ戻って振動が止まるまでの所要
時間ばかなり長く、それが装置の動作速度を制限してい
ることがわかった。

フィンガーの復元時間はフィンガーの物理的パラメータ
を変えることで、すなわちフィンガーをより厚くするこ
とで短縮することができるけれども、ｉｆｆ！常は、こ
の特性偏向に好ましくない副作用が伴う。たとえば、フ
ィンガーの厚さを増した場合、装置の時間的制約の中で
必要なたわみを得たければ、フィンガーを曲げる、すな
わちたわませるために必要な電ローを大幅に増す必要が
ある。代わりに、物理的ストップ、すなわち接触部を設
け、フィンガーを妨げて中立位置に停止させ、かつ振動
を安定させることを思い浮かべるかも知れないが、この
種のストップｉｌｌ、可撓フィンガーの縦方向の振動の
すべてを減衰させるとは限らないし、また好ましくない
フィンガーの摩耗や疲労を生じさせるおそれがある。

叫−匪か（ｈυ丸を不力−Δｑ手段本発明は、次のリーイクルの準備のため非たわみ静止位
置へ超小形偏向器が戻るのを促進するように改良された
装置に関するものである。超小形偏向器は、当てられた
ビームを反射する鏡状表面をもつ少なくとも１個の可撓
フィンガーと、フィンガーが加えられた電圧に応じてた
わみ、フィンガーに当たったビームを別の方向に反射す
ることを許す支持部より成っており、改良点として、前
記第１の電圧が除かれたあとフィンガーが非たわみ位置
へ戻ろうとしているとき、フィンガーの振動を減衰させ
フィンガーが非たわみ静１Ｆ位置に戻るのを促進するよ
う、フィンガーＱこ第２の電圧を印加する手段を備えて
いる。

」准ル第１図〜第３図を参照して、本発明の超小形偏向器を組
み入れた典型的なラスタ走査装置１ｏを詳細に説明する
。ラスタ走査装置１ｏは、像信号にしたがって変調され
た高い放射強度のビーＪ、Ｉ５、すなわち光が感光性記
録媒体１３を横切って走査し、記録媒体を像の形状に露
光するラスタ出力走査装置、すなわちＲＯ３式走査装置
より成っている。

記録媒体１３は、矢印１６の方向に回転する（手段は図
示せず）感光性被膜付きのゼログラフィ一方式のドラム
１４として描いであるが、代わりに、感光性被膜付きの
ゼログラフィ一方式のベル１やプレー１−のほか、ウェ
ブまたはカット紙形式の感光性フィルムや塗工紙を含め
、他のゼログラフィ一方式やＪトゼログラフィ一方式の
記録媒体を使・うごとができることはわかるであろう。

したがって、記録媒体１３は、−最北されたケースでｔ
ｉｔ　、、走査ビーム（ここでは、図示のように番号１
５−２で示しである）に対し交差線をすなわち行ビ・ノ
チの方向に進行しながら露光される感光性媒体上想像さ
れたい。

ビーム１５は、適当な電磁放射光束源、たとえばレーザ
ー２１から得られる。レーザー２１で発＾トした哨−波
長放射線の平行ビーム１５は、あとで説明するよう？、
こ、像信号入力に含まれている情報にしたがってビーム
１５を修正する変調器１２乙こ当てられる。変調された
ビーム１５−１はテレセンＩ−リンク望遠鏡式ビーム拡
大器１８を通って鏡面追跡装置２０へ進め、鏡面追跡装
置２０から第２のテレセンドリンク望遠鏡式ビーム拡大
器２２を通ってホログラフ式走査偏向器２４へ進む。

偏向器２４から出たビームは、結像レンズ２６によって
記録媒体１３に焦点が合わされる。

変調器１２は、電子光学素子２７を有する全内面反射＜
ＩＴＲ）式変調器であって、ビーＪ、１５の有効ザイズ
に相応する電子光学素子２７の部分の端から端まで複数
のアドレス可能な電極２８．２８′が連続して配置され
ている。一般に、電極２８．２８′は、幅が１〜３０ミ
クロンであり、１〜３０ミクロンのは！゛一様な電極間
のすきまが得られるようはソ゛等距離離れている中心線
」二にある。

電子光学素子２７は、たとえば両端に光学的に研磨され
た入力面と出カ面３１．３２、および光学的に研磨され
た中間反射表面３３を有するＬｉＮｂ０ｉのｙカット結
晶でできている。手指のように組まれた電極２８．２８
′は、発生した周辺電界を電子光学素子２７内に結合す
るため、反射表面３３に接触しているが、少なく吉もそ
れに近接している。電極２８．２８′にはリード線２つ
、３０を介して適当な電圧Ｖ′が加えられ、電極２８．
２８′に加える電圧Ｖ′は像信号の内容に応じて制御さ
れる。

図かられかるように、レーザー２１からの平行ビーム１
５は、入力面３１を通って反射表面３３をかずめるよう
な入射角で電子光学素子２７に入る。ビーム１５は、反
射表面３３のはｙ′縦中心線においてくさび形に焦点が
合わされ（手段は図示せず）、ここで、ビームＩ５は全
内面反射され、出力面３２を通って電子光学素子２７か
ら出る。

ビーム１５は、電子光学素子２７を通過する間に、像信
号の内容にしたがって空間的に同位相波面が変調される
。

電極２８．２８′間の電圧差で局部周辺電界が生じるが
、この局部周辺電界は電子光学素子２７の相互作用領域
３９内に広がって、相互作用領域３９の横の方に素子の
屈折率に変化を生じさせる。

この結果、ビーム１５が相互作用領域３９を通過すると
き、その同位相波面が像信号入力にしたがって順次空間
的に変調される。

位相交番がないブラッグ（Ｂｒａｇｇ　）方式（第３図
参照）で作動させると、電子光学素子２７にブラック角
θ８で入る光は、回折せず、０次ビーム１５−Ｏとして
現れる。図示例にＪいて、Ｏ次ビ＝ｊ、１５−０は、適
当なストップ３７に当たって像が形成される。電極２８
．２８′に電圧Ｖ′が加わると、位相変化が生じ、光は
、あとで明らかになるように、記録媒体１３を露光する
ために用いられる１次ビーム１５−１に散乱する。

ブラッグ回折方式について説明したが、この分野の専門
家ならば、電子光学素子２７をラーマン・ナス（Ｒａｍ
ａｎ　−Ｎａｔｈ　）方式で作動させてもよいことはわ
かるであろう。代わりに、別の変調形式、たとえば音響
−光学式や電子光学式のほか、レーザー・ダイオードを
思い浮かべることもできる。

１次ビーム１５−１は走査ビーム１５−２のソースとし
て使われるが、代わりに０次ビーム１５−０を用いるこ
とができる。その場合には、１次ビーム１５−１がスト
ップ゛３７に当てられよう。

偏向器２４は、はＶ゛平らな走査円板４６の外周まわり
に複数の回折格子面、すなわち鏡面４７を有するホログ
ラフ式偏向器である。走査円板４６は、ガラスで作られ
たものが好ましく、モータ４８によってドラム１４の動
きに同期して回転する。円板４Ｇは、１次ビーム１５−
１が鏡面４７に約４５°の角度で入射するように配置す
ることが好ましい。円板４６から出力される回折された
走査ビーム１５−２は、補角で出てくる。

１次ビーム１５−１は、ビーム拡大器１８．２２と、鏡
面追跡装置２０とを通って偏向器２４へ進み、ビーム拡
大器１８．２２は、ビーム１５−１に対し制御された拡
大を与えて所定のスボ・ントサイズのビームを走査円板
４６の鏡面４７に当てる役目をする。あとで詳細に説明
するが、鏡面追跡装置２０は、走査円板４６の鏡面４７
に当たる１次ビーム１５−１を追跡してビームのスポ・
ントを走査円板４６の鏡面４７の所定の位置に維持する
役目をする。走査円板４６の鏡面４７で反射した１次ビ
ーＪ、１５−１．（ここでは、走査ビーム１５２と’？
ふ）は、結像レンズ２６により、ドラム１４の表面に近
い焦点面の選択された地点に焦点が合わされる。

次に、第４図と第５図を参照し、可撓フィンガー５０を
有する趙小形偏向器形式の鏡面追跡装置２０について詳
細に説明する。可撓フィンガー５０は、析出、熱酸化な
どによりシリコン・ウェーハ５４の表面に適当に設けら
れた二酸化シリコン５１より成るものが好ましい。代わ
りに、他の材料、たとえばシリコン、窒化シリ：ｌン等
を想像することができる。フィンガー５０の外側表面に
は、金属鏡状反射被膜５３が付いている。フィンガー５
０より下のウェーハ５４の部分は除去されていて、第４
図のように、フィンガー５０の自由端がたわむことがで
きるように空間５５が作られている。フィンガー５０に
は、電圧を加えるためのリード線６０が付いており、ウ
ェーハ５４には、共通リード線すなわち戻りリード線６
１が接続されている。

次に、第６図を参照して制御回路６５を説明する。制御
回路６５は、走査円板４６の回転および感光性記録媒体
１３を横切る走査ビーム１５−２の掃引に同期して、リ
ード線６０を介して、超小形偏向器式鏡面追跡装置２０
のフィンガー５０にたわみ用１、すなわち曲げ用電圧を
加える。適当な像信号源６７、たとえば記憶装置通信回
線等とともに、適当なりロック（ここでは、画素クロッ
ク６９と呼ぶ）が設けられており、後者は像信号源６７
から変調器１２に対する像信号を刻時するための刻時パ
ルスを発生する。走査ビーム１５−２の通路には、怒光
性記録媒体１３上の像線の開始と終了を識別するため、
それぞれ走査開始（ＳＯ８）センサ７０と走査終了（Ｅ
Ｏ３）センサ７１と表示された１対のフォトセル式セン
サが設けられている。ＳＯＳセンサ７０とＥＯＳセンサ
７１の信号出力は、画素クロック６９の制御端子に入力
され、記録媒体１３を横切るビーム１５−２の掃引に同
期してクロック６９へ開始と停止を制御する。クロック
６９の刻時パルス出力はクロックリード線７２を介して
像信号源６７へ、そして÷Ｎカウンタ７４を介して適当
な持久記憶袋Ｗ（ここでは、ＲＯＭ記憶装置７６で例示
する））用のアドレス・カウンタ７５へ送られる。前述
のように、像信号源６７に対する画素クロック６９の刻
時パルス出力は、変調器１２に対する像信号を刻時する
。そこで、変調器１２は、走査偏向器２４により記録媒
体１３を横切って走査するビーム１５−２に同期して、
ビーム１５を変調する。

走査を通じて、１次ビーム１５−１が走査円板４６の鏡
面４７に当たるスポット位置を制御することができるよ
うに、超小形偏向器式鏡面追跡装Ｗ２０のフィンガー５
０は、電圧が加わると、制御卸されて由１がる、ずなわ
ちたわむようになっている。このために、ＲＯＭ記憶装
置７６の出力が適当なデジタルアナログ変換器８０へ送
られる。変換器８０のアナログ信号出力は増幅器８１へ
送られ、ここで信号は、フィンガー５０を制御して曲げ
る、すなわちたわませる十分な電圧Ｖ（たわみ）が得ら
れるように適当に増幅される。増幅器８１の信号出力は
、ＯＲ機能ゲート８４を介して鏡板追跡装置２０のリー
ド線６０に接続されている。

電圧Ｖ（たわみ）の発生前に、変圧器８０に対するデー
タ入力を安定させるために、適当な遅延回路８５が設け
られている。ここでは、デジタル方式の装置について説
明したが、代わりに、純アナログ制御機能を用いてフィ
ンガー５０に制御された電圧を加えてもよいことはわか
るであろう。

ＲＯＭ記ｆ０装置７６の内容は、走査を通して１次ビー
１．１５−１を走査円板４６の鏡面４７の中央に維持す
るために必要な量だけ、フィンガー５０を曲げるのに必
要な電圧■（たわみ）を決めるために行う１回またはそ
れ以」二の較正すなわちテスト実施を通じて得られる。

第２図に、鏡面追跡装置２０のフィンガー５０のたわみ
に対する、走査開始（ＳＯ３）　、走査中央（ＣＯ３）
　、および走査終了（Ｆ、　ＯＳ　）における１次ビー
ム１５−１の相対的位置を示す。図示の位置は、例示し
たに過ぎず、ビーム１５−１の真の位置を表すものでな
いことはわかるであろう。

鏡面追跡装置２０のフィンガー５０に対する主たる要素
の１つは、たわんだあと次の走査線の開始前に、フィン
ガーが非たわみ静止状態に戻ることである。リード線６
０の曲げ用電圧■（たわみ）がフィンガー５０から除か
れると、フィンガー５０　（説明のため、片持ちはりと
見なすことができる）は、減衰する自由ばね質量振動系
のように動く。したがって、フィンガー５０はある時間
（ここでは、復元時間Ｔｒと呼ぶ）を経過して非たわみ
位置に戻るであろう。

復元時間Ｔｒは、超小形偏向器のフィンガー５０が臨界
減衰条件のもとで、最大たわみ位置く第４図の実線）か
ら非たわみ位置（第４図の点線）まで戻るのに必要な時
間と定義されるが、フィンガーの固有振動数には＼゛等
しい。たとえば、前述形式の一フィンガづ０が長さＬ＝
１６０μｍ、幅ｗ＝１００ＩＩｍ、厚さｂ＝２１！ｍ、
深さｄ＝５μｍの値を有する場合、フィンガーは、約７
３ＫＩ＋２の固有振動数を有し、Ｑファクタは１．３７
である。もし、５１Ｖの最大曲げ用電圧を加えて、その
あと除ければ、一般に、フィンガー５０は振幅が減少し
ながら振動し、時間Ｔｒ＝３０ＩＩｓｅｃで非たわみ静
止状態に戻るまであろう。

ここで、特に第６図を参照すると、電源９ｏとし−Ｃ図
示した減衰用の電圧Ｖ（減衰）源が設けられており、電
圧源９０の出力はリード綿９１およびゲート８４を介し
てフィンガー５０のリード線６０に接続されている。減
衰用電圧■（減衰）の開始と持続時間の双方を制限する
ために、タイマー９４が設けられている。タイマー９４
の信号出力はり一ト線９５を介して電圧源９０の制御端
子に入力される。ＥＯＳセンサ７１の出力はリード綿９
７を介してタイマー９４の制御端子に接続されている。

次に、第１図、第２図、およびた意５図〜第７ｂ図を参
照すると、画素クロック６９はＳＯＳセンサ７０による
走査ビーム１５−２の検知に応じて作動する。クロック
６９の刻時パルス出力は、像信号源６７を作動させ一連
の像信号を変調器１２へ出力させる。変調器１２は、一
連の像信号にしたがって、感光性記録媒体１３を横切っ
て像線を書き込むため、ビーム１５を変調する。同時に
、画素クロック６９の刻時パルス出力は、カウンタ７５
を駆動し、カウンタ７５は所定の計数レヘルに達すると
、ＲＯＭ７６内のブリセント記憶位置をアドレスする。

この結果生じたＲＯＭ７６の制御信号出力はディジタル
・アナログ変換器８０へ送られ、所定の曲げ用電圧■（
たわみ）が鏡面追跡装置２０のフィンガー５０に加えら
れる。

フィンガー５０に加えられた所定の各曲げ用電圧により
、フィンガー５０は所定の星だけ曲がる、すなわちたわ
む（その例を第２図に示す）６前述のように、フィンガ
ー５０は、１次ヒーノ、１５−１をビーム拡大器２２を
通して回転している走査円板４６の鏡面４７に向けて反
射する。フィンガー５０が曲がる、ずなわぢたわむと、
走査円板４６の鏡面４７にビーム１５−１が当たる点が
変わる結果、鏡面が動くとき走査円板の鏡面に当たるビ
ーム１５−１の位置は鏡面に沿って有効に追跡され、１
次ビーム１５−１が鏡面に当たる点はは＼中央に維持さ
れる。

走査ビーム１５−２が走査線の端に達すると、ＥＯＳセ
ンサ７１がビームを検知し、ＥＯＳセンサ７１からの信
号で画素クロック６９の動作と、像信号源６７から変調
器１２に対する像信号の入力か市められる。同時に、リ
ード線９８にあるＥ（３Ｓセンザ７１からの信号で、鏡
面追跡装置７５がリセットされ、増幅器８１からフィン
ガー５０に対する曲げ用電圧■（たわみ）の入力が止め
れる。

曲げ用電圧が止められると、フィンガー５０は非たわみ
位置へ戻る６ＥＯＳセンザ７１からの信号はタイマー９
４を使用可能にし、タイマー９４ｔｉｔフインガー５０
かは＼その非たわみ位置に戻ることができるように選定
された所定の時間遅れのあと、電圧源９０を作動させて
、所定の減衰用電圧Ｖｌ衰）をあらかじめ定めた時間ｔ
、′（第７ａ図に示す）の間フィンガー５０に加える。

減衰用電圧Ｖ（ｉ７Ｊ２衰）は、フィンガー５０の非た
わみ位置への通常の戻ＩＱ４こ（”Ｊ’　５３！ｉする
フィンガー５０の振動を迅速か一つ急激に４Ｍ哀させ、
すなわち抑制して、フィンガー５（〕を次の走査線のた
め’ｒ４＊備する。

鏡面追跡装置２０のフィンガー５０がは＼“非たわみ位
置に達する時点で、時間ｔ’＝０．２５μ５ｅｃＯ間、
６２Ｖの減衰用電圧Ｖ　＜Ｓ衰）を印加したところ、フ
ィンガー５０の振動ははｙ瞬間的に減衰し、約５μｓｅ
ｃの復元時間Ｔｒで、フィンガーは最大たわみ点から中
立静市状態に戻るごとがわかった。代わりに、フィンガ
ー５０を減衰させる別の波形を想像することもできる。

本発明を絹み入れた別の超小形偏向器の構造および配列
、すなわち、１個の可撓フィンガーを用い像信号入力に
したがって走査ビームを変調する、あるいは１列または
それ以上のフィンガー直線配列を用い、像信号入力に応
じて一度に走査線全体を変調する超小形偏向器式変調器
を容易に想像することもできる。後者の例は、係属中の
米国１ｈ許出願第３９，１．．６０３号（１９８２年７
月２日出願）に記載されている。

以上、開示した構造について発明を説明したが、発明は
説明した細部構造に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に入れることができるすべての修正および変更を
包含するものと考える。

【図面の簡単な説明】

第１図は、全内面反射（′Ｔ川用）変調器とホログラフ
式走査円板をもつ形式のラスク走査装置用の鏡面追跡装
置に具体化された本発明の改良型超小形偏向器の略図、第２図は、第１図の鏡面追跡装置によって鏡面追跡か行
われる様子を示す略図、第３図は、第１図の走査装置用のＴＩＲ変調器の細部構
造を示す拡大底面図、第４図は、鏡面追跡装置の可撓フィンガーを示す第１図
の超小形偏向器式鏡面追跡装置の拡大断面側面図、第５図は、第４図の可撓フィンガーの平面図、第６図は
、曲げ用電圧を除いたあと可撓フィンガーの振？）＋を
減衰させる手段を含む、第１図のラスク走査装置用の制
御装置を示す論理図、および第７ａ図と第７ｂ図は、曲
げ用電圧と可撓フィンガーのたわみの割合の関係を示す
グラフである。１０・・・ラスク走査装置、１２・・・変調器、１３・
・・記録媒体、１４・・・感光性被膜付きゼログラフィ
一式ドラム、１５・・・ビーム、１５−０・・・０次ビ
ーム、１５−１・・１次ビーム、１５−２・・・走査ビ
ーム、１６・・・回転方向、１８・・・ビーム拡大器、
２ｏ・・・鏡面追跡装置、２１・・・レーザー、２２・
・・ビーム拡大器、２４・・・ホログラフ式走査偏向器
、２６・・・結像レンズ、２７・・・電子光学素子、２
８．２８’　・・・アドレス可能電極、２９゜３０・・
・リード線、３１・・・入力面、３２・・・出力面、３
３・・・中間反射表面、　３７・・・ストップ、３９・
・・相互作用領域、４６・・・走査円板、４７・・・鏡
面、４８・・・モータ、５０・・・可撓フィンガー、５
１・・・二酸化シリコン、５３・・・金属鏡状反射被膜
、５４・・・シリコン・ウェーハ、５５・・・空間、６
０．６１・・・リード線、６５・・・制御回路、６７・
・・像信号源、６９・・・画素クロック、７０・−−３
ＯＳセンサ、７１−　・−Ｐ、ＯＳセンサ、　７２・・
・クロック・リ−１’　線、７４・・・÷Ｎカウンタ、
７５・・・アドレス・力うンタ、７６・・・ＲＯＭ記憶
装置、８ｏ・・・ディジタル・アナログ変換器、８１・
・・増幅器、８４・・・ＯＲ機能ゲート、８５・・・遅
延回路、９０・・・電源、９１・・・リード線、９４・
・・タイマー、９５．９７．９８・・・リード線。ＦＩ６．２４７Ｆ／Ｇ、、３ＦＩ６．６

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　当てられたビームを反射する鏡状表面をもつ少
なくとも１個の可撓フィンガーと、印加された第１の所
定の電圧に応じてフィンガーをたわませ、フィンガーに
当たったビームを他の方向に反射させる支持部とから成
る小形偏向器において、前記第１の電圧を除いたあと前記フィンガーに第２の所
定の電圧を加えて前記フィンガーの振動を減衰させ、前
記フィンガーがその非たわみ位置へ戻るのを促進する制
御手段を備えていることを特徴とする小形偏向器。
（２）　前記フィンガーは、可撓フィンガーの直線配列
より成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記戦の
偏向器。
（３）　ビーム・ストップと、走査対象物を横切って前
記ビームを掃引するための回転可能な走査素子と、像信
号に応じて前記フィンガーに前記第１の電圧を選択的に
加える手段とを有していて、前記フィンガーは前記走査
素子の一ヒ流側の前記ビームの通路内に配置されており
、前記第１の電圧が存在しないとき前記フィンガーは非
たわみ位置にあって前記ビームを前記ビーム・ストップ
および前記走査素子に向ＩＪて反射し、前記第１の電圧
が加えられると前記フィンガーはたわみ位置へ動かされ
て前記ビームを前記ビームストップおよび前記走査素子
に向けて反射するようになっており、前記制御手段は次
に続く像信号の前に前記フィンガーを前記たわめ位置か
ら前記非たわみ位置へ確実に戻すよう、像信号の間に、
前記フィンガーに前記第２の電圧を加えることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の偏向器。
（４）同時にシート状光線にさらされたとき線状の連続
した光線を反則する少なくとも１列に配置された複数の
フィンガーと、像信号入力に応じて個々の前記フィンガ
ーに対し前記第１の電圧を同時に加える手段とを有して
おり、前記像信号入力は前記配列を構成するフィンガー
の数に等しい像信ぢのブロックより成り、前記第１の電
圧に応じてたわんだフィンガーはそこに当たった光線を
第１の通路に反射し、他方たわまなかったフィンガーは
そこに当たった光線を第２の通路に反射し、前記第１お
よび第２の通路の一方は記録媒体に向けられており、前
記制御手段は、次に続く一連の像信号の前にたわんだフ
ィンガーを前記たわめ位置から非たわみ位置へ確実に戻
すよう、前記像信号の各ブロックの間に、前記フィンガ
ーに前記第２の電圧を加えることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の偏向器。
（５）前記制御手段は、前記フィンガーが前記非たわみ
位置に達するまで前記第２の電圧の印加を遅延させるタ
イミング手段を有し、それにより前記第２の電圧は前記
フィンガーの振動を減衰させることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の偏向器。
（６）　前記タイミング手段は、あらかじめ定めた時間
の間、前記第２の電圧が加わるよ・）にすることを特徴
とする特許請求の範囲第５項記載の偏向器。