JPS606996Y2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS606996Y2 JPS606996Y2 JP8903180U JP8903180U JPS606996Y2 JP S606996 Y2 JPS606996 Y2 JP S606996Y2 JP 8903180 U JP8903180 U JP 8903180U JP 8903180 U JP8903180 U JP 8903180U JP S606996 Y2 JPS606996 Y2 JP S606996Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- image
- lens
- correction signal
- magnification
- Prior art date
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡に関腰特に投影レンズ等の歪収差の
影響のない像を得ることのできる電子顕微鏡に関する。
影響のない像を得ることのできる電子顕微鏡に関する。
電子顕微鏡に用いられている電子レンズは径方向収差と
呼ばれる収差と、光軸を中心に像が回転する回転収差と
呼ばれる２種の歪収差がある。
呼ばれる収差と、光軸を中心に像が回転する回転収差と
呼ばれる２種の歪収差がある。
即ち径方向収差は螢光板上に第１図ａにおいて正方形Ｎ
で示す如き像が形成されるべき場合に、同図においてＡ
で示すように糸巻き状の歪んだ像や、逆に同図において
Ｂで示すように°たる状に歪んだ像を形成する如き収差
である。
で示す如き像が形成されるべき場合に、同図においてＡ
で示すように糸巻き状の歪んだ像や、逆に同図において
Ｂで示すように°たる状に歪んだ像を形成する如き収差
である。
又回転収差は第１図すにおいてＮで示す如き像が形成さ
れるべき場合に、同図においてＣで示すように像上の各
点が光軸から離れるに従って回転した位置に結像されて
しまうような歪を引き起こす収差であり、回転の向きは
反時計まわりのこともある。
れるべき場合に、同図においてＣで示すように像上の各
点が光軸から離れるに従って回転した位置に結像されて
しまうような歪を引き起こす収差であり、回転の向きは
反時計まわりのこともある。
電子顕微鏡においては試料を透過した電子線を螢光板上
に拡大結像するため対物レンズ、中間レンズ、投影レン
ズからなるレンズ系を備えていることが普通であるが、
前述した歪収差の影響が最も大きく影響するのは投影レ
ンズである。
に拡大結像するため対物レンズ、中間レンズ、投影レン
ズからなるレンズ系を備えていることが普通であるが、
前述した歪収差の影響が最も大きく影響するのは投影レ
ンズである。
従って投影レンズの歪収差の影響を可能な限り除くため
従来の電子顕微鏡においては投影レンズと中間レンズの
歪収差が打ち消し合うように考慮がはられれている。
従来の電子顕微鏡においては投影レンズと中間レンズの
歪収差が打ち消し合うように考慮がはられれている。
しかしながら投影レンズが像に及ぼす回転収差の大きさ
は中間レンズが像に及ぼす回転収差に比較して格段に大
きいため、第２図において点線イで示すように広い観察
倍率にわたって２％程度の大きさの回転収差が存在する
。
は中間レンズが像に及ぼす回転収差に比較して格段に大
きいため、第２図において点線イで示すように広い観察
倍率にわたって２％程度の大きさの回転収差が存在する
。
この第２図において横軸は観察倍率であり、縦軸は歪取
差量（％）又はレンズの励磁強度（アンペア／ターン）
を表わしている。
差量（％）又はレンズの励磁強度（アンペア／ターン）
を表わしている。
また回転収差量の大きさは光軸から距離Ｒの点が距離Δ
１回転した場合Δ１／Ｒ１径方向収差は光軸からＲの点
が径からΔＲだけ移動した結像位置に移動したらΔＲ／
Ｒであるものとして示されている。
１回転した場合Δ１／Ｒ１径方向収差は光軸からＲの点
が径からΔＲだけ移動した結像位置に移動したらΔＲ／
Ｒであるものとして示されている。
一方第２図から明らかなように観察倍率に応じて投影レ
ンズの励磁強度は同図において点線Ｐで示すように変更
され、中間レンズの励磁強度は同図において■で示すよ
うに変更される。
ンズの励磁強度は同図において点線Ｐで示すように変更
され、中間レンズの励磁強度は同図において■で示すよ
うに変更される。
像倍率が低下するに伴い中間レンズの励磁強度が増大す
るような虚像領域より低倍の領域では中間レンズの相殺
作用が有効に働き径方向収差は小さなものであるが、こ
の領域より高倍の領域ではやはり２％程度の径方向収差
が存在する。
るような虚像領域より低倍の領域では中間レンズの相殺
作用が有効に働き径方向収差は小さなものであるが、こ
の領域より高倍の領域ではやはり２％程度の径方向収差
が存在する。
本考案はこのような従来の欠点に鑑みなされたもので、
観察倍率に応じて変化する歪収差を除いた像を得ること
のできる電子顕微鏡を提供しようとするもので、以下図
面を付して本考案の一実施例を詳述する。
観察倍率に応じて変化する歪収差を除いた像を得ること
のできる電子顕微鏡を提供しようとするもので、以下図
面を付して本考案の一実施例を詳述する。
第３図は本考案の一実施例装置の概略図であり、図中１
は電子銃であり、該電子銃１よりの電子線２は収束レン
ズ３によって収束されて、試料４上に照射される。
は電子銃であり、該電子銃１よりの電子線２は収束レン
ズ３によって収束されて、試料４上に照射される。
試料４を透過した電子線は対物レンズ５、中間レンズ６
、投影レンズ７からなるレンズ系によって螢光板８上に
拡大結像される。
、投影レンズ７からなるレンズ系によって螢光板８上に
拡大結像される。
９は倍率制御回路であり、該倍率制御回路９は例えは２
０段階に分かれた倍率のうち操作者の選択した倍率に応
じた信号を発生する回路であり、該回路９よりの信号に
よりレンズ電源１０は前記中間レンズ６、投影レンズ７
に第２図に示した如き選択された倍率に応じた励磁電流
を供給する。
０段階に分かれた倍率のうち操作者の選択した倍率に応
じた信号を発生する回路であり、該回路９よりの信号に
よりレンズ電源１０は前記中間レンズ６、投影レンズ７
に第２図に示した如き選択された倍率に応じた励磁電流
を供給する。
１１は螢光板８上に形成された像を撮像するための撮像
管であり、該撮像管１１よりの映像信号は受像管１２の
グリッドＧに供給されている。
管であり、該撮像管１１よりの映像信号は受像管１２の
グリッドＧに供給されている。
該撮像管１１と受像管１２は走査回路１３より供給され
る水平、垂直走査信号により同期走査される。
る水平、垂直走査信号により同期走査される。
Ｈ，Ｖは撮像管１１の水平、垂直コイルであり、Ｈ’、
Ｖ’は受像管１２の水平、垂直コイルである。
Ｖ’は受像管１２の水平、垂直コイルである。
１４は補正信号発生装置であり、該補正信号発生手段は
デジタルメモリーと該メモリーよりの信号をアナログ信
号に変換するためのＤ／Ａ変換器等を具備し、走査回路
１３より供給される走査信号により、各走査点に対応す
るメモリーの番地に記載されていた補正信号が読み出さ
れ、該補正信号は各々第１、第２の加算回路１５．１６
において走査回路１３よりの水平、垂直走査信号と加算
される。
デジタルメモリーと該メモリーよりの信号をアナログ信
号に変換するためのＤ／Ａ変換器等を具備し、走査回路
１３より供給される走査信号により、各走査点に対応す
るメモリーの番地に記載されていた補正信号が読み出さ
れ、該補正信号は各々第１、第２の加算回路１５．１６
において走査回路１３よりの水平、垂直走査信号と加算
される。
補正信号発生回路１４のメモリーに格納される補正信号
は種々その値を変動させつつ陰極線管１２の表示像を観
察し、その像の歪が最も小さくなるような値に選ばれて
いる。
は種々その値を変動させつつ陰極線管１２の表示像を観
察し、その像の歪が最も小さくなるような値に選ばれて
いる。
このような補正信号は歪みが第２図に示すように低倍に
おいては中高倍の場合と大きさを異にするため、１種の
中高借用と数種の低倍用が用意されている。
おいては中高倍の場合と大きさを異にするため、１種の
中高借用と数種の低倍用が用意されている。
倍率制御回路９よりの観察倍率を表わす信号が補正信号
発生回路１４に供給されており、該信号により複数種の
補正信号のうち倍率に応じた補正信号が該回路１４より
読み出される。
発生回路１４に供給されており、該信号により複数種の
補正信号のうち倍率に応じた補正信号が該回路１４より
読み出される。
上述した如き構成において、操作者が観察倍率を選べば
観察倍率に応じた試料像が螢光板８上に形成される。
観察倍率に応じた試料像が螢光板８上に形成される。
該螢光板８上の像は撮像管１１によって撮像され、該撮
像された像は陰極線管１２に表示されるが、陰極線管１
２の水平、垂直偏向コイルＨ’、 Ｖ’に供給される偏
向信号は走査回路１３よりの水平、垂直走査信号に補正
回路１４よりの観察倍率に応じた補正信号を重畳した信
号であるため、撮像管１１によって撮像された像の各部
は像の歪を補正するような陰極線管１２上の位置に表示
され、常に歪のない像を得ることができる。
像された像は陰極線管１２に表示されるが、陰極線管１
２の水平、垂直偏向コイルＨ’、 Ｖ’に供給される偏
向信号は走査回路１３よりの水平、垂直走査信号に補正
回路１４よりの観察倍率に応じた補正信号を重畳した信
号であるため、撮像管１１によって撮像された像の各部
は像の歪を補正するような陰極線管１２上の位置に表示
され、常に歪のない像を得ることができる。
尚、上述した実施例においては補正信号を陰極線管１２
の偏向信号に重畳するようにしたが、撮像管１１の偏向
信号に重畳するようにしても良い。
の偏向信号に重畳するようにしたが、撮像管１１の偏向
信号に重畳するようにしても良い。
第１図は歪収差によって歪んだ像を説明するための図、
第２図は観察倍率と歪収差の大きさを説明するための図
、第３図は本考案の一実施例を示すための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：収束レンズ、４：試料、
５：対物レンズ、６：中間レンズ、７：投影レンズ、８
：螢光板、９：倍率制御回路、１０：レンズ電源、１１
：撮像管、１２：受像管、１３：走査回路、１４：補正
信号発生回路、１５．１６：加算回路。
第２図は観察倍率と歪収差の大きさを説明するための図
、第３図は本考案の一実施例を示すための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：収束レンズ、４：試料、
５：対物レンズ、６：中間レンズ、７：投影レンズ、８
：螢光板、９：倍率制御回路、１０：レンズ電源、１１
：撮像管、１２：受像管、１３：走査回路、１４：補正
信号発生回路、１５．１６：加算回路。
Claims (1)
- 電子銃と、該電子銃よりの電子線を収束して試料に照射
するための収速レンズと、試料を透過した電子線を拡大
結像するための対物、中間、投影レンズからなるレンズ
系と、観察倍率に応じた信号を発生する倍率制御回路と
、該倍率制御回路よりの信号に基づいて前記レンズ系に
励磁電流を供給するための励磁電源と、前記結像された
像を撮像するための撮像管と、該撮像管よりの映像信号
が供給される受像管と、前記レンズ系の歪収差を補正す
るため前記倍率制御回路よりの信号に応じて変化する補
正信号を発生する補正信号発生手段と、該補正信号発生
手段よりの補正信号を前記受像管又は撮像管の偏向信号
に重畳して供給するための手段とよりなる電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8903180U JPS606996Y2 (ja) | 1980-06-25 | 1980-06-25 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8903180U JPS606996Y2 (ja) | 1980-06-25 | 1980-06-25 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5716159U JPS5716159U (ja) | 1982-01-27 |
| JPS606996Y2 true JPS606996Y2 (ja) | 1985-03-07 |
Family
ID=29451082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8903180U Expired JPS606996Y2 (ja) | 1980-06-25 | 1980-06-25 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606996Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-06-25 JP JP8903180U patent/JPS606996Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5716159U (ja) | 1982-01-27 |
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