JPS6070181A - 無電解銅めっき法 - Google Patents
無電解銅めっき法Info
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- JPS6070181A JPS6070181A JP17954983A JP17954983A JPS6070181A JP S6070181 A JPS6070181 A JP S6070181A JP 17954983 A JP17954983 A JP 17954983A JP 17954983 A JP17954983 A JP 17954983A JP S6070181 A JPS6070181 A JP S6070181A
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- electroless copper
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- electroless
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Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/38—Coating with copper
- C23C18/40—Coating with copper using reducing agents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不発明は無電解銅めっき法に関する。
無を解組めつきは印刷配MA板の分野で積層板等の杷R
基板K(ロ)路ン形成すゐために広(用いらnている。
基板K(ロ)路ン形成すゐために広(用いらnている。
この場合無電解鋼めっきが施さfる向は活性化、すなわ
ち無電解鋼めっきのための触媒核が形成さt″L、々0
この触媒核を中心にして無電解鋼めっき液中の銅イオン
が析出し、成長して銅膜となり回路となる。杷縁承板を
活性化す/)ために、無電解鋼めっきのための触媒とな
る金属Pd 1IIl!3縁基板表面に形成さぜゐ。
ち無電解鋼めっきのための触媒核が形成さt″L、々0
この触媒核を中心にして無電解鋼めっき液中の銅イオン
が析出し、成長して銅膜となり回路となる。杷縁承板を
活性化す/)ために、無電解鋼めっきのための触媒とな
る金属Pd 1IIl!3縁基板表面に形成さぜゐ。
従来この金属は
)ICI
Pd C11+SnC/l*−Pd (0) + 5n
Cj14 の反応で得ら扛ており、硅礫土などの担体に
担持さ扛触媒作用勿果すよう工夫さCている。そのため
Sn。
Cj14 の反応で得ら扛ており、硅礫土などの担体に
担持さ扛触媒作用勿果すよう工夫さCている。そのため
Sn。
C6などの不純物忙多ぐ含むうえに担体忙使用するため
、接看剤などτさらに使用して、こnに混入させるため
、アディティブ印刷配線板用の触媒入り接宥削付積層板
を製造する場合、そり、ねじ扛が発生しII!!縁性に
難点がめ9、またマルチワイヤ配線板のP派皮ふくした
銅線の絶縁皮膜には混入させゐことができなかった。
、接看剤などτさらに使用して、こnに混入させるため
、アディティブ印刷配線板用の触媒入り接宥削付積層板
を製造する場合、そり、ねじ扛が発生しII!!縁性に
難点がめ9、またマルチワイヤ配線板のP派皮ふくした
銅線の絶縁皮膜には混入させゐことができなかった。
本発明は、このような点に鑑みてなさ′nたもので、被
めっき物t111曲のアルコールKPd(II)、 A
g(1)、Cu (1)、Cu (IIJ、Ni (I
I)化付物の少な(とも一種を溶解して邊;bm液に浸
漬した故、無電解鋼めっき液に浸漬することt特徴とす
る無電解鋼めっき法である。
めっき物t111曲のアルコールKPd(II)、 A
g(1)、Cu (1)、Cu (IIJ、Ni (I
I)化付物の少な(とも一種を溶解して邊;bm液に浸
漬した故、無電解鋼めっき液に浸漬することt特徴とす
る無電解鋼めっき法である。
すなわち本発明は、 Pd (11) −Ag (1)
%Cu (1)Cu (Ill、 Ni (損の化合
物忙単独または混合してメチルアルコール、エチルアル
コールナトの111111アルコールに溶解し酸体とな
した浴液忙用い、この溶液τ被めっき物の表面忙処理し
、こ扛らの金属t(0)価となし、銅めっきの触媒とな
すことt主眼とするものである。このmgは、こI″L
らの金属化付物の溶解を促進したり、また(0)価への
還元を促進するため他の添〃口物を含んでもよい9たと
えば、溶解を促進するために水、咳、アルカリなど會添
ガロしてもよい。また(0月曲に還元することヶ促進す
る目的で任意の還元剤盆さらに加えることができ/)0
たとえばグルコース、アミノシラン、グルコサミン、ア
ルデヒド類などtガロえてもよい。
%Cu (1)Cu (Ill、 Ni (損の化合
物忙単独または混合してメチルアルコール、エチルアル
コールナトの111111アルコールに溶解し酸体とな
した浴液忙用い、この溶液τ被めっき物の表面忙処理し
、こ扛らの金属t(0)価となし、銅めっきの触媒とな
すことt主眼とするものである。このmgは、こI″L
らの金属化付物の溶解を促進したり、また(0)価への
還元を促進するため他の添〃口物を含んでもよい9たと
えば、溶解を促進するために水、咳、アルカリなど會添
ガロしてもよい。また(0月曲に還元することヶ促進す
る目的で任意の還元剤盆さらに加えることができ/)0
たとえばグルコース、アミノシラン、グルコサミン、ア
ルデヒド類などtガロえてもよい。
こ1しらの金属と1価アルコールとの錯体の1価アルコ
ールにたいする俗解度は通常約1%程度であ/)が、こ
njり少ぐても十分なめっきの活性勿付与すめことが可
能である。
ールにたいする俗解度は通常約1%程度であ/)が、こ
njり少ぐても十分なめっきの活性勿付与すめことが可
能である。
アルコール溶液から(0)価の金l14tIこ還元さn
ゐ俄栴は、たとえばPdでは などのような反応τへてPdCAmがCH、CHOによ
り還元さnPd(0)になるものと考えらnていゐ。
ゐ俄栴は、たとえばPdでは などのような反応τへてPdCAmがCH、CHOによ
り還元さnPd(0)になるものと考えらnていゐ。
被めっき物はこの浴液に任意の自照で&漬し、そのま\
%筐たは力1して乾床したのち無電解銅めっき液に浸漬
する。
%筐たは力1して乾床したのち無電解銅めっき液に浸漬
する。
無電Ils銅めっ@液としては、例えば、銅イオン0.
004〜0.2モル/l、銅イオンの錯化剤0.004
〜1モル/71.還元剤0.01〜0゜25モル/lお
よび田τ11.0〜1五5にするに必要な童の田調整剤
、を基本組成として含む、通常の無電解銅めっき液が使
用出来る。
004〜0.2モル/l、銅イオンの錯化剤0.004
〜1モル/71.還元剤0.01〜0゜25モル/lお
よび田τ11.0〜1五5にするに必要な童の田調整剤
、を基本組成として含む、通常の無電解銅めっき液が使
用出来る。
この場付金属含有量は1%以下で特に0.1%以下でも
十分にその機能が発揮できるO Pd (n) 、 Ag (1)、Cu (1)、Cu
(It) 、 Ni (II)の塩(例えば塩化*)
vl g−1り/−に20 D g。
十分にその機能が発揮できるO Pd (n) 、 Ag (1)、Cu (1)、Cu
(It) 、 Ni (II)の塩(例えば塩化*)
vl g−1り/−に20 D g。
水50gτビーカーに杵堆し常温で60分攪拌し、 −
f:n−enのイオン特有の着色を府すめ浴液を得、こ
り浴液に積層板等の絶縁基板、成形品等の被めっき物會
浸漬した俊、被めっき物盆無電解銅めっき液に浸漬し無
電解鋼めつさt行う。
f:n−enのイオン特有の着色を府すめ浴液を得、こ
り浴液に積層板等の絶縁基板、成形品等の被めっき物會
浸漬した俊、被めっき物盆無電解銅めっき液に浸漬し無
電解鋼めつさt行う。
以上説明した本発明に於ては、次の効果が達成さn ;
b 。
b 。
(1) 生成する金属(0)の粒子が#1か(、このた
めすぐnた無電解鋼めつ@が得らnる。
めすぐnた無電解鋼めつ@が得らnる。
(2)硅礫土のような担体が不要で、不純物の混入が少
(なる。
(なる。
(6ン 酸性が強(ないので被めっき物に害とならない
。
。
代理人弁理士 若 林・ 邦 彦
5−
Claims (1)
- 1、 被めツキ物紫、11曲ct) 7 /l/ :I
−ルVcPd (II)、Ag (1)、 Cu (1
)、Cu (II)、Ni (II)化合物の少なくと
も一種を溶解してな/b沼液に浸漬した俊、無電解銅め
っき液に浸漬することt特徴とする無電解鋼めっき法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17954983A JPS6070181A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 無電解銅めっき法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17954983A JPS6070181A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 無電解銅めっき法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070181A true JPS6070181A (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=16067685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17954983A Pending JPS6070181A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 無電解銅めっき法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6070181A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100451166C (zh) * | 2005-09-09 | 2009-01-14 | 清华大学 | 化学镀活化工艺和使用该工艺进行金属沉积的化学镀方法 |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP17954983A patent/JPS6070181A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100451166C (zh) * | 2005-09-09 | 2009-01-14 | 清华大学 | 化学镀活化工艺和使用该工艺进行金属沉积的化学镀方法 |
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