JPS607053A - ２次電子増倍装置 - Google Patents
２次電子増倍装置Info
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- JPS607053A JPS607053A JP11396383A JP11396383A JPS607053A JP S607053 A JPS607053 A JP S607053A JP 11396383 A JP11396383 A JP 11396383A JP 11396383 A JP11396383 A JP 11396383A JP S607053 A JPS607053 A JP S607053A
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- electron multiplier
- electrode
- multiplier
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
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- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 11
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は２次電子増倍装置に関し、より詳しくは、少く
とも内壁面を２次電子放出能を有する半導体材料で形成
してなる筒状の２次電子増倍管から出力する２次電子を
検出して空間中のイオンや電子を検出する２次電子増倍
装置に関するものである。
とも内壁面を２次電子放出能を有する半導体材料で形成
してなる筒状の２次電子増倍管から出力する２次電子を
検出して空間中のイオンや電子を検出する２次電子増倍
装置に関するものである。
（従来技術）
一般に、２次′這子増倍装置は、フォトマルチフ。
ライヤにおいて、ダイノードと呼ばれる２次電子放出面
における２次電子放出を利用して光電子流を増倍するの
に使用されているが、この種の２次電子増倍装置は構造
が複雑で、形状も大きなものとなっていた。
における２次電子放出を利用して光電子流を増倍するの
に使用されているが、この種の２次電子増倍装置は構造
が複雑で、形状も大きなものとなっていた。
このため、近年、宇宙空間に存在するイオンや電子を検
出する装置、あるいは乙種イオンや原子の質量を分析す
る質量分析計等におし）では、２次電子放出能を有する
半導体材料を筒状に形成した２次電子増倍管を使用し、
イオンや電子を検出する装置等に直接、取り付けて使用
することカダできる、いわゆるチャンネルエレクトロン
マルチプライヤ る。
出する装置、あるいは乙種イオンや原子の質量を分析す
る質量分析計等におし）では、２次電子放出能を有する
半導体材料を筒状に形成した２次電子増倍管を使用し、
イオンや電子を検出する装置等に直接、取り付けて使用
することカダできる、いわゆるチャンネルエレクトロン
マルチプライヤ る。
従来、この種の２次電子増倍装置としては、イオンや電
子を直流的に検出する場合は、第１図に示ずように、２
次電子放出能を有する半導体材料を筒状に形成してなり
、入力側にコーン状の入力電］ｊ１を取り付けた２次電
子増倍管２の出力端からＱ、 ５ ｍｍないし１．Ｑｍ
ｍのギヤラフ’ｇをおいて円形′の金属板からなるコレ
クタ３を配置し、上記入力電極１にアースに対して一３
ＫＶｒ、ｊいし、−４ＫＶＯ高電圧Ｅ１１を印加する一
方、上記出力端に巻回した加速電極４にアースに対して
−１００Ｖ ｒｌいし一２００Ｖの加速電圧ＥＬを印加
し、この加速電圧Ｅ■、の増倍電流を、上記コレクタ３
で集めていた。
子を直流的に検出する場合は、第１図に示ずように、２
次電子放出能を有する半導体材料を筒状に形成してなり
、入力側にコーン状の入力電］ｊ１を取り付けた２次電
子増倍管２の出力端からＱ、 ５ ｍｍないし１．Ｑｍ
ｍのギヤラフ’ｇをおいて円形′の金属板からなるコレ
クタ３を配置し、上記入力電極１にアースに対して一３
ＫＶｒ、ｊいし、−４ＫＶＯ高電圧Ｅ１１を印加する一
方、上記出力端に巻回した加速電極４にアースに対して
−１００Ｖ ｒｌいし一２００Ｖの加速電圧ＥＬを印加
し、この加速電圧Ｅ■、の増倍電流を、上記コレクタ３
で集めていた。
また、２次電子増倍管２の出力端から出力する２次電子
流をパルス的に検出する場合は、第２ヌｌに示すように
、第１図の加速電極４を省略して、コレクタ３を２次電
子増倍管２の出力端に密着させ、第１図と同様にして、
前置増巾器５からパルス出力を得るようにしたものが一
般に知られている。
流をパルス的に検出する場合は、第２ヌｌに示すように
、第１図の加速電極４を省略して、コレクタ３を２次電
子増倍管２の出力端に密着させ、第１図と同様にして、
前置増巾器５からパルス出力を得るようにしたものが一
般に知られている。
」−記した第１図、第２図の場合において、出力２次電
子流は上記コレクタ３とアースの間に生じるｔ４遊容徴
Ｃ８にチャージされ、チャージ芒れた電荷は負荷抵抗ｋ
Ｌを通して放電され、このとき負荷抵抗ＲＩ−の両端に
生じる電圧は前置増幅器５で増幅されるのが一般的であ
る。
子流は上記コレクタ３とアースの間に生じるｔ４遊容徴
Ｃ８にチャージされ、チャージ芒れた電荷は負荷抵抗ｋ
Ｌを通して放電され、このとき負荷抵抗ＲＩ−の両端に
生じる電圧は前置増幅器５で増幅されるのが一般的であ
る。
とＣろで、電子やイオンを直流的に検出する第１図の２
次電子増倍装置では、コレクタ３を２次電子増倍管２の
出力端の端面に対してギャップｇを持たせて支持する支
持部材６が必要であった。
次電子増倍装置では、コレクタ３を２次電子増倍管２の
出力端の端面に対してギャップｇを持たせて支持する支
持部材６が必要であった。
そのうえ、上記ギャップｇから２次電子が外部に飛び出
してノイズが発生したり、イオンフィードバック等が発
生ずる問題があり、上記キャップｇからイオンが飛び出
すのを防止するために、上記ギャップｇの周囲をシール
ド板（図示せず。）で囲繞すると、シールド板やこのシ
ールド板を支持する支持部材が必要となり、２次電子増
倍管の出力端近傍の構造が複雑になる問題かあった。
してノイズが発生したり、イオンフィードバック等が発
生ずる問題があり、上記キャップｇからイオンが飛び出
すのを防止するために、上記ギャップｇの周囲をシール
ド板（図示せず。）で囲繞すると、シールド板やこのシ
ールド板を支持する支持部材が必要となり、２次電子増
倍管の出力端近傍の構造が複雑になる問題かあった。
（発明の目的）
本発明は上記問題を解消すべくなされたものであって、
その目的は、加速電極を有する２次早子増倍装置におい
て、２次電子増倍管の出力端の手前に加速電極を設ける
とともに、出力端の端面にコレクタ電極を固着すること
により、２次電子増倍管の出力端をコレクタ電極で封Ｉ
Ｌシ、イオンフィードバックやノイズを少くするととも
に、構造の簡単比を図ることである。
その目的は、加速電極を有する２次早子増倍装置におい
て、２次電子増倍管の出力端の手前に加速電極を設ける
とともに、出力端の端面にコレクタ電極を固着すること
により、２次電子増倍管の出力端をコレクタ電極で封Ｉ
Ｌシ、イオンフィードバックやノイズを少くするととも
に、構造の簡単比を図ることである。
（発明の構成）
このため、本発明は、少くとも内壁面を２次電子放出能
を有する半導体材料で形成してなる筒状の２次電子増倍
管の出力端の手前に加速電極を設けるとともに、上記出
力端の端面にコレクタ電極を固着したことを特徴として
いる。
を有する半導体材料で形成してなる筒状の２次電子増倍
管の出力端の手前に加速電極を設けるとともに、上記出
力端の端面にコレクタ電極を固着したことを特徴として
いる。
（実施例）
以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第３図において、１１は２次電子増倍管であって、該２
次電子増倍管１１は２次電子放出能を有する、たとえは
、チタン酸亜鉛系のセラミック半導体材料を円筒状に形
成するとともに、内部でのイオンフィードバックをなく
すために、螺旋形状に湾曲し、入力端１ ］、 Ｈにコ
ーン状の入力電極１２を取り句」すだものである。
次電子増倍管１１は２次電子放出能を有する、たとえは
、チタン酸亜鉛系のセラミック半導体材料を円筒状に形
成するとともに、内部でのイオンフィードバックをなく
すために、螺旋形状に湾曲し、入力端１ ］、 Ｈにコ
ーン状の入力電極１２を取り句」すだものである。
」二記２次電子増倍管１１の寸法は、たとえば、全長が
１３Ｑｍｍ、外径が３． Ｏｍｍ 、内径が１．０喘で
ある。また、入力電極１２の開口部は１０ｖｔｍで、長
ちは１０＋＋πである。
１３Ｑｍｍ、外径が３． Ｏｍｍ 、内径が１．０喘で
ある。また、入力電極１２の開口部は１０ｖｔｍで、長
ちは１０＋＋πである。
上記２次電子増倍管１１の出力端１１ｂの手前の、該出
力端１１ｂの端面からの距１ｉｌｌｉｌｄがｄ÷５ｍｍ
の位置に、銀（Ａｇ） 線よりなる加速電極１３を巻回
し、該加速電極１３に加速電圧ＥＬを印加している。
力端１１ｂの端面からの距１ｉｌｌｉｌｄがｄ÷５ｍｍ
の位置に、銀（Ａｇ） 線よりなる加速電極１３を巻回
し、該加速電極１３に加速電圧ＥＬを印加している。
２次電子増倍管１１の出力端１１ｂの上記端面には、コ
レクタ電極１４をエポキシ樹脂により接着している。こ
のコレクタ電極１４の上記端面への接着は、銀ペースト
の焼付けやガラスフリット等を使用することもできる。
レクタ電極１４をエポキシ樹脂により接着している。こ
のコレクタ電極１４の上記端面への接着は、銀ペースト
の焼付けやガラスフリット等を使用することもできる。
上記コレクタ電極１４とアースとの間には負ｎｉ抵抗Ｒ
Ｌを接続するとともに、この負荷抵抗ＲＬから出力する
電圧を前置増巾器５で増巾している。
Ｌを接続するとともに、この負荷抵抗ＲＬから出力する
電圧を前置増巾器５で増巾している。
上記のようにすれば、２次電子増倍管１１の出力端１１
ｂから出力する２次電子はすべてコレクタ電極１４に捕
捉され、上記２次電子が２次電子増倍管１１の外部に飛
び出してイオンフィードバックやノイズが発生するのを
防雨することができまた、コレクタ電極１４は２次電子
増倍管１１゛の出力端１１ｂに支持σれ、コレクタ電極
１４を支持する特別な支持部材も不要となり、２次電子
増倍装置の構造も簡単化、きれる。
ｂから出力する２次電子はすべてコレクタ電極１４に捕
捉され、上記２次電子が２次電子増倍管１１の外部に飛
び出してイオンフィードバックやノイズが発生するのを
防雨することができまた、コレクタ電極１４は２次電子
増倍管１１゛の出力端１１ｂに支持σれ、コレクタ電極
１４を支持する特別な支持部材も不要となり、２次電子
増倍装置の構造も簡単化、きれる。
第３図の実施例において、２次電子増倍管１１の全長を
５ ｍｍ程度短くし、その出力端１１ｂの端ｉｆｏに、
第４図に示すように、長６が約５騎の絶縁性を有する材
料からなる商１５を上記２次電子増倍管１１と同軸に接
着し、その一端にコレクタ電ｆ’／ｍ４１．４を固着す
るようにしてもよい。
５ ｍｍ程度短くし、その出力端１１ｂの端ｉｆｏに、
第４図に示すように、長６が約５騎の絶縁性を有する材
料からなる商１５を上記２次電子増倍管１１と同軸に接
着し、その一端にコレクタ電ｆ’／ｍ４１．４を固着す
るようにしてもよい。
なお、以上の実施例において、２次電子増倍管１１の材
料はチタン酸亜鉛系のものに限定されず、チタン酸バリ
ウム系や他の材料を使用したものであってもよ（、また
、具体的には図示しないが、侶）状に形成した鉛ガラス
の内面に２次電子放出膜を形成したものを２次電子増倍
管とするようにした、いわゆる薄膜タイプのものであっ
てもよい。
料はチタン酸亜鉛系のものに限定されず、チタン酸バリ
ウム系や他の材料を使用したものであってもよ（、また
、具体的には図示しないが、侶）状に形成した鉛ガラス
の内面に２次電子放出膜を形成したものを２次電子増倍
管とするようにした、いわゆる薄膜タイプのものであっ
てもよい。
場らに、２次電子増倍管１１は螺旋状の他に波形形状に
湾曲されてもよく、その断面形状も円形には限定されな
い。
湾曲されてもよく、その断面形状も円形には限定されな
い。
（発明の効果）
以、し、詳述したことからも明らかなように、本発明は
、加速電極を有する２次電子増培装置において、２次電
子増倍管の出力端の手前に加速電極を設けて加速電極と
コレクタＮ極の間を２次電子増倍管の出力端で囲繞する
ようにしたから、加速電極とコレクタ電極との間からの
２次電子の飛び出しを防止するシールド板およびその支
持台か不要になるとともに、コレクタＮ極も２次電子増
倍管の出力端に固着され、コレクタ電（夏の支持台も省
略することが一〇き、２次電子増倍装置の構造か大１］
に簡単化でれ、また、加速電圧も低くすることができる
。
、加速電極を有する２次電子増培装置において、２次電
子増倍管の出力端の手前に加速電極を設けて加速電極と
コレクタＮ極の間を２次電子増倍管の出力端で囲繞する
ようにしたから、加速電極とコレクタ電極との間からの
２次電子の飛び出しを防止するシールド板およびその支
持台か不要になるとともに、コレクタＮ極も２次電子増
倍管の出力端に固着され、コレクタ電（夏の支持台も省
略することが一〇き、２次電子増倍装置の構造か大１］
に簡単化でれ、また、加速電圧も低くすることができる
。
第１図および第２図は夫々従来の２次電子増倍装置の説
明図、第３図は本発明に係る２吹電子増倍装置の一実施
例の説明図、第４図は第３図の実施例の変形例の拡大断
面図である。 １１・・・２次電子増倍管、 １ ］、 ａ・・・入力
端、１１１）・・・出力端、 １３・・・加速電極、１
４・・・コレクタ電］萌、１５・・・筒。 特許出願人 株式会社村田製作所 代理人ブ↑理士青山 葆Ｉ丘力・２名
明図、第３図は本発明に係る２吹電子増倍装置の一実施
例の説明図、第４図は第３図の実施例の変形例の拡大断
面図である。 １１・・・２次電子増倍管、 １ ］、 ａ・・・入力
端、１１１）・・・出力端、 １３・・・加速電極、１
４・・・コレクタ電］萌、１５・・・筒。 特許出願人 株式会社村田製作所 代理人ブ↑理士青山 葆Ｉ丘力・２名
Claims (2)
- （１）少くとも内壁面を２次電子放出能を有する半導体
材料で形成してなる筒状の２次電子増倍管の出力端の手
前に加速電極を設けるとともに、上記出力端の端面にコ
レクタ電極を固着したことを特徴とする２次電子増倍装
置。 - （２）上記加速電極とコレクタ電極との間の部材は絶縁
性を有する筒からなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の２次電子増倍装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11396383A JPS607053A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | ２次電子増倍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11396383A JPS607053A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | ２次電子増倍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607053A true JPS607053A (ja) | 1985-01-14 |
| JPH0381258B2 JPH0381258B2 (ja) | 1991-12-27 |
Family
ID=14625586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11396383A Granted JPS607053A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | ２次電子増倍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607053A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107785227A (zh) * | 2017-09-08 | 2018-03-09 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板 |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11396383A patent/JPS607053A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107785227A (zh) * | 2017-09-08 | 2018-03-09 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0381258B2 (ja) | 1991-12-27 |
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