JPS6070843U - レチクルマスキング用遮蔽板 - Google Patents
レチクルマスキング用遮蔽板Info
- Publication number
- JPS6070843U JPS6070843U JP1983160677U JP16067783U JPS6070843U JP S6070843 U JPS6070843 U JP S6070843U JP 1983160677 U JP1983160677 U JP 1983160677U JP 16067783 U JP16067783 U JP 16067783U JP S6070843 U JPS6070843 U JP S6070843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shielding plate
- reticle
- reticle masking
- masking
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のレチクルマスキング用遮蔽構造を示す斜
視図、第２図は本考案レチクルマスキング用遮蔽板の分
解斜視図、第３図は同じ（その遮蔽板を取り付けた状態
の一部切欠側面図である。 １１・・・遮蔽板、１２・・・開口部、１３・・・取枠
、１４・・・円筒部（保持機構）、１５・・・レチクル
フレーム、１６・・・レチクル押え板、１７・・・螺子
。
視図、第２図は本考案レチクルマスキング用遮蔽板の分
解斜視図、第３図は同じ（その遮蔽板を取り付けた状態
の一部切欠側面図である。 １１・・・遮蔽板、１２・・・開口部、１３・・・取枠
、１４・・・円筒部（保持機構）、１５・・・レチクル
フレーム、１６・・・レチクル押え板、１７・・・螺子
。
Claims (1)
- 中央部に四角形の開口部を設け、かつこの開口部の縁に
沿って下部方向に突き出した光の廻り込みを防止するた
めの取枠とレチクルフレームのレチクル押え板取り付は
螺子に嵌合せしめるための保持機構を設けたことを特徴
とするレチクルマスキング用遮蔽板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983160677U JPS6070843U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | レチクルマスキング用遮蔽板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983160677U JPS6070843U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | レチクルマスキング用遮蔽板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070843U true JPS6070843U (ja) | 1985-05-18 |
Family
ID=30353340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983160677U Pending JPS6070843U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | レチクルマスキング用遮蔽板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6070843U (ja) |
-
1983
- 1983-10-19 JP JP1983160677U patent/JPS6070843U/ja active Pending
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