JPS6071128A - ウエハ積層型空冷翼の製造方法 - Google Patents
ウエハ積層型空冷翼の製造方法Info
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- JPS6071128A JPS6071128A JP58179378A JP17937883A JPS6071128A JP S6071128 A JPS6071128 A JP S6071128A JP 58179378 A JP58179378 A JP 58179378A JP 17937883 A JP17937883 A JP 17937883A JP S6071128 A JPS6071128 A JP S6071128A
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- Japan
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- blade
- wafer
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/04—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass turbine or like blades from several pieces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P2700/00—Indexing scheme relating to the articles being treated, e.g. manufactured, repaired, assembled, connected or other operations covered in the subgroups
- B23P2700/12—Laminated parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、作業性の良好なウェハ積層型空冷翼の製造方
法に関する。
法に関する。
従来、ガスタービン用等の空冷翼は、鋳造による一体成
型にて製造さｎていたが、鋳型造型・鋳造作業のみなら
ず、鋳造後の表面平滑化仕上が必要で、作業性の向上を
図ることが困難であった。
型にて製造さｎていたが、鋳型造型・鋳造作業のみなら
ず、鋳造後の表面平滑化仕上が必要で、作業性の向上を
図ることが困難であった。
そこで、作業性向上のために第１図に示すようなウェハ
積層による空冷翼の製造法が考えらｎるようになった。
積層による空冷翼の製造法が考えらｎるようになった。
第１図において、（Ａ）Ｆｉフォトケミカル加工工程で
、（ａ）でウニノ・素材１の脱脂、洗浄等の前処理を行
った後、（ｂ）で該ウニノ・素材へのレジスト塗布、乾
燥を行い、（Ｃ）で該レジスト層２へ露光し、（ｄ）で
現象、乾燥を行い、（ｅ）でエツチング処理し、（ｆ）
でレジストの除去と、エツチングさｎたウェハの検査を
すｎば、（ｇ）のウニノ・１′が形成さｎる。なお、（
ｇ）中４は冷却空気の噴出孔、６は内部空間を示してい
る。
、（ａ）でウニノ・素材１の脱脂、洗浄等の前処理を行
った後、（ｂ）で該ウニノ・素材へのレジスト塗布、乾
燥を行い、（Ｃ）で該レジスト層２へ露光し、（ｄ）で
現象、乾燥を行い、（ｅ）でエツチング処理し、（ｆ）
でレジストの除去と、エツチングさｎたウェハの検査を
すｎば、（ｇ）のウニノ・１′が形成さｎる。なお、（
ｇ）中４は冷却空気の噴出孔、６は内部空間を示してい
る。
また、（Ｂ）は上記のフォトケミカル加工工程（〜にて
得らｎたウニノ・１′の拡散接合工程で、（ａ）でウェ
ハ１′を積層整合した後、（ｂ）で真空炉での加圧加熱
により拡散接合する・なお、（ｂ）中の矢印は加圧方向
を、５はシュラウド部材を示しているＯ 更に、（０）は上記の拡散接合工程（Ｂ）で得らｎた拡
散接合体の翼形状加工工程後の状態を示している０ この翼形状加工は、第１図（Ｂ） （１）） Ｋ示す拡
散接合後の積層材をならいフライス盤にて、外周より削
り出すことにより行なわ扛る。しかし、この加工方法に
よると除去加工部分が多く、加工工数が大となる欠点が
ある。また、翼の外表面仕上でも上記フライス加工後、
ならい研削加工を行なうが、冷却空気の噴出孔４が切削
・研削パリの発生により目づまＶを生じる欠点がある。
得らｎたウニノ・１′の拡散接合工程で、（ａ）でウェ
ハ１′を積層整合した後、（ｂ）で真空炉での加圧加熱
により拡散接合する・なお、（ｂ）中の矢印は加圧方向
を、５はシュラウド部材を示しているＯ 更に、（０）は上記の拡散接合工程（Ｂ）で得らｎた拡
散接合体の翼形状加工工程後の状態を示している０ この翼形状加工は、第１図（Ｂ） （１）） Ｋ示す拡
散接合後の積層材をならいフライス盤にて、外周より削
り出すことにより行なわ扛る。しかし、この加工方法に
よると除去加工部分が多く、加工工数が大となる欠点が
ある。また、翼の外表面仕上でも上記フライス加工後、
ならい研削加工を行なうが、冷却空気の噴出孔４が切削
・研削パリの発生により目づまＶを生じる欠点がある。
本発明は、上記の欠点を排除するためになさｎたもので
、効率的に翼形状の加工及びノクリの出ない仕上けを行
うことのできるウニノ・積層型空冷翼の製造方法を提供
するものである。
、効率的に翼形状の加工及びノクリの出ない仕上けを行
うことのできるウニノ・積層型空冷翼の製造方法を提供
するものである。
すなわち本発明は、ウニノ・積層型空冷翼の製造方法に
おいて、ウェハ素材をフォトケミカル加工法により空冷
翼の内部空間部となる部分及び冷却空気噴出孔となる部
分を加工し、該加工後のウェハ素材な積層し、かつ両端
にシュラウドを積層整合させたものを拡散接合してウニ
ノ・積層型空冷翼素材とし、次いでワイヤカット放電加
工法により該ウニノ・積層型空冷翼素材から翼の内縁お
よび外縁を加工して翼本体を形成後、該加工の残材の１
部または別の材料よシ翼端部のシュラウドを別途形成し
て、前記翼本体と嵌合させて溶融溶接することを特徴と
するウェハ積層型空冷翼の製造方法に関するものでおる
。
おいて、ウェハ素材をフォトケミカル加工法により空冷
翼の内部空間部となる部分及び冷却空気噴出孔となる部
分を加工し、該加工後のウェハ素材な積層し、かつ両端
にシュラウドを積層整合させたものを拡散接合してウニ
ノ・積層型空冷翼素材とし、次いでワイヤカット放電加
工法により該ウニノ・積層型空冷翼素材から翼の内縁お
よび外縁を加工して翼本体を形成後、該加工の残材の１
部または別の材料よシ翼端部のシュラウドを別途形成し
て、前記翼本体と嵌合させて溶融溶接することを特徴と
するウェハ積層型空冷翼の製造方法に関するものでおる
。
第２〜４図は本発明方法の一実施態様例を工程順に示す
図である。
図である。
第２図は、第１図（Ａ）と同様の方法でフォトケミカル
加工後、第１図（Ｂ）と同様の方法で拡散接訃合しｔ後
の積層材形状を示している。すなわち、積層したウェハ
２１の両端にシュラウド２５ｔ″積層整合させ、拡散接
合してなる空冷翼素材１００ｔ−示している。シュラウ
ド２５には位置決め穴２３が貫通加工さｎている。
加工後、第１図（Ｂ）と同様の方法で拡散接訃合しｔ後
の積層材形状を示している。すなわち、積層したウェハ
２１の両端にシュラウド２５ｔ″積層整合させ、拡散接
合してなる空冷翼素材１００ｔ−示している。シュラウ
ド２５には位置決め穴２３が貫通加工さｎている。
第２図に示した空冷翼素材１００を、翼の内縁は位置決
め穴２３よりワイヤカット放電加工（以下、ワイヤカッ
トＥＤＭと称す）用の電極を通して、翼の外縁は空冷翼
素材１００の外周より、ワイヤカットＫＤＭにより翼の
プロフィール加工を行なったものを第３図に示す。冷却
空気の噴出孔２４は、前記した従来の加工法（切削・研
削）とは異なって目づまりのないものが得らｎる。なお
、第３図中、２６は内部空間を示している。
め穴２３よりワイヤカット放電加工（以下、ワイヤカッ
トＥＤＭと称す）用の電極を通して、翼の外縁は空冷翼
素材１００の外周より、ワイヤカットＫＤＭにより翼の
プロフィール加工を行なったものを第３図に示す。冷却
空気の噴出孔２４は、前記した従来の加工法（切削・研
削）とは異なって目づまりのないものが得らｎる。なお
、第３図中、２６は内部空間を示している。
第４図はワイヤカットＫＤＭによって得らｎた翼本体に
別途機械加工により得らｎるシュラウド２５′を嵌合し
、溶融溶接等の方法により溶接２７さｎて一体型に製造
さｎたウニノ・積層型空冷翼１０１を示している。
別途機械加工により得らｎるシュラウド２５′を嵌合し
、溶融溶接等の方法により溶接２７さｎて一体型に製造
さｎたウニノ・積層型空冷翼１０１を示している。
以上詳述したように本発明方法によｎば、ワイヤカッ）
ＦｉＤＭとＴＩＧ等の溶接の組合せにより、従来一体型
の削り出し加工法の不具合でおった翼表面の冷却空気噴
出孔の目づまりを防止し、加工精度の向上を得ることが
できる。
ＦｉＤＭとＴＩＧ等の溶接の組合せにより、従来一体型
の削り出し加工法の不具合でおった翼表面の冷却空気噴
出孔の目づまりを防止し、加工精度の向上を得ることが
できる。
また、省資源的見地から第２図の空冷翼素材１００から
第３図の翼本体１０１を加工した残りの抜は型の両端部
の板材を利用して、第４図に示すシェラウド２５′ヲ形
成することもできる。
第３図の翼本体１０１を加工した残りの抜は型の両端部
の板材を利用して、第４図に示すシェラウド２５′ヲ形
成することもできる。
さらに、抜は型の残部より、拡散接合の品質を調査する
為の各種試験片を採取し、性能評価することができる等
、種々の効果を奏することができる。
為の各種試験片を採取し、性能評価することができる等
、種々の効果を奏することができる。
第１図（Ａ）〜（０）は従来者えらｎていたウニノ・積
層型空冷翼の製造方法を説明するための図、第２〜４図
は本発明方法の一実施態様例を示す図である。 第１図 （Ａ） （ａ）−−−−−（１））−−−−−（Ｃ）−血）（８
） （α）（ｂ） （Ｃ）
層型空冷翼の製造方法を説明するための図、第２〜４図
は本発明方法の一実施態様例を示す図である。 第１図 （Ａ） （ａ）−−−−−（１））−−−−−（Ｃ）−血）（８
） （α）（ｂ） （Ｃ）
Claims (1)
- ウェハ積層型空冷翼の製造方法において、ウェハ素材を
フォトケミカル加工法により空冷翼の内部空間部となる
部分及び冷却空気噴出孔となる部分を加工し、該加工後
のウニノ・素材を積層し、かつ両端にシュラウドを積層
整合妊せたものを拡散接合してウェハ積層型空冷翼素材
とし、次いでワイヤカット放電加工法により該ウェハ積
層型空冷翼素材から翼の内縁および外縁を加工して具本
体を形成後、該加工の残材の１部または別の材料により
翼端部のシュラウドを別途形成して、前記具本体と嵌合
させて溶融溶接することを特徴とするウェハ積層型空冷
翼の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58179378A JPS6071128A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | ウエハ積層型空冷翼の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58179378A JPS6071128A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | ウエハ積層型空冷翼の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071128A true JPS6071128A (ja) | 1985-04-23 |
| JPS6161933B2 JPS6161933B2 (ja) | 1986-12-27 |
Family
ID=16064808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58179378A Granted JPS6071128A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | ウエハ積層型空冷翼の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071128A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2007032114A1 (ja) * | 2005-09-15 | 2009-03-19 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置およびワイヤ放電加工方法 |
| CN103801912A (zh) * | 2014-02-26 | 2014-05-21 | 上海电气电站设备有限公司 | 燃气轮机压气机静叶环的加工方法 |
| CN108788648A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-13 | 歌尔股份有限公司 | 治具的加工方法、治具和车床 |
| CN108994543A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-12-14 | 沈阳富创精密设备有限公司 | 一种ic装备结构件的加工工艺 |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58179378A patent/JPS6071128A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2007032114A1 (ja) * | 2005-09-15 | 2009-03-19 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置およびワイヤ放電加工方法 |
| JP5037941B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2012-10-03 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置およびワイヤ放電加工方法 |
| CN103801912A (zh) * | 2014-02-26 | 2014-05-21 | 上海电气电站设备有限公司 | 燃气轮机压气机静叶环的加工方法 |
| CN108788648A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-13 | 歌尔股份有限公司 | 治具的加工方法、治具和车床 |
| CN108994543A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-12-14 | 沈阳富创精密设备有限公司 | 一种ic装备结构件的加工工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6161933B2 (ja) | 1986-12-27 |
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