JPS6071668U - 真空蒸着機用基板ホルダ - Google Patents

真空蒸着機用基板ホルダ

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JPS6071668U
JPS6071668U JP16361683U JP16361683U JPS6071668U JP S6071668 U JPS6071668 U JP S6071668U JP 16361683 U JP16361683 U JP 16361683U JP 16361683 U JP16361683 U JP 16361683U JP S6071668 U JPS6071668 U JP S6071668U
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JP
Japan
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substrate holder
vacuum evaporation
evaporation machine
sample
utility
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Pending
Application number
JP16361683U
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English (en)
Inventor
元宏 河野
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Faurecia Clarion Electronics Co Ltd
Original Assignee
Clarion Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来用いられている蒸着機の基板ホルダの一部
切り開いた側面図、第２図は真空蒸着機全体の構成を図
式的に示す側面図、第３図ａおよびｂは本考案による基
板ホルダのそれぞれ上面図および断面図である。 １・・・・・・基板ホルダ、２・・・・・・ベルジャ、
３・・・・・・蒸発源、４・・・・・・シャッタ、５・
・・・・・基板ホルダの支柱、６・・・・・・本来の意
味の基板ホルダ、６ａ・・・・・・本来の意味の基板ホ
ルダの上面の周囲に設けられた窪み、６ｂ・・・・・・
支柱を通すための貫通孔、７・・・・・・試料を載置す
るための孔、８・・・・・・試料、９・・・・・・蓋、
９ａ・・・・・・縁の立上り、９ｂ・・・・・・支柱を
通すための貫通孔。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）試料の金属を蒸着しようとする面とは反対側の面
    に対向するように蓋を有することを特徴とする真空蒸着
    機用基板ホルダ。
  2. （２）材質が石英であることを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項記載の真空蒸着機用基板ホルダ。
  3. （３）　　一方の面に金属を蒸着しようとする試料を取
    り付けたとき、上記試料の他方の面と上記蓋の間に間隙
    が存在することを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    １項記載の真空蒸着機用基板ホルダ。
JP16361683U 1983-10-21 1983-10-21 真空蒸着機用基板ホルダ Pending JPS6071668U (ja)

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