JPS6071669U - スプレイエツチング装置 - Google Patents

スプレイエツチング装置

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Publication number
JPS6071669U
JPS6071669U JP16062683U JP16062683U JPS6071669U JP S6071669 U JPS6071669 U JP S6071669U JP 16062683 U JP16062683 U JP 16062683U JP 16062683 U JP16062683 U JP 16062683U JP S6071669 U JPS6071669 U JP S6071669U
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JP
Japan
Prior art keywords
spray
spray etching
etching equipment
nozzle
atmosphere
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Pending
Application number
JP16062683U
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English (en)
Inventor
仲山　浩偉
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS6071669U publication Critical patent/JPS6071669U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のスプレィエツチング状態の縦断面図、
第２図は従来のノズルパターン配列の、平面図、第３図
はエツチング対象物表面が大気にふれにくい場合のスプ
レィエツチング状態の縦断面図、第４図は、第３図のノ
ズルパターン配列の平面図である。 １・・・・・・スプレーノズル取付用配管、２・・・・
・・スプレーノズル、３・・・・・・エツチング対象物
、４・・・・・・スプレー形状、５・・・・・・ノズル
パターン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スプレーノズル取り付は配管上スプレィノズルよりなる
    スプレィエツチング部、およびスプレィ洗浄部において
    、エツチング対象物の表面が大気にふれにくいノズル配
    列にしたことを特徴とするスプレィエツチング装置。
JP16062683U 1983-10-19 1983-10-19 スプレイエツチング装置 Pending JPS6071669U (ja)

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JP16062683U JPS6071669U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 スプレイエツチング装置

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JP16062683U JPS6071669U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 スプレイエツチング装置

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JPS6071669U true JPS6071669U (ja) 1985-05-21

Family

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JP16062683U Pending JPS6071669U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 スプレイエツチング装置

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