JPS607191B2 - リング状ワ−クの乾燥装置 - Google Patents
リング状ワ−クの乾燥装置Info
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- JPS607191B2 JPS607191B2 JP7131176A JP7131176A JPS607191B2 JP S607191 B2 JPS607191 B2 JP S607191B2 JP 7131176 A JP7131176 A JP 7131176A JP 7131176 A JP7131176 A JP 7131176A JP S607191 B2 JPS607191 B2 JP S607191B2
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- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims description 94
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 13
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000011899 heat drying method Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014593 oils and fats Nutrition 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は遠心力を利用して貫通孔を有するワークの乾
燥を行なう乾燥装置に関するものである。
燥を行なう乾燥装置に関するものである。
従来、乾燥方式としては熱乾燥炉や熱風乾燥装置の如き
熱乾燥方式及び脱水機の如き遠心力乾燥方式が用いられ
ていたが、前者の場合熱源に大きなエネルギーが必要で
ある。
熱乾燥方式及び脱水機の如き遠心力乾燥方式が用いられ
ていたが、前者の場合熱源に大きなエネルギーが必要で
ある。
また周囲の環境保全及びエネルギーの有効利用の為に大
がかりな断熱カバーが必要で装置全体が大型化する。再
に熱源にコストを低減させるため油脂類を使用するとが
多く、火災等の危険が伴う。自動搬送ラインに組込んだ
場合断熱方法が熱損の大きなものになる。乾燥させるワ
ークによっては一度上昇した温度を常温に下げる冷却工
程が必要である等種々の欠点があった。また後者の場合
、乾燥時にワークの位置決め、姿勢固定が困難であるた
めワーク個々の乾燥状態が一定に保てない。また複雑形
状のワークの乾燥ができない。更にワークの自動搬送が
困難である等の種々の欠点があった。この発明は上記種
々の欠点に鑑み研究開発したもので、特にベアリングの
如き大量に連続生産されるワークを一個づつ自動装填し
、遠心力により付着している油分を除去し、安定した乾
燥状態で次工程へ搬送可能となした小型の乾燥装置を提
供せんとするものである。
がかりな断熱カバーが必要で装置全体が大型化する。再
に熱源にコストを低減させるため油脂類を使用するとが
多く、火災等の危険が伴う。自動搬送ラインに組込んだ
場合断熱方法が熱損の大きなものになる。乾燥させるワ
ークによっては一度上昇した温度を常温に下げる冷却工
程が必要である等種々の欠点があった。また後者の場合
、乾燥時にワークの位置決め、姿勢固定が困難であるた
めワーク個々の乾燥状態が一定に保てない。また複雑形
状のワークの乾燥ができない。更にワークの自動搬送が
困難である等の種々の欠点があった。この発明は上記種
々の欠点に鑑み研究開発したもので、特にベアリングの
如き大量に連続生産されるワークを一個づつ自動装填し
、遠心力により付着している油分を除去し、安定した乾
燥状態で次工程へ搬送可能となした小型の乾燥装置を提
供せんとするものである。
以下その構成を図面に示す実施例について説明すると次
の通りである。第1図に於いて、aはワークイの自動着
脱手段、bは着脱手段aをワークイの装填位置と乾燥位
置とに揺動させる揺動手段、cは着脱手段aを回転させ
る回転手段で上記各手段により乾燥装置が構成される。
着脱手段aは乾燥へッドー、チャッキング爪2、チャッ
キング爪作動軸3、チャッキング作動バネ4で構成され
る。即ち、乾燥ヘッド1の先部に複数個の切欠溝5を長
手方向に設け、切欠溝5内にチヤッキング爪2をピン6
により揺動自在に枢着し、乾燥ヘッド1内にチャッキン
グ作動バネ4を介してチャッキング作動鍬3を摺動自在
に挿入し、チャッキング作動軸3を上下動させることに
よりそのテーパ一面でチャッキング爪2を内外方向に揺
動させてワークイの着脱を行なう。チャッキング作動軸
3はチャッキング作動バネ4により常に上方に押付けら
れ、上昇端にあるときはチヤツキング爪2を外方に拡張
保持する。チャッキング爪2の上部外側にフック2aを
形成し、ワークイを装填した状態で回転した時に発生す
る遠心力によるワークイの飛び出しを防止する。揺動手
段bは乾燥へッド取付部7、乾燥ヘッド倒しアーム8、
乾燥ヘッド倒し軸9、乾燥ヘッド倒しカムフオロア−1
0、芯出し調整ネジ11で構成される。即ち、乾燥ヘッ
ド倒し軸9の上端にL形の乾燥ヘッド倒しアーム8をボ
ルトで締付固定し、乾燥ヘッド倒しアーム8の上端部に
乾燥ヘッド倒しカムフオロアー10を取付け、このカム
フオロアー10を乾燥へッド取付部7に設けた長窓7a
に挿通係止させ、乾燥ヘッド倒し軸9を上下動させるこ
とによりカムフオロアー10を最窓7a内で摺動させ、
ガイドさせて乾燥へッド取付部7を乾燥位置或は装填位
置に傾斜。復帰させる。上記乾燥へッド取付部7上に乾
燥へッドーをボルトで締付固定する。乾燥へッド取付部
7の傾斜角はその上面に直立状に固定した乾燥へッドー
が略55o傾斜する角度に設定しておく。上記乾燥へッ
ド取付部7は回転手段cを構成する円筒状の回転軸12
の上部にピン13で摺動自在に取付けられる。芯出し調
整ネジ11は回転軸12の上部外側に取付けられ、乾燥
へッドーの復帰時の立上り位置を決める。回転軸12の
中空内に上記乾燥ヘッド倒し軸9が摺動自在に挿入され
る。回転軸12の下端に駆動プーリー14が嫉合固定さ
れ、この駆動プーリー14により駆動モーター(図示せ
ず)の回転運動を回転軸12に伝達する。15は乾燥ヘ
ッド倒し軸9の下端に軸受16を介して敗付けた連結部
材で、下部にクランクアーム17が固定してあり、回転
ドラム(図示せず)の回転運動をクランクアーム17を
介して上下運動になし乾燥ヘッド倒し軸9に伝達する。
の通りである。第1図に於いて、aはワークイの自動着
脱手段、bは着脱手段aをワークイの装填位置と乾燥位
置とに揺動させる揺動手段、cは着脱手段aを回転させ
る回転手段で上記各手段により乾燥装置が構成される。
着脱手段aは乾燥へッドー、チャッキング爪2、チャッ
キング爪作動軸3、チャッキング作動バネ4で構成され
る。即ち、乾燥ヘッド1の先部に複数個の切欠溝5を長
手方向に設け、切欠溝5内にチヤッキング爪2をピン6
により揺動自在に枢着し、乾燥ヘッド1内にチャッキン
グ作動バネ4を介してチャッキング作動鍬3を摺動自在
に挿入し、チャッキング作動軸3を上下動させることに
よりそのテーパ一面でチャッキング爪2を内外方向に揺
動させてワークイの着脱を行なう。チャッキング作動軸
3はチャッキング作動バネ4により常に上方に押付けら
れ、上昇端にあるときはチヤツキング爪2を外方に拡張
保持する。チャッキング爪2の上部外側にフック2aを
形成し、ワークイを装填した状態で回転した時に発生す
る遠心力によるワークイの飛び出しを防止する。揺動手
段bは乾燥へッド取付部7、乾燥ヘッド倒しアーム8、
乾燥ヘッド倒し軸9、乾燥ヘッド倒しカムフオロア−1
0、芯出し調整ネジ11で構成される。即ち、乾燥ヘッ
ド倒し軸9の上端にL形の乾燥ヘッド倒しアーム8をボ
ルトで締付固定し、乾燥ヘッド倒しアーム8の上端部に
乾燥ヘッド倒しカムフオロアー10を取付け、このカム
フオロアー10を乾燥へッド取付部7に設けた長窓7a
に挿通係止させ、乾燥ヘッド倒し軸9を上下動させるこ
とによりカムフオロアー10を最窓7a内で摺動させ、
ガイドさせて乾燥へッド取付部7を乾燥位置或は装填位
置に傾斜。復帰させる。上記乾燥へッド取付部7上に乾
燥へッドーをボルトで締付固定する。乾燥へッド取付部
7の傾斜角はその上面に直立状に固定した乾燥へッドー
が略55o傾斜する角度に設定しておく。上記乾燥へッ
ド取付部7は回転手段cを構成する円筒状の回転軸12
の上部にピン13で摺動自在に取付けられる。芯出し調
整ネジ11は回転軸12の上部外側に取付けられ、乾燥
へッドーの復帰時の立上り位置を決める。回転軸12の
中空内に上記乾燥ヘッド倒し軸9が摺動自在に挿入され
る。回転軸12の下端に駆動プーリー14が嫉合固定さ
れ、この駆動プーリー14により駆動モーター(図示せ
ず)の回転運動を回転軸12に伝達する。15は乾燥ヘ
ッド倒し軸9の下端に軸受16を介して敗付けた連結部
材で、下部にクランクアーム17が固定してあり、回転
ドラム(図示せず)の回転運動をクランクアーム17を
介して上下運動になし乾燥ヘッド倒し軸9に伝達する。
18は油受用カバーで着脱手段a及び揺動手段bを被覆
する如く取付けられ、乾燥時にワークイから飛散する油
を外部に飛び出さないようにする。
する如く取付けられ、乾燥時にワークイから飛散する油
を外部に飛び出さないようにする。
そして油受用カバー181こ溜まった油は下面の適当位
置に設けた排出口(図示せず)より外部に排出する。尚
、図中19,20は乾燥ヘッド倒し軸9の軸受、21,
22は回転軸12の軸受用テーパーベアリング、29は
上部軸受ケース、24は下部軸受ケースである。着脱手
段aにワークイを搬入或は搬送する手段dは第2図及び
第3図に示す如く着脱手脱aの上部に配され、ローダー
軸25、ローダーアーム26、外掴みローダーチャック
27で構成される。即ち、所定角度でくの字状に形成さ
れたローダーアーム26の両端に外掴みローダーチャッ
ク27を取付け、ローダーアーム26の中心部をローダ
ー軸26の上部に固定し、このローダー軸25を上下動
させ、回転させることによりコンベア28のローディン
グ位置上のワークイを乾燥ヘッド1上に搬送し、装填さ
せる。上記ローダー鍬25は2本並列上に直立固定し、
ローダーアーム26,26は120o相対した位置に配
置し、ローダーチャツク27を1800相対する位置に
配置する。またローダーアーム26,26の回転停止位
置の精度を上げるためにローダーアーム位置決めブロッ
ク(図示せず)等が設けてある。尚、ローダー軸25を
上下動及び回転動させる機構、またローダーチャツク2
7のチャッキング方法の詳細な説明はこの発明の本質と
は直接関係がないので省略する。この発明の第2のポイ
ントであるバランスウェイト29は第1図に示す如く乾
燥へッド取付部7の側部に所定角度をもって取付けられ
る。
置に設けた排出口(図示せず)より外部に排出する。尚
、図中19,20は乾燥ヘッド倒し軸9の軸受、21,
22は回転軸12の軸受用テーパーベアリング、29は
上部軸受ケース、24は下部軸受ケースである。着脱手
段aにワークイを搬入或は搬送する手段dは第2図及び
第3図に示す如く着脱手脱aの上部に配され、ローダー
軸25、ローダーアーム26、外掴みローダーチャック
27で構成される。即ち、所定角度でくの字状に形成さ
れたローダーアーム26の両端に外掴みローダーチャッ
ク27を取付け、ローダーアーム26の中心部をローダ
ー軸26の上部に固定し、このローダー軸25を上下動
させ、回転させることによりコンベア28のローディン
グ位置上のワークイを乾燥ヘッド1上に搬送し、装填さ
せる。上記ローダー鍬25は2本並列上に直立固定し、
ローダーアーム26,26は120o相対した位置に配
置し、ローダーチャツク27を1800相対する位置に
配置する。またローダーアーム26,26の回転停止位
置の精度を上げるためにローダーアーム位置決めブロッ
ク(図示せず)等が設けてある。尚、ローダー軸25を
上下動及び回転動させる機構、またローダーチャツク2
7のチャッキング方法の詳細な説明はこの発明の本質と
は直接関係がないので省略する。この発明の第2のポイ
ントであるバランスウェイト29は第1図に示す如く乾
燥へッド取付部7の側部に所定角度をもって取付けられ
る。
即ち、乾燥へッド取付部7の側部に鉄合固定されそのネ
ジ部30aを突出させたバランスウェイト取付軸30‘
こバランスウェイト29を螺合させ、乾燥へッドーが傾
斜した状態で回転した時に発生する遠心力をバランスさ
せ、ヮークイの安定した乾燥状態を保持させる。またこ
のバランスウェイト29は乾燥対象のワークの種類によ
って取付位置を調整する。31はナット部材でバランス
ウェイト29の取付位置がずれないようにしてある。
ジ部30aを突出させたバランスウェイト取付軸30‘
こバランスウェイト29を螺合させ、乾燥へッドーが傾
斜した状態で回転した時に発生する遠心力をバランスさ
せ、ヮークイの安定した乾燥状態を保持させる。またこ
のバランスウェイト29は乾燥対象のワークの種類によ
って取付位置を調整する。31はナット部材でバランス
ウェイト29の取付位置がずれないようにしてある。
上記構成でワークの乾燥を行なうには、まずoーダー軸
25を下降させ、ワーク定鞍装置(図示せず)によりコ
ンベア28上を搬送されてきたワークイ上にローダーア
ーム26を下降させてローダーチャック27にワークイ
を掴ませる。
25を下降させ、ワーク定鞍装置(図示せず)によりコ
ンベア28上を搬送されてきたワークイ上にローダーア
ーム26を下降させてローダーチャック27にワークイ
を掴ませる。
ワークイを掴んだ状態でローダー軸25を上昇させ、ロ
ーダーチャック27が乾燥へッドーの上部にくる位置ま
で、即ち120o回転させ、再び下降させてワークイを
乾燥ヘッド1の装填位置に装填させる。この時ローダー
チャック27は乾燥ヘッド1のチャッキング爪作動軸3
をチャッキング作動バネ4に抗して押付けながら下降し
、チャッキング爪2を内方向に縮小させ、ワークイを装
填位置に装填し、上昇する。ローダーチヤック27が上
昇するとチャッキング爪作動軸3がチャッキング作動バ
ネ4により上昇し、チャッキング爪2を拡関させワーク
イを固定する。ワークイが乾燥ヘッド1に装填されると
、回転ドラムが動作し、クランクアーム17を介して乾
燥ヘッド倒し軸9を下降させる。乾燥ヘッド倒し軸9が
下降するとそれと共に乾燥ヘッド倒しアーム8が下降し
、その上端に設けた乾燥ヘッド倒しカムフオロアー10
が乾燥へッド取付部7をガイドして下降するので乾燥へ
ッド取付部7が乾燥位置(略55o)に煩斜する。この
動作中回転軸12は回転を止めずワークイの乾燥を行な
う。この時バランスウェイト29は乾燥させるワークに
応じてその取付位置を決めておき、遠0力をバランスさ
せ乾燥ヘッド1を安定させる。ワークイの乾燥が完了す
ると、乾燥ヘッド倒し軸9を上昇させ、乾燥ヘッド倒し
アーム8を上昇させて乾燥へッドーを元の装填位置(垂
直位置)に復帰させる。そしてローダー軸25を下降さ
せ、ローダーアーム25を下降させてローダーチャック
27を乾燥へッドーの装填位置まで下降させ、乾燥後の
ヮークイを掴ませる。ローダーチャック27がワークイ
を掴むとローダー軸25を上昇させ、搬出用コンベア3
2の排出点(120o)まで回転させ、ワークイを排出
して次工程へ搬送する。尚、乾燥ヘッド1を常に回転さ
せた状態でワークイを装填し、傾斜させて乾燥させ、排
出させることにより作業能率が向上できる。以上説明し
た様にこの発明はローダー軸を中心としてワークの搬入
・搬出位置及び乾燥位置へ水平に旋回可能とされ、かつ
、それぞれの位置で上下に昇降可能とされたローダーア
ームと、該ローダーアームの先端に設けられ、リング状
ワークの貫通孔を上下方向に向けた状態で該ローダーア
ームの上下動に関連して該ワークを把持解放する外掴み
ローダーチャックとを具備するワークの搬入・搬出手段
と、筒状をなす乾燥ヘッドの上部周囲にピンを介して拡
縮可能に取付けられ、先端部外面にフック部を有し、リ
ング状ワークの内径に挿通されてワークを内径で拡張保
持可能とされた複数個のチャッキング爪と、各チャッキ
ング爪の内面に当接させて該乾燥ヘッド内に昇降可能に
収容され、常時バネで押し上げられてチャッキング爪を
拡張させ、前記ローダーアームの下降時、前記ローダー
チャツクの一部で上記バネに抗して押し下げられてチャ
ッキング爪を縦淫させるチャッキング爪作動軸とを備え
たワーク着脱手段と、ワーク着脱手段を縦方向の回転軸
の上端に起伏可能に支持し、ワークの着脱時、乾燥ヘッ
ドを起立させ、ワーク乾燥時、乾燥ヘッドを傾倒させる
揺動手段と、上記縦方向の回転軸を介してワーク着脱手
段に回転を与える手段と、ワーク着脱手段を包囲する油
受用カバーとからなり、上記乾燥ヘッドを起立させてロ
ーダーチヤツクと同D状に対向させてワークの着脱を行
わせるようになし、しかも、乾燥ヘッドを傾倒状態で旋
回させてワークの乾燥を行わせるようにしたから、従来
の熱乾燥方式に比べエネルギー源である電力の消費量が
少なくできる。
ーダーチャック27が乾燥へッドーの上部にくる位置ま
で、即ち120o回転させ、再び下降させてワークイを
乾燥ヘッド1の装填位置に装填させる。この時ローダー
チャック27は乾燥ヘッド1のチャッキング爪作動軸3
をチャッキング作動バネ4に抗して押付けながら下降し
、チャッキング爪2を内方向に縮小させ、ワークイを装
填位置に装填し、上昇する。ローダーチヤック27が上
昇するとチャッキング爪作動軸3がチャッキング作動バ
ネ4により上昇し、チャッキング爪2を拡関させワーク
イを固定する。ワークイが乾燥ヘッド1に装填されると
、回転ドラムが動作し、クランクアーム17を介して乾
燥ヘッド倒し軸9を下降させる。乾燥ヘッド倒し軸9が
下降するとそれと共に乾燥ヘッド倒しアーム8が下降し
、その上端に設けた乾燥ヘッド倒しカムフオロアー10
が乾燥へッド取付部7をガイドして下降するので乾燥へ
ッド取付部7が乾燥位置(略55o)に煩斜する。この
動作中回転軸12は回転を止めずワークイの乾燥を行な
う。この時バランスウェイト29は乾燥させるワークに
応じてその取付位置を決めておき、遠0力をバランスさ
せ乾燥ヘッド1を安定させる。ワークイの乾燥が完了す
ると、乾燥ヘッド倒し軸9を上昇させ、乾燥ヘッド倒し
アーム8を上昇させて乾燥へッドーを元の装填位置(垂
直位置)に復帰させる。そしてローダー軸25を下降さ
せ、ローダーアーム25を下降させてローダーチャック
27を乾燥へッドーの装填位置まで下降させ、乾燥後の
ヮークイを掴ませる。ローダーチャック27がワークイ
を掴むとローダー軸25を上昇させ、搬出用コンベア3
2の排出点(120o)まで回転させ、ワークイを排出
して次工程へ搬送する。尚、乾燥ヘッド1を常に回転さ
せた状態でワークイを装填し、傾斜させて乾燥させ、排
出させることにより作業能率が向上できる。以上説明し
た様にこの発明はローダー軸を中心としてワークの搬入
・搬出位置及び乾燥位置へ水平に旋回可能とされ、かつ
、それぞれの位置で上下に昇降可能とされたローダーア
ームと、該ローダーアームの先端に設けられ、リング状
ワークの貫通孔を上下方向に向けた状態で該ローダーア
ームの上下動に関連して該ワークを把持解放する外掴み
ローダーチャックとを具備するワークの搬入・搬出手段
と、筒状をなす乾燥ヘッドの上部周囲にピンを介して拡
縮可能に取付けられ、先端部外面にフック部を有し、リ
ング状ワークの内径に挿通されてワークを内径で拡張保
持可能とされた複数個のチャッキング爪と、各チャッキ
ング爪の内面に当接させて該乾燥ヘッド内に昇降可能に
収容され、常時バネで押し上げられてチャッキング爪を
拡張させ、前記ローダーアームの下降時、前記ローダー
チャツクの一部で上記バネに抗して押し下げられてチャ
ッキング爪を縦淫させるチャッキング爪作動軸とを備え
たワーク着脱手段と、ワーク着脱手段を縦方向の回転軸
の上端に起伏可能に支持し、ワークの着脱時、乾燥ヘッ
ドを起立させ、ワーク乾燥時、乾燥ヘッドを傾倒させる
揺動手段と、上記縦方向の回転軸を介してワーク着脱手
段に回転を与える手段と、ワーク着脱手段を包囲する油
受用カバーとからなり、上記乾燥ヘッドを起立させてロ
ーダーチヤツクと同D状に対向させてワークの着脱を行
わせるようになし、しかも、乾燥ヘッドを傾倒状態で旋
回させてワークの乾燥を行わせるようにしたから、従来
の熱乾燥方式に比べエネルギー源である電力の消費量が
少なくできる。
実際電力消費量は熱乾燥方式の約1′10となった。ま
たワークを一個づつ乾燥へッド‘こ装填させて乾燥させ
るから安定した状態で乾燥でき、しかも自動的に装填、
乾燥、搬出ができる。また駆動モー夕の回転制御でワー
クの種類にかわらず一定の安定した乾燥状態がえられる
。またラジアルボールベアリングの乾燥の場合は乾燥ヘ
ッド(ワーク)の頭斜角によりベアリング内部(リテナ
ー、レースの凹部)の乾燥し‘こくい部分も油分が除去
される。また熱乾燥方式のように冷却工程や断熱部材が
必要でないので装置全体が小型になった。更に本発明は
バランスウェイトを設けたので乾燥するワークにかかわ
らず乾燥ヘッドを安定した状態で回転させることができ
乾燥状態が一定に保持できる。また上記構成でベアリン
グ表面に一定量の油を付着させる必要のある防錆ライン
等にも利用可能である。
たワークを一個づつ乾燥へッド‘こ装填させて乾燥させ
るから安定した状態で乾燥でき、しかも自動的に装填、
乾燥、搬出ができる。また駆動モー夕の回転制御でワー
クの種類にかわらず一定の安定した乾燥状態がえられる
。またラジアルボールベアリングの乾燥の場合は乾燥ヘ
ッド(ワーク)の頭斜角によりベアリング内部(リテナ
ー、レースの凹部)の乾燥し‘こくい部分も油分が除去
される。また熱乾燥方式のように冷却工程や断熱部材が
必要でないので装置全体が小型になった。更に本発明は
バランスウェイトを設けたので乾燥するワークにかかわ
らず乾燥ヘッドを安定した状態で回転させることができ
乾燥状態が一定に保持できる。また上記構成でベアリン
グ表面に一定量の油を付着させる必要のある防錆ライン
等にも利用可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る乾燥装置の主要部を示す断面図、
第2図及び第3図は乾燥装置と他の装置との関係及び配
置の概略を示す図面である。 a・…・・着脱手段、b・…・・揺動手段、c…・・・
回転手段、d・・・・・・ワークの搬入・搬出手段、イ
・・・・・・ワーク、18…・・・油受用カバー、29
…・・・バランスウエイト。第1図 第2図 第3図
第2図及び第3図は乾燥装置と他の装置との関係及び配
置の概略を示す図面である。 a・…・・着脱手段、b・…・・揺動手段、c…・・・
回転手段、d・・・・・・ワークの搬入・搬出手段、イ
・・・・・・ワーク、18…・・・油受用カバー、29
…・・・バランスウエイト。第1図 第2図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ローダー軸を中心としてワークの搬入・搬出位置及
び乾燥位置へ水平に旋回可能とされ、かつ、それぞれの
位置で上下に昇降可能とされたローダーアームと、該ロ
ーダーアームの先端に設けられ、リング状ワークの貫通
孔を上下方向に向けた状態で該ローダーアームの上下動
に関連して該ワークを把持解放する外掴みローダーチヤ
ツクとを具備するワークの搬入・搬出手段と、筒状をな
す乾燥ヘツドの上部周囲にピンを介して拡縮可能に取付
けられ、先端部外面にフツク部を有し、リング状ワーク
の内径に挿通されてワークを内径で拡張保持可能とされ
た複数個のチヤツキング爪と、各チヤツキング爪の内面
に当接させて該乾燥ヘツド内に昇降可能に収容され、常
時バネで押し上げられてチヤツキング爪を拡張させ、前
記ローダーアームの下降時、前記ローダーチヤツクの一
部で上記バネに抗して押し下げられてチヤツキング爪を
縮径させるチヤツキング爪作動軸とを備えたワーク着脱
手段と、ワーク着脱手段を縦方向の回転軸の上端に起伏
可能に支持し、ワークの着脱時、乾燥ヘツドを起立させ
、ワーク乾燥時、乾燥ヘツドを傾倒させる揺動手段と、
上記縦方向の回転軸を介してワーク着脱手段に回転を与
える手段と、ワーク着脱手段を包囲する油受用カバーと
からなり、上記乾燥ヘツドを起立させてローダーチヤツ
クと同心状に対向させてワークの着脱を行わしめるよう
になし、しかも、乾燥ヘツドを傾倒状態で旋回させてワ
ークの乾燥を行わせるようになしたことを特徴とするリ
ング状ワークの乾燥装置。 2 ローダー軸を中心としてワークの搬入・搬出位置及
び乾燥位置へ水平に旋回可能とされ、かつ、それぞれの
位置で上下に昇降可能とされたローダーアームと、該ロ
ーダーアームの先端に設けられ、リング状ワークの貫通
孔を上下方向に向けた状態で該ローダーアームの上下動
に関連して該ワークを把持解放する外掴みローダーチヤ
ツクとを具備するワークの搬入・搬出手段と、筒状をな
す乾燥ヘツドの上部周囲にビンを介して拡縮可能に取付
けられ、先端部外面にフツク部を有し、リング状ワーク
の内径に挿通されてワークを内径で拡張保持可能とされ
た複数個のチヤツキング爪と、各チヤツキング爪の内面
に当接させて該乾燥ヘツド内に昇降可能に収容され、常
時バネで押し上げられてチヤツキング爪を拡張させ、前
記ローダーアームの下降時、前記ローダーチヤツクの一
部で上記バネに抗して押し下げられてチヤツキング爪を
縮径させるチヤツキング爪作動軸とを備えたワーク着脱
手段と、ワーク着脱手段を縦方向の回転軸の上端に起伏
可能に支持し、ワークの着脱時、乾燥ヘツドを起立させ
、ワーク乾燥時、乾燥ヘツドを傾倒させる揺動手段と、
上記縦方向の回転軸を介してワーク着脱手段に回転を与
える手段と、ワーク着脱手段を包囲する油受用カバーと
、乾燥ヘツドの外周一部で、かつ、乾燥ヘツドの傾倒方
向と反対方向に取付けたバランスウエイトとからなり、
上記乾燥ヘツドを起立させてローダーチヤツクと同心状
に対向させてワークの着脱を行わせるようになし、しか
も、乾燥ヘツドを傾倒状態で旋回させてワークの乾燥を
行わせるようになしたことを特徴とするリング状ワーク
の乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7131176A JPS607191B2 (ja) | 1976-06-16 | 1976-06-16 | リング状ワ−クの乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7131176A JPS607191B2 (ja) | 1976-06-16 | 1976-06-16 | リング状ワ−クの乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52154166A JPS52154166A (en) | 1977-12-21 |
| JPS607191B2 true JPS607191B2 (ja) | 1985-02-22 |
Family
ID=13456935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7131176A Expired JPS607191B2 (ja) | 1976-06-16 | 1976-06-16 | リング状ワ−クの乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607191B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6011137B2 (ja) * | 2012-08-09 | 2016-10-19 | 株式会社ジェイテクト | 熱処理装置 |
-
1976
- 1976-06-16 JP JP7131176A patent/JPS607191B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52154166A (en) | 1977-12-21 |
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