JPS6074254A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6074254A JPS6074254A JP58181532A JP18153283A JPS6074254A JP S6074254 A JPS6074254 A JP S6074254A JP 58181532 A JP58181532 A JP 58181532A JP 18153283 A JP18153283 A JP 18153283A JP S6074254 A JPS6074254 A JP S6074254A
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- JP
- Japan
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- ion
- collision
- mass spectrometric
- slit
- mass
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明【、１．２つの貿ｈ１分析装置を結合した、所謂
Ｍ Ｓ 、／ Ｍ Ｓ装買（、二関する。
Ｍ Ｓ 、／ Ｍ Ｓ装買（、二関する。
’ｄｉ ＩＩ！、従来の質量分析系例えば電場ど磁場を
組合わＵた二中収東賀ｔ）分析系の後段に、更に第２の
質量分析系を配置した所謂ＭＳ／ＭＳ装置が注目され−
（いる。このＭＳ／ＭＳν２置Ｃ・は、第１図にボブＪ
、−）に、第１の質量分析系Ｍ ＳＩ Ｍ Ｊ、−）（
選別した特定の親イオンをイオンｉ＋Ｄ路１−に配！ｉ
”ｉ’ Ｌ−た衝突室ＣＣ内Ｃ中１１分子ど衝突さＩＬ
る。二５１−に、Ｊ、り前部１♂Ｕ、生じた娘、イＡ″
／をり）２ので６ 、ＦＴ分イノ１系ＭＳ２へ２９人し
、該Ｍ Ｓ ２ ｋ：より娘（、，４ンＬ）Ｉ ７ｔｉ
７ｉ１及び又は■ネルギーを測定しよ−）とりるｂの
（ある。
組合わＵた二中収東賀ｔ）分析系の後段に、更に第２の
質量分析系を配置した所謂ＭＳ／ＭＳ装置が注目され−
（いる。このＭＳ／ＭＳν２置Ｃ・は、第１図にボブＪ
、−）に、第１の質量分析系Ｍ ＳＩ Ｍ Ｊ、−）（
選別した特定の親イオンをイオンｉ＋Ｄ路１−に配！ｉ
”ｉ’ Ｌ−た衝突室ＣＣ内Ｃ中１１分子ど衝突さＩＬ
る。二５１−に、Ｊ、り前部１♂Ｕ、生じた娘、イＡ″
／をり）２ので６ 、ＦＴ分イノ１系ＭＳ２へ２９人し
、該Ｍ Ｓ ２ ｋ：より娘（、，４ンＬ）Ｉ ７ｔｉ
７ｉ１及び又は■ネルギーを測定しよ−）とりるｂの
（ある。
どころか、従来のＭＳ、ＭＳ装置（は、第′１図に示さ
れるように２′っσパ′？ｈ１分＋１７糸の中間収束１
：、！ニ配置Ｉ’Ｘ サｉ’ｌル中間ス！Ｊ ７ ｈ
Ｓ ＩＪ Ｊ、）（、ＭＳＩがらの親イオンを高分解能
で分ｔｉ１１． Ｌ （ｉｌｉｉ突７ｉｉ ／＼ｊλく
）ことが（゛きるｂのの、娘イオン（３１第ン図（Ｊ小
・」、１、うに衝突子にＣ内の色々な場１すｉで〈１じ
るｌこめ、１該廟突室から第２の″直吊分析ｉ？ｌ Ｍ
Ｓ ２へ向ｉＪ （出用づるイオンじ一へ幅はｂ′と
人さくイｉニー、）（シまい、Ｍ Ｓ ２ Ｃ″該娘イ
イオを展開し−ｃ １ニア＋うねたスペクトルは分解能
が低下しＣＬ、 Ｊ：う結宋どなつくいた。６娘イＡン
のイオンビーム幅が人きく（シ昌９解ｆｉｔ：を得るた
めにはＭＳ２とし４人１４１Ｊの磁場を持′）シのが必
要であり、価格の面で極めて不利になってしまう３、 本発明（，１このＩ’：ｉｊ Ｇ５４ｍみてなされたも
ので必り、中間スリットＳのＭＳｌに面づる側に近接し
てイオンど衝突ガス分子との１「ｉ￥領領域設置Ｊるこ
とにＪ、す、ＭＳ２が小型てあつ−（ｂ娘イオンの高分
解能スベクＩ〜ルを１昇ることの−ＣきるＭＳ／ＭＳ装
買を提供づることを目的とじている。以下、図面を用い
て本発明を前説Ｊる。
れるように２′っσパ′？ｈ１分＋１７糸の中間収束１
：、！ニ配置Ｉ’Ｘ サｉ’ｌル中間ス！Ｊ ７ ｈ
Ｓ ＩＪ Ｊ、）（、ＭＳＩがらの親イオンを高分解能
で分ｔｉ１１． Ｌ （ｉｌｉｉ突７ｉｉ ／＼ｊλく
）ことが（゛きるｂのの、娘イオン（３１第ン図（Ｊ小
・」、１、うに衝突子にＣ内の色々な場１すｉで〈１じ
るｌこめ、１該廟突室から第２の″直吊分析ｉ？ｌ Ｍ
Ｓ ２へ向ｉＪ （出用づるイオンじ一へ幅はｂ′と
人さくイｉニー、）（シまい、Ｍ Ｓ ２ Ｃ″該娘イ
イオを展開し−ｃ １ニア＋うねたスペクトルは分解能
が低下しＣＬ、 Ｊ：う結宋どなつくいた。６娘イＡン
のイオンビーム幅が人きく（シ昌９解ｆｉｔ：を得るた
めにはＭＳ２とし４人１４１Ｊの磁場を持′）シのが必
要であり、価格の面で極めて不利になってしまう３、 本発明（，１このＩ’：ｉｊ Ｇ５４ｍみてなされたも
ので必り、中間スリットＳのＭＳｌに面づる側に近接し
てイオンど衝突ガス分子との１「ｉ￥領領域設置Ｊるこ
とにＪ、す、ＭＳ２が小型てあつ−（ｂ娘イオンの高分
解能スベクＩ〜ルを１昇ることの−ＣきるＭＳ／ＭＳ装
買を提供づることを目的とじている。以下、図面を用い
て本発明を前説Ｊる。
第３図は本発明の一実施例を示り構成図である。
（詞に（ｊ３い−Ｃ１はイオン源、２は主スリツ１〜．
３１．Ｊ例えば電場と磁場を持つ二中収束質１ｎ分析系
から成る第１の７（７吊分４１ｉ系、４は例え（Ｊ電場
と磁場を白文装置した分）ｌｉｉ場を１．ｊつ重畳場で
ダ呈分析系から成る第２の７１イ吊分析系、５（まイオ
ン検出器、６は第１の質量分析系と第２の質量分析系の
間のイオン中間収束点に配冒される中間スリン１−１７
は該中間スリンｌ〜６の第１の質量分析系３に面り−る
側に近接して配回された衝突室、８は該衝突室７へ供給
Ｊる衝突カス例えばヘリウムを蓄えるへりラムガス源で
ある１、 上述の如き構成にｄ’３い（、イオンｉ′ｌ！ｉｉ １
から斤（１し主スリッ１へ２を通過した親イオンは一７
ｌ’Ｈ１１ｖ、朱Ｙ′ｉ吊分析系３にＪ、っで質ン１１
宙荷化（Ｊ応じ１．１分１１（を妥【プ、中間スリブ１
−６の位置にスペクトルどしく１１４間される。この時
、本発明（は中間スリブ１へ０の前に衝突室が設りられ
ているため、親（Ａンは該衝突室内Ｃのヘリウｌ＼どの
ｉΦ１突によりＭ’／因１し、娘イオンが生成される。
３１．Ｊ例えば電場と磁場を持つ二中収束質１ｎ分析系
から成る第１の７（７吊分４１ｉ系、４は例え（Ｊ電場
と磁場を白文装置した分）ｌｉｉ場を１．ｊつ重畳場で
ダ呈分析系から成る第２の７１イ吊分析系、５（まイオ
ン検出器、６は第１の質量分析系と第２の質量分析系の
間のイオン中間収束点に配冒される中間スリン１−１７
は該中間スリンｌ〜６の第１の質量分析系３に面り−る
側に近接して配回された衝突室、８は該衝突室７へ供給
Ｊる衝突カス例えばヘリウムを蓄えるへりラムガス源で
ある１、 上述の如き構成にｄ’３い（、イオンｉ′ｌ！ｉｉ １
から斤（１し主スリッ１へ２を通過した親イオンは一７
ｌ’Ｈ１１ｖ、朱Ｙ′ｉ吊分析系３にＪ、っで質ン１１
宙荷化（Ｊ応じ１．１分１１（を妥【プ、中間スリブ１
−６の位置にスペクトルどしく１１４間される。この時
、本発明（は中間スリブ１へ０の前に衝突室が設りられ
ているため、親（Ａンは該衝突室内Ｃのヘリウｌ＼どの
ｉΦ１突によりＭ’／因１し、娘イオンが生成される。
生成された娘でＡンは（かめて狭く設定された中間スリ
ブ１〜を介しく取出さ４えて第２の貿ｆｆｓ分析系４へ
導入びれるため、該１１′ｊ Ｆ、’１分析系か小え（
りの′Ｐ−ｉ 、７Ｙ分１＋ｆｉ系Ｃｉｌ？＞ ７）
ｔ ｔ＞例え（、Ｌ第４図（ａ ） ｔこ示’ＪＪ、−
）に娘イオン（Ｊ関りる。！’！、分ｈ′（１ｉｆｔス
ヘク（ヘルを１！することがＣきる１、従−ン（、！ｔ
ｌ（イオンの質量を該高分解能スベク１ル（、ｌ基づい
（ｉｔ （ｉｆｆに決足りることがＣいる。
ブ１〜を介しく取出さ４えて第２の貿ｆｆｓ分析系４へ
導入びれるため、該１１′ｊ Ｆ、’１分析系か小え（
りの′Ｐ−ｉ 、７Ｙ分１＋ｆｉ系Ｃｉｌ？＞ ７）
ｔ ｔ＞例え（、Ｌ第４図（ａ ） ｔこ示’ＪＪ、−
）に娘イオン（Ｊ関りる。！’！、分ｈ′（１ｉｆｔス
ヘク（ヘルを１！することがＣきる１、従−ン（、！ｔ
ｌ（イオンの質量を該高分解能スベク１ル（、ｌ基づい
（ｉｔ （ｉｆｆに決足りることがＣいる。
どころＣ，衝突室７のイオン入！Ｊｉｌｌ’ｌは中間ス
リブ１へ６に」ヒベて十分広く設定さね−（おり、ある
程度の質量範囲の親イオンが該衝突”ｉ’ｌ ７内へ人
ｑ・ｊりる。そしで、該衝突室７内（パの衝突にＪ、り
親イオンビ一１１のｆノＡ−カス即ちブ］」−ドニング
が起こるの（、親イオンの分解能か低下してしまうこと
は避りられない。換８りれば、１述の如く娘イΔンに関
りる高分解能スペクトルが得られるものの、該スペクト
ル中の全一（のピークが同一の親イオンから派生したも
のではないことになる。この」うに、親イオンに関する
分解ｒｉＬが低下りることは避（ノられないのＣ′ある
から、第１の質量分析系３をｙ％分解能の七−１−で動
作さける必要は無く、主スリット２を十分量いた低分解
能のモードぐ動作さけれは良い。ぞうりれは、衝突室７
へ入用りる親イオンの量が増大し、ぞれに伴なつで生成
ざ七しイ）娘イオンのｔｉＮら増入りるのぐ、娘、イオ
ンの測定を高感Ｉα（行うことが（ぎる。
リブ１へ６に」ヒベて十分広く設定さね−（おり、ある
程度の質量範囲の親イオンが該衝突”ｉ’ｌ ７内へ人
ｑ・ｊりる。そしで、該衝突室７内（パの衝突にＪ、り
親イオンビ一１１のｆノＡ−カス即ちブ］」−ドニング
が起こるの（、親イオンの分解能か低下してしまうこと
は避りられない。換８りれば、１述の如く娘イΔンに関
りる高分解能スペクトルが得られるものの、該スペクト
ル中の全一（のピークが同一の親イオンから派生したも
のではないことになる。この」うに、親イオンに関する
分解ｒｉＬが低下りることは避（ノられないのＣ′ある
から、第１の質量分析系３をｙ％分解能の七−１−で動
作さける必要は無く、主スリット２を十分量いた低分解
能のモードぐ動作さけれは良い。ぞうりれは、衝突室７
へ入用りる親イオンの量が増大し、ぞれに伴なつで生成
ざ七しイ）娘イオンのｔｉＮら増入りるのぐ、娘、イオ
ンの測定を高感Ｉα（行うことが（ぎる。
ａ１５）図は本発明の他の一実施例の（１６成を示し、
１ｘ！３図の実施例と異なるのは、中間スリブｈ ６を
秋／υＣ反ス・ｊ側にも衝突室９を設置し、切］φ弁１
０を介しく刀ス源８から衝突室７，９へ衝突ガスを選択
的に供給し１するｊ、う１こした点である。
１ｘ！３図の実施例と異なるのは、中間スリブｈ ６を
秋／υＣ反ス・ｊ側にも衝突室９を設置し、切］φ弁１
０を介しく刀ス源８から衝突室７，９へ衝突ガスを選択
的に供給し１するｊ、う１こした点である。
第５図の構成にｄ３い（、切換ｉｆ １０を介して衝突
ガスをｉΦｊ突室７へのみ供給りれば、ｌｌｊ突゛ノド
５）内はノ已負空に保たれ由突（３１起こら４Ｙいの（
、盲′ｉ３図の構成と全く等価どなり、第３図（ａ＞に
小されるＪ、うな娘イΔンの高分解能スペクトルが高（
＾１（゛シｒ（！Ｗられる。
ガスをｉΦｊ突室７へのみ供給りれば、ｌｌｊ突゛ノド
５）内はノ已負空に保たれ由突（３１起こら４Ｙいの（
、盲′ｉ３図の構成と全く等価どなり、第３図（ａ＞に
小されるＪ、うな娘イΔンの高分解能スペクトルが高（
＾１（゛シｒ（！Ｗられる。
次に、切換弁１０を介しＣ細太カスをｔｌｊ突５１Ｓ９
側へのみ供給りれＥＪ、衝突室７内ｔ３↓高貞窄に保た
れ衝突は起こらり“、親イオン（３Ｌぞのよ、１．中間
スリブ］−６を介しＣ衝突室９へ人ｑ・１する。従つ（
この状態（゛は第一１図に示した従来の構成と等価に４
ｊす、親イオンは中間スリブｌ Ｃ５に、」、−）で（
々め（厳密に選択されるため高分解能どイ「す、−／ｊ
娘イＡシのスペクトルは、第４図（［））、＜０）に示
１Ｊ１ｊ、うに分解能の低いソｌ’、ｌ Ｆ”：ｒ’ｂ
のど４「る。この第４図（ｂ）に河＼したスペクトルか
第１の質１１１分（ハ糸３て親イオン△を選択した１１
．１に１１イられ／；： ｂ ｑ） ｒあり、（Ｃ）に
示したスペクトルが該親イオン△と極めて貿用゛市伺比
の３ＬＦ接した親イオン［３を第１の′ｊ′ｊ琳分析系
３て選択した時に４４７られたＩ：Ｉの（あるどりれば
、第４図（ａ）、と同図（Ｅ） ） 、（（’、：：
）を比較刀ることににす、第４図（ａ）の高分解能スベ
クＩヘル中のピークｐａ１．１つａ２．・・・、ｊ〕ａ
７は親イオン△から派生したしのＣあり、Ｐ １１１，
１月）２゜・・、Ｐｂ５は親イＡ＞Ｂから派生したしの
であると判別りることかくき、高分解能スベクＩ〜ル中
のピークの帰属をし決定りることか可能である。
側へのみ供給りれＥＪ、衝突室７内ｔ３↓高貞窄に保た
れ衝突は起こらり“、親イオン（３Ｌぞのよ、１．中間
スリブ］−６を介しＣ衝突室９へ人ｑ・１する。従つ（
この状態（゛は第一１図に示した従来の構成と等価に４
ｊす、親イオンは中間スリブｌ Ｃ５に、」、−）で（
々め（厳密に選択されるため高分解能どイ「す、−／ｊ
娘イＡシのスペクトルは、第４図（［））、＜０）に示
１Ｊ１ｊ、うに分解能の低いソｌ’、ｌ Ｆ”：ｒ’ｂ
のど４「る。この第４図（ｂ）に河＼したスペクトルか
第１の質１１１分（ハ糸３て親イオン△を選択した１１
．１に１１イられ／；： ｂ ｑ） ｒあり、（Ｃ）に
示したスペクトルが該親イオン△と極めて貿用゛市伺比
の３ＬＦ接した親イオン［３を第１の′ｊ′ｊ琳分析系
３て選択した時に４４７られたＩ：Ｉの（あるどりれば
、第４図（ａ）、と同図（Ｅ） ） 、（（’、：：
）を比較刀ることににす、第４図（ａ）の高分解能スベ
クＩヘル中のピークｐａ１．１つａ２．・・・、ｊ〕ａ
７は親イオン△から派生したしのＣあり、Ｐ １１１，
１月）２゜・・、Ｐｂ５は親イＡ＞Ｂから派生したしの
であると判別りることかくき、高分解能スベクＩ〜ル中
のピークの帰属をし決定りることか可能である。
１スト前述した如く、本発明によれば、娘イオンに関り
る高分解［１ヒスペクトルをＩＬすることか可能と４ｆ
す、史に該スペクトル中の各ピークの帰属の決定をも行
うことがて゛さ、’Ｉｒｊに第２の買Ｍ分析系としく小
型の６のを用いた場合に右動である３、尚、本発明は−
上述した実施例に限定されること／ｉ−、＜幾多の変形
がｊＩＪ能である、１例えば、上記実施例にＪ３ （Ｊ
る１ｉＩｉ突至は必ずしも必要ではなく、親イオンと衝
突ガスかｉ竹突解離を起こり領域を設【プれは良い。例
を挙り゛れば、ノスルから衝突ガスを親イオンの通路ｌ
＼吹きつ（ノ、衝突領域を作るようにしＣし良く、この
ようにすればｔニｉ突至を形成りる部月が不要どなる。
る高分解［１ヒスペクトルをＩＬすることか可能と４ｆ
す、史に該スペクトル中の各ピークの帰属の決定をも行
うことがて゛さ、’Ｉｒｊに第２の買Ｍ分析系としく小
型の６のを用いた場合に右動である３、尚、本発明は−
上述した実施例に限定されること／ｉ−、＜幾多の変形
がｊＩＪ能である、１例えば、上記実施例にＪ３ （Ｊ
る１ｉＩｉ突至は必ずしも必要ではなく、親イオンと衝
突ガスかｉ竹突解離を起こり領域を設【プれは良い。例
を挙り゛れば、ノスルから衝突ガスを親イオンの通路ｌ
＼吹きつ（ノ、衝突領域を作るようにしＣし良く、この
ようにすればｔニｉ突至を形成りる部月が不要どなる。
第１図及び第２図は従来例を承り図、り１３３図は本発
明の一実施例を承り図、り（４図はぞの動ｆ＋を説明づ
るためのスペクトルを示り図、第５）１ス口、１２本発
明の他の一実施例を承り図Ｃある１、１：イΔン源、２
：土スリッ１−１ ３ ： ’Ａ １ ノ￥′ｉｌ＃ｊ）４１１系、／′Ｉ
：第Ｉ：Ｊ） Ｙｌｔ ；１分４１１系、５：イΔン検
出器、６：中間スリブ１−１７．９ニジＩｉｉ突を°、
ε３１＼リウム刀ス源、１０、切換弁、。 特ａ′［出願人 １］木？ｈ子株式会社 代表者 伊胚 −人
明の一実施例を承り図、り（４図はぞの動ｆ＋を説明づ
るためのスペクトルを示り図、第５）１ス口、１２本発
明の他の一実施例を承り図Ｃある１、１：イΔン源、２
：土スリッ１−１ ３ ： ’Ａ １ ノ￥′ｉｌ＃ｊ）４１１系、／′Ｉ
：第Ｉ：Ｊ） Ｙｌｔ ；１分４１１系、５：イΔン検
出器、６：中間スリブ１−１７．９ニジＩｉｉ突を°、
ε３１＼リウム刀ス源、１０、切換弁、。 特ａ′［出願人 １］木？ｈ子株式会社 代表者 伊胚 −人
Claims (1)
- イオン源と、該イオン源’Ｃ生成されたイオンが導入さ
れる第１の質ｈ１分析系と、該質量分析系を通過ｌノた
イオンを検出づるためのイオン検出器ど、該イオン検出
器と前記質量分析系との間に配置されイ〕第２の買ｈ１
分析系と、該第２のＹｌｆ Ｉ’？ｒ分析系と前記第１
の貿Ｉ’ｆｔ分析系どの間の中間集束点に配置されるス
リッ１へどを備えた貿１通分析装置に（１ついて、前記
スリッ１−の前記第１の質量分析系に面づる側に近］Ｂ
シ、（フイオンと中性ガス分子との衝突領域を設りたこ
とを１！１徴どりる質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181532A JPS6074254A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181532A JPS6074254A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6074254A true JPS6074254A (ja) | 1985-04-26 |
| JPH0421983B2 JPH0421983B2 (ja) | 1992-04-14 |
Family
ID=16102414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58181532A Granted JPS6074254A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6074254A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101498685A (zh) * | 2008-01-31 | 2009-08-05 | 安捷伦科技有限公司 | 降低质谱分析中的噪声的方法和装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5825057A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-02-15 | Jeol Ltd | 質量分析装置 |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58181532A patent/JPS6074254A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5825057A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-02-15 | Jeol Ltd | 質量分析装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101498685A (zh) * | 2008-01-31 | 2009-08-05 | 安捷伦科技有限公司 | 降低质谱分析中的噪声的方法和装置 |
| JP2009180731A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Agilent Technol Inc | 質量分析におけるノイズを低減するための方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0421983B2 (ja) | 1992-04-14 |
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