JPS6074254A - 質量分析装置 - Google Patents

質量分析装置

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JPS6074254A
JPS6074254A JP58181532A JP18153283A JPS6074254A JP S6074254 A JPS6074254 A JP S6074254A JP 58181532 A JP58181532 A JP 58181532A JP 18153283 A JP18153283 A JP 18153283A JP S6074254 A JPS6074254 A JP S6074254A
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JP
Japan
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ion
collision
mass spectrometric
slit
mass
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JP58181532A
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JPH0421983B2 (ja
Inventor
Norihiro Naito
統広 内藤
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Jeol Ltd
NTT Inc
Original Assignee
Jeol Ltd
Nihon Denshi KK
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明【、1.2つの貿h1分析装置を結合した、所謂
M S 、/ M S装買(、二関する。
’di II!、従来の質量分析系例えば電場ど磁場を
組合わUた二中収東賀t)分析系の後段に、更に第2の
質量分析系を配置した所謂MS/MS装置が注目され−
(いる。このMS/MSν2置C・は、第1図にボブJ
、−)に、第1の質量分析系M SI M J、−)(
選別した特定の親イオンをイオンi+D路1−に配!i
”i’ L−た衝突室CC内C中11分子ど衝突さIL
る。二51−に、J、り前部1♂U、生じた娘、イA″
/をり)2ので6 、FT分イノ1系MS2へ29人し
、該M S 2 k:より娘(、,4ンL)I 7ti
 7i1及び又は■ネルギーを測定しよ−)とりるbの
(ある。
どころか、従来のMS、MS装置(は、第′1図に示さ
れるように2′っσパ′?h1分+17糸の中間収束1
:、!ニ配置I’X サi’lル中間ス!J 7 h 
S IJ J、)(、MSIがらの親イオンを高分解能
で分ti11. L (ilii突7ii /\jλく
)ことが(゛きるbのの、娘イオン(31第ン図(J小
・」、1、うに衝突子にC内の色々な場1すiで〈1じ
るlこめ、1該廟突室から第2の″直吊分析i?l M
 S 2へ向iJ (出用づるイオンじ一へ幅はb′と
人さくイiニー、)(シまい、M S 2 C″該娘イ
イオを展開し−c 1ニア+うねたスペクトルは分解能
が低下しCL、 J:う結宋どなつくいた。6娘イAン
のイオンビーム幅が人きく(シ昌9解fit:を得るた
めにはMS2とし4人141Jの磁場を持′)シのが必
要であり、価格の面で極めて不利になってしまう3、 本発明(,1このI’:ij G54mみてなされたも
ので必り、中間スリットSのMSlに面づる側に近接し
てイオンど衝突ガス分子との1「i¥領領域設置Jるこ
とにJ、す、MS2が小型てあつ−(b娘イオンの高分
解能スベクI〜ルを1昇ることの−CきるMS/MS装
買を提供づることを目的とじている。以下、図面を用い
て本発明を前説Jる。
第3図は本発明の一実施例を示り構成図である。
(詞に(j3い−C1はイオン源、2は主スリツ1〜.
31.J例えば電場と磁場を持つ二中収束質1n分析系
から成る第1の7(7吊分41i系、4は例え(J電場
と磁場を白文装置した分)lii場を1.jつ重畳場で
ダ呈分析系から成る第2の71イ吊分析系、5(まイオ
ン検出器、6は第1の質量分析系と第2の質量分析系の
間のイオン中間収束点に配冒される中間スリン1−17
は該中間スリンl〜6の第1の質量分析系3に面り−る
側に近接して配回された衝突室、8は該衝突室7へ供給
Jる衝突カス例えばヘリウムを蓄えるへりラムガス源で
ある1、 上述の如き構成にd’3い(、イオンi′l!ii 1
から斤(1し主スリッ1へ2を通過した親イオンは一7
l’H11v、朱Y′i吊分析系3にJ、っで質ン11
宙荷化(J応じ1.1分11(を妥【プ、中間スリブ1
−6の位置にスペクトルどしく114間される。この時
、本発明(は中間スリブ1へ0の前に衝突室が設りられ
ているため、親(Aンは該衝突室内Cのヘリウl\どの
iΦ1突によりM’/因1し、娘イオンが生成される。
生成された娘でAンは(かめて狭く設定された中間スリ
ブ1〜を介しく取出さ4えて第2の貿ffs分析系4へ
導入びれるため、該11′j F、’1分析系か小え(
りの′P−i 、7Y分1+fi系Cil?> 7) 
t t>例え(、L第4図(a ) tこ示’JJ、−
)に娘イオン(J関りる。!’!、分h′(1iftス
ヘク(ヘルを1!することがCきる1、従−ン(、!t
l(イオンの質量を該高分解能スベク1ル(、l基づい
(it (iffに決足りることがCいる。
どころC,衝突室7のイオン入!Jill’lは中間ス
リブ1へ6に」ヒベて十分広く設定さね−(おり、ある
程度の質量範囲の親イオンが該衝突”i’l 7内へ人
q・jりる。そしで、該衝突室7内(パの衝突にJ、り
親イオンビ一11のfノA−カス即ちブ]」−ドニング
が起こるの(、親イオンの分解能か低下してしまうこと
は避りられない。換8りれば、1述の如く娘イΔンに関
りる高分解能スペクトルが得られるものの、該スペクト
ル中の全一(のピークが同一の親イオンから派生したも
のではないことになる。この」うに、親イオンに関する
分解riLが低下りることは避(ノられないのC′ある
から、第1の質量分析系3をy%分解能の七−1−で動
作さける必要は無く、主スリット2を十分量いた低分解
能のモードぐ動作さけれは良い。ぞうりれは、衝突室7
へ入用りる親イオンの量が増大し、ぞれに伴なつで生成
ざ七しイ)娘イオンのtiNら増入りるのぐ、娘、イオ
ンの測定を高感Iα(行うことが(ぎる。
a15)図は本発明の他の一実施例の(16成を示し、
1x!3図の実施例と異なるのは、中間スリブh 6を
秋/υC反ス・j側にも衝突室9を設置し、切]φ弁1
0を介しく刀ス源8から衝突室7,9へ衝突ガスを選択
的に供給し1するj、う1こした点である。
第5図の構成にd3い(、切換if 10を介して衝突
ガスをiΦj突室7へのみ供給りれば、llj突゛ノド
5)内はノ已負空に保たれ由突(31起こら4Yいの(
、盲′i3図の構成と全く等価どなり、第3図(a>に
小されるJ、うな娘イΔンの高分解能スペクトルが高(
^1(゛シr(!Wられる。
次に、切換弁10を介しC細太カスをtlj突51S9
側へのみ供給りれEJ、衝突室7内t3↓高貞窄に保た
れ衝突は起こらり“、親イオン(3Lぞのよ、1.中間
スリブ]−6を介しC衝突室9へ人q・1する。従つ(
この状態(゛は第一1図に示した従来の構成と等価に4
jす、親イオンは中間スリブl C5に、」、−)で(
々め(厳密に選択されるため高分解能どイ「す、−/j
娘イAシのスペクトルは、第4図([))、<0)に示
1J1j、うに分解能の低いソl’、l F”:r’b
のど4「る。この第4図(b)に河\したスペクトルか
第1の質111分(ハ糸3て親イオン△を選択した11
.1に11イられ/;: b q) rあり、(C)に
示したスペクトルが該親イオン△と極めて貿用゛市伺比
の3LF接した親イオン[3を第1の′j′j琳分析系
3て選択した時に447られたI:Iの(あるどりれば
、第4図(a)、と同図(E) ) 、((’、:: 
)を比較刀ることににす、第4図(a)の高分解能スベ
クIヘル中のピークpa1.1つa2.・・・、j〕a
7は親イオン△から派生したしのCあり、P 111,
1月)2゜・・、Pb5は親イA>Bから派生したしの
であると判別りることかくき、高分解能スベクI〜ル中
のピークの帰属をし決定りることか可能である。
1スト前述した如く、本発明によれば、娘イオンに関り
る高分解[1ヒスペクトルをILすることか可能と4f
す、史に該スペクトル中の各ピークの帰属の決定をも行
うことがて゛さ、’Irjに第2の買M分析系としく小
型の6のを用いた場合に右動である3、尚、本発明は−
上述した実施例に限定されること/i−、<幾多の変形
がjIJ能である、1例えば、上記実施例にJ3 (J
る1iIi突至は必ずしも必要ではなく、親イオンと衝
突ガスかi竹突解離を起こり領域を設【プれは良い。例
を挙り゛れば、ノスルから衝突ガスを親イオンの通路l
\吹きつ(ノ、衝突領域を作るようにしCし良く、この
ようにすればtニi突至を形成りる部月が不要どなる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来例を承り図、り133図は本発
明の一実施例を承り図、り(4図はぞの動f+を説明づ
るためのスペクトルを示り図、第5)1ス口、12本発
明の他の一実施例を承り図Cある1、1:イΔン源、2
:土スリッ1−1 3 : ’A 1 ノ¥′il#j)411系、/′I
:第I:J) Ylt ;1分411系、5:イΔン検
出器、6:中間スリブ1−17.9ニジIii突を°、
ε31\リウム刀ス源、10、切換弁、。 特a′[出願人 1]木?h子株式会社 代表者 伊胚 −人

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. イオン源と、該イオン源’C生成されたイオンが導入さ
    れる第1の質h1分析系と、該質量分析系を通過lノた
    イオンを検出づるためのイオン検出器ど、該イオン検出
    器と前記質量分析系との間に配置されイ〕第2の買h1
    分析系と、該第2のYlf I’?r分析系と前記第1
    の貿I’ft分析系どの間の中間集束点に配置されるス
    リッ1へどを備えた貿1通分析装置に(1ついて、前記
    スリッ1−の前記第1の質量分析系に面づる側に近]B
    シ、(フイオンと中性ガス分子との衝突領域を設りたこ
    とを1!1徴どりる質量分析装置。
JP58181532A 1983-09-29 1983-09-29 質量分析装置 Granted JPS6074254A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101498685A (zh) * 2008-01-31 2009-08-05 安捷伦科技有限公司 降低质谱分析中的噪声的方法和装置

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JPS5825057A (ja) * 1981-07-16 1983-02-15 Jeol Ltd 質量分析装置

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JP2009180731A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Agilent Technol Inc 質量分析におけるノイズを低減するための方法および装置

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