JPS6074736U - 半導体洗浄用純水配管構造 - Google Patents

半導体洗浄用純水配管構造

Info

Publication number
JPS6074736U
JPS6074736U JP16898683U JP16898683U JPS6074736U JP S6074736 U JPS6074736 U JP S6074736U JP 16898683 U JP16898683 U JP 16898683U JP 16898683 U JP16898683 U JP 16898683U JP S6074736 U JPS6074736 U JP S6074736U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pure water
piping structure
semiconductor cleaning
piping
water piping
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16898683U
Other languages
English (en)
Inventor
尚博 清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Electric Manufacturing Ltd
Original Assignee
Toyo Electric Manufacturing Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyo Electric Manufacturing Ltd filed Critical Toyo Electric Manufacturing Ltd
Priority to JP16898683U priority Critical patent/JPS6074736U/ja
Publication of JPS6074736U publication Critical patent/JPS6074736U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案の一実施例の要部構成を示
す系統図およびその動作説明図である。 １・・・・・・純水給水配管、２・・・・・・給水管、
３・・・・・・給水バルブ、４・・・・・・蛇口、７・
・・・・・給気バルブ、５・・・・・・窒素ガス源、８
，８′・・・・・・水滴、Ａ、Ａ’　。 Ａ″・・・・・・純水の流れ、Ｂ、　Ｂ’・・・・・・
窒素ガスの流れ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体洗浄のための純水を得る配管構造におい□　　て
    、前記純水を取り出す蛇口から給水バルブに到る配管に
    、この配管内壁に残留する残留する水滴を吹き飛ばすた
    めの気体を導入する導入管およびその導入バルブを設け
    て成ることを特徴とする半導体洗浄用純水配管構造。
JP16898683U 1983-10-31 1983-10-31 半導体洗浄用純水配管構造 Pending JPS6074736U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16898683U JPS6074736U (ja) 1983-10-31 1983-10-31 半導体洗浄用純水配管構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16898683U JPS6074736U (ja) 1983-10-31 1983-10-31 半導体洗浄用純水配管構造

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6074736U true JPS6074736U (ja) 1985-05-25

Family

ID=30369287

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16898683U Pending JPS6074736U (ja) 1983-10-31 1983-10-31 半導体洗浄用純水配管構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6074736U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022509482A (ja) * 2018-10-24 2022-01-20 ナノサイズド、スウェーデン、アクチボラグ 半導体製造のための方法および構成

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022509482A (ja) * 2018-10-24 2022-01-20 ナノサイズド、スウェーデン、アクチボラグ 半導体製造のための方法および構成

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6074736U (ja) 半導体洗浄用純水配管構造
JPS5914953U (ja) 防音式ガスエンジンの給気装置
JPS6052343U (ja) エンジン内冷却水排出装置
JPS6012029U (ja) ガス配管用安全装置
JPS5920299U (ja) 空気笛装置
JPS58148035U (ja) クリンカ冷却装置
JPS587839U (ja) Ｓｏ↓２還元装置
JPS63102986U (ja)
JPS58114881U (ja) サイホン式水車の始動装置
JPS5936826U (ja) 異物除去可能な空気混合装置
JPS59141118U (ja) 二次空気供給装置
JPS6017252U (ja) 沈砂洗浄装置
JPS60176544U (ja) 薄膜形成装置
JPS58153999U (ja) 高炉排出蒸気の回収装置
JPS6056623U (ja) エヤレ−ション装置
JPS5827609U (ja) ボイラにおける節炭器の空気抜き装置
JPS58166869U (ja) 既設管補修における担持ガス流発生装置
JPS58135600U (ja) 計装用空気供給配管系
JPS5896198U (ja) 液化天然ガス用気化器
JPS58163621U (ja) 内燃機関の２次空気供給装置
JPS59115267U (ja) 低温装置の配管
JPS589209U (ja) ラミナ−フロ−用ノズル
JPS59186679U (ja) 複合形冷却装置
JPS6076035U (ja) シリコンウェファの処理装置
JPS61249U (ja) 半導体等の冷却装置