JPS607486Y2 - シ−ト引伸ばし装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子部品の製造過程において使用されるシート
引伸ばし装置に関するものである。

一般に電子部品例えば、トランジスタ等の半導体装置の
製造は１枚の半導体ウェーハ（以下単にウェーハと称す
）に複数個の半導体ペレット（以下単にペレットと称す
）を一括して形成してから、このウェーハを伸縮性のあ
るシート上に固定して、ウェーハを各ペレット毎に分割
し、その後シートを放射状に引伸ばして分割された各ペ
レットを所定の間隔で離しておいて、シート上からコレ
ット等を介してペレットを１個ずつ剥がし、ペレットマ
ウワト位置へと取出す各工程を有する。

ところで、前記シートの引伸ばしであるが、これは従来
では第１図乃至第４図に示すような装置で行っていた。

即ち、第１図及び第２図に於て、１は伸縮性のあるシー
ト、２はシート１の略中央部上に固定したウェーハを細
分割しであるペレット、３は加熱台、４は加熱台３の上
端部外周に沿って装着された支持リング、５は支持リン
グ４より大径のチャックリングで、このチャックリング
５はシート１の周辺部１ａを上下から挾持する。

そして、この装置によるシート引伸ばしは次の順序で行
われる。

まず第２図に示すように、シート１をチャックリング５
で挾持して、シート１の下面を加熱台３と支持リング４
の上に載せ、加熱台３でシート１を引伸ばしに適当な温
度に加熱する。

次にチャックリング５をシート１の周辺部１ａを支持し
たまま支持リング４の後方に沿って徐々に降下させてい
く。

するとシート１はチャックリング５で引張られて支持リ
ング４のコーナ部４′を滑り、第３国力び第４図に示す
ように放射状に引伸ばされている。

そして、シート１の引伸ばしが、例えば始めの状態から
１２０〜１５０％程度まで行われると、シート１を引伸
ばしたまま周辺部１ａを支持リング４の周上にゴムリン
グ等を介して固定する。

ところでか上記従来装置はシート１のペレット２を固定
している中央部１ｂの引伸ばし方向と、この中央部１ｂ
を引伸ばす周辺部１ａの引張り方向のなす角度が直角に
近付く程、支持リング４のコーナ部り′上を滑るシート
１の摩擦力が大きくなり、周辺部１ａの引張りが中央部
１ｂに伝わりにくくなって、中央部１ｂの引伸ばし効率
が低下し、且つ引伸ばしが均一に行えなくなる欠点があ
った。

又、このようにテープ１の中央部１ｂの引伸ばしが不十
分だったり、不均一だったりすると、ペレット２の間隔
が所定値より狭くなったり、不揃いとなり、後工程でペ
レット２をシート１から１個ずつ取出す作業が難しくな
る。

本考案は上記従来の欠点に鑑み、これを改良・除去した
もので、簡単な構造と操作でシートを放射状に引伸ばす
装置を提供する。

例えば、上記シート１を引伸ばす場合、本考案は第５図
乃至第７図に示すような装置で行う。

第５図及び第６図に於て、６は加熱台、７は加熱台６の
上端部外周に装着された支持枠で、この支持枠７は上端
部の外周に沿って後述のチューブ８を嵌着する凹溝部９
を有する。

前記チューブ８は第９図に示すようなリング状のもので
、ゴム等の伸縮性のある材料で形成され、一部に空気注
入ノズル１０が取付けられている。

そして、このチューブ８は支持枠７の凹溝部９に嵌めら
れ、空気注入ノズル１０は凹溝部９の一部を貫通して外
部の空気供給系１１に着脱自在に連結される。

次に上記装置によるシート引伸ばし動作を順次説明する
。

まずチューブ８内の空気を抜いておいて、支持枠７と加
熱台６にシート１を被せ、シート１の周辺部１ａを支持
枠７の上端面外周エツジから曲げて凹溝部９より下方位
置で支持、例えば第６図に示すようにゴムバンド１２で
周辺部１ａの一部を支持枠７の周上に固定しておく。

次に加熱台６でシート１の中央部１ｂを主に加熱しなが
ら空気供給系１１のバルブ１１′を開いて圧縮空気を空
気注入ノズル１０からチューブ８内に注入する。

するとチューブ８は徐々に脹み、変形して凹溝部９の内
周面に圧着していく。

そして、更に圧縮空気が注入されるとチューブ８の一部
が凹溝部９から外に食み出して膨出し、チューブ外径が
徐々に大きくなる。

この時、チューブ８の凹溝部９からの膨出部８′が第８
図に示すようにシート１を押し拡げる。

一方、シート１は周辺部１ａの一部がチューブ８より下
方で固定されているため、シート１の中央部１ｂはチュ
ーブ８の膨出部８′でもって放射状に引伸ばされる。

そして、シート１の中央部１ｂが所定量まで引伸ばされ
ると、チューブ８への圧縮空気の注入を止め、チューブ
８内の空気圧を一定に保持させておくと、シート１は引
伸ばされたままの状態が保持される。

尚、本考案は半導体製造装置に用いられるテープの引伸
ばしに限らず、例えだ積層セラミックコンデンサ等のテ
ープの引伸ばしにも適用し得るものである。

又、上記図示例ではテープを真円形状に引伸ばしたが、
楕円形状等に引伸ばすようにしもよく、このような変形
は支持枠の形状を変えるだけで可能である。

以上説明したように、本考案によれば、シートを圧縮空
気注入によって外径が拡大するチューブでシートの周辺
部を押し拡げて中央部を放射状に引伸ばすようにしたか
ら、チューブ径の拡大方向とシート中央部の引伸ばし方
向が一致し、従ってシートとチューブの摩擦力が少くな
り、而もこの摩擦力はシート引伸ばし率にほとんど影響
を与えないから、シートの引伸ばし効率が同上し、均一
な引伸ばしが可能となる。

又、チューブに圧縮空気を注入するだけでいいから、構
造及び操作が簡単になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のシート引伸ばし装置のシート引伸ばし前
の平面図、第２図は第１図Ａ−Ａ線の断面図、第３図は
第１図のシート引伸ばし後の平面図、第４図は第３図Ｂ
−Ｂ線の断面図、第５図は本考案による装置の一実施例
を示すシート引伸ばし前の平面図、第６図は第５図のＣ
−Ｃ線の断面図、第７図は第５図のシート引伸ばし後の
平面図、第８図は第７図Ｄ−Ｄ線の断面図、第９図はチ
ューブの斜視図である。 １・・・・・・シート、１ａ・・・・・・シート周辺部
、７・・・・・・支持枠、訃・・・・・チューブ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 伸縮性のあるシートを放射状に引伸ばす装置に於て、シ
   ート引伸ばし用支持枠の上端部外周に伸縮性のあるリン
   グ状チューブを嵌着してなり、支持枠上に載せたシート
   の周辺部をチューブより下方で支持しておいて、チュー
   ブに空気を注入して、外に拡大するチューブでシートを
   押し拡げるようにしたことを特徴とするシート引伸ばし
   装置。