JPS607608A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS607608A JPS607608A JP58114515A JP11451583A JPS607608A JP S607608 A JPS607608 A JP S607608A JP 58114515 A JP58114515 A JP 58114515A JP 11451583 A JP11451583 A JP 11451583A JP S607608 A JPS607608 A JP S607608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- head
- magnetoresistive element
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は垂直磁気記録媒体中に垂直記録された磁化信号
を効率よく再生する薄膜磁気ヘッドに関するものである
。
を効率よく再生する薄膜磁気ヘッドに関するものである
。
従来例の構成とその問題点
垂直磁気記録は従来の長手方向磁気記録より本質的に萬
密度記録に適していることが知られている・しかし再生
過程においては、まだいろいろと問題がある。例えば電
磁誘導による巻線形磁気ヘッドで再生する場合には、単
磁極形ヘッドやリング形ヘッドが従系されている。リン
グ形ヘッドで再生する場合、垂直記録の特徴である短波
長信号を再生するだめには、ギャップ長を極端に小さく
する必要があり、磁気ヘッドの磁気回路能率が非常に悪
くなる。再生感度を上げるために巻線数を増やしていく
と、ヘッドインダクタンス増大による自己共振周波数が
低下する。一方、記録波長の短波長化に伴い信号周波数
が高くなるため、磁気ヘッドの自己共振周波数の低下は
信号再生において、極めて不都合である。また、単磁極
形ヘッドにおいても、巻線形であるため、同様の問題を
もっている。電磁誘導形ヘッドで共通したさらに大きな
問題はヘッドと記録媒体間の相対速度が小さい場合、再
生出力電圧が小さくなり、その対策としては巻線数の増
大となり上記問題を大きくする。
密度記録に適していることが知られている・しかし再生
過程においては、まだいろいろと問題がある。例えば電
磁誘導による巻線形磁気ヘッドで再生する場合には、単
磁極形ヘッドやリング形ヘッドが従系されている。リン
グ形ヘッドで再生する場合、垂直記録の特徴である短波
長信号を再生するだめには、ギャップ長を極端に小さく
する必要があり、磁気ヘッドの磁気回路能率が非常に悪
くなる。再生感度を上げるために巻線数を増やしていく
と、ヘッドインダクタンス増大による自己共振周波数が
低下する。一方、記録波長の短波長化に伴い信号周波数
が高くなるため、磁気ヘッドの自己共振周波数の低下は
信号再生において、極めて不都合である。また、単磁極
形ヘッドにおいても、巻線形であるため、同様の問題を
もっている。電磁誘導形ヘッドで共通したさらに大きな
問題はヘッドと記録媒体間の相対速度が小さい場合、再
生出力電圧が小さくなり、その対策としては巻線数の増
大となり上記問題を大きくする。
一方、磁気ヘッドを多数並設するマルチトラック構成に
おいては、巻線スペースが問題となる・さらに、薄膜技
術で構成する場合には、巻線数が限られ、高感度な再生
ヘッド 実現できない。
おいては、巻線スペースが問題となる・さらに、薄膜技
術で構成する場合には、巻線数が限られ、高感度な再生
ヘッド 実現できない。
これらの問題を解決するだめに、最近は磁気抵抗効果（
以下ＭＲと略記する）ヘッドが注目されている。従来の
ＭＲヘッドは、例えば、短冊状ＭＲ素子の長手方向に電
流を流し、記録媒体にＭＲ素子を垂直に配置し、信号磁
界が素子面内に、長手方向と直角に入る素子単体形ＭＲ
ヘッドがある。
以下ＭＲと略記する）ヘッドが注目されている。従来の
ＭＲヘッドは、例えば、短冊状ＭＲ素子の長手方向に電
流を流し、記録媒体にＭＲ素子を垂直に配置し、信号磁
界が素子面内に、長手方向と直角に入る素子単体形ＭＲ
ヘッドがある。
このタイプのＭＲヘッドでは、ヘッド構造のみに起因す
る波長応答特性はＭＲ素子幅Ｗによって決定されること
が知られている。この波長損失を充分に小さくするため
にはＷを波長λ程度にする必要があり、これは短波長指
向のヘッドにとっては極めて不利である。一方、ＭＲ素
子の厚さ方向の両側に高透磁率な磁性体を配置したシー
ルド形ＭＲヘッドがある。このタイプのＭＲヘッドは従
来のリング形巻線ヘッドとほぼ同じ波長応答を示しかな
り短波長寸で高感度に使用できることが知ら九でいる・
しかし、ＭＲ素子と両側の高透磁率磁性体層との間には
磁気的、電気的な絶縁を施す必要があり、この間の絶縁
体層厚Ｖ１．（Ｊ２が従来のリング形巻線ヘッドのギヤ
シブ長に相当する。
る波長応答特性はＭＲ素子幅Ｗによって決定されること
が知られている。この波長損失を充分に小さくするため
にはＷを波長λ程度にする必要があり、これは短波長指
向のヘッドにとっては極めて不利である。一方、ＭＲ素
子の厚さ方向の両側に高透磁率な磁性体を配置したシー
ルド形ＭＲヘッドがある。このタイプのＭＲヘッドは従
来のリング形巻線ヘッドとほぼ同じ波長応答を示しかな
り短波長寸で高感度に使用できることが知ら九でいる・
しかし、ＭＲ素子と両側の高透磁率磁性体層との間には
磁気的、電気的な絶縁を施す必要があり、この間の絶縁
体層厚Ｖ１．（Ｊ２が従来のリング形巻線ヘッドのギヤ
シブ長に相当する。
さらに、近似的にはｑ のギャップ損失と９２のギャッ
プ損失の債の形になるため、短波長におけるギャップ損
失を充分に小さくするためには、ｑｌ。
プ損失の債の形になるため、短波長におけるギャップ損
失を充分に小さくするためには、ｑｌ。
ｑ２共極端に小さくする必要があり、この状況下で磁気
的、電気的にリークのない狭ギ→・ツブ長を形成するこ
とは極めて困難である。
的、電気的にリークのない狭ギ→・ツブ長を形成するこ
とは極めて困難である。
発明の目的
本発明は、上記のように電磁変換特性に大きく関与する
磁気ギャップ°を実質的に有せず、ＭＲ素子幅に起因す
る幅損失を解消する事により、高密度記録領域において
高い再生効率を有し、且つ、薄膜技術で製造が容易で、
バラツキの少ない安定した薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とするものである０ 発明の構成 本発明は非磁性体基板上に、両端に電極を有する強磁性
体よりなる磁気抵抗効果素子を設け、この磁気抵抗効果
素子および上記電極の上に電気絶縁体からなる第１の非
磁性薄膜を形成し、更に上記磁気抵抗効果素子の上に膜
圧の大きい第２の非磁性薄膜を形成し、上記磁気抵抗効
果素子が上記第１の非磁性薄膜を介して磁気的に結合す
るように高透磁率強磁性体層を上記第１．第２の非磁性
薄膜上に形成した薄膜磁気ヘッドである。この薄膜磁気
ヘッドによると、垂直記録媒体に記録された信号磁化に
よって発生した磁束は磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）の
下端部からＭＲ素子に導かれ。
磁気ギャップ°を実質的に有せず、ＭＲ素子幅に起因す
る幅損失を解消する事により、高密度記録領域において
高い再生効率を有し、且つ、薄膜技術で製造が容易で、
バラツキの少ない安定した薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とするものである０ 発明の構成 本発明は非磁性体基板上に、両端に電極を有する強磁性
体よりなる磁気抵抗効果素子を設け、この磁気抵抗効果
素子および上記電極の上に電気絶縁体からなる第１の非
磁性薄膜を形成し、更に上記磁気抵抗効果素子の上に膜
圧の大きい第２の非磁性薄膜を形成し、上記磁気抵抗効
果素子が上記第１の非磁性薄膜を介して磁気的に結合す
るように高透磁率強磁性体層を上記第１．第２の非磁性
薄膜上に形成した薄膜磁気ヘッドである。この薄膜磁気
ヘッドによると、垂直記録媒体に記録された信号磁化に
よって発生した磁束は磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）の
下端部からＭＲ素子に導かれ。
その上端部から高透磁率強磁性体層を通って媒体に戻る
ため、単体形ＭＲヘッドにおけるＭＲ素子幅損失、シー
ルド形ＭＲヘッドにおけるギヤ・ノブ損失が無い。又、
非磁性体基板の上に直接ＭＲ素子を構成する為に、ＭＲ
特性のばらつきが少なく、安定な高密度垂直磁化再生が
行なえるものである。
ため、単体形ＭＲヘッドにおけるＭＲ素子幅損失、シー
ルド形ＭＲヘッドにおけるギヤ・ノブ損失が無い。又、
非磁性体基板の上に直接ＭＲ素子を構成する為に、ＭＲ
特性のばらつきが少なく、安定な高密度垂直磁化再生が
行なえるものである。
実施例の説明
以下、本発明の実施例を第１図及び第２図にもとづき説
明する。第１図、第２図に示すようにＳｉＯ２あるいは
八２２０３などの非磁性基板１上に蒸着、スパツクなど
の方法を用いてＮｉ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｃ０などの強磁性薄
膜を６００八程度付着し写真食刻技術にてＭＲ素子２を
形成する。さらにＭＲ素子２の電極となるＡｕ 、 Ａ
ｆｌ 、 Ｃｕなどの導電体を蒸着、スパッタなどの方
法を用いて付着し写真食刻技術にて所望のパターン（導
電体層）３を形成する。その上にＳｉＯなどの第１の非
磁性薄膜４により導電体層３の１部とＭＲ素子２を棲い
上部磁性体層５との絶縁をとり、更にＭ、Ｒ素子の部方
向上端部を除いた部分にＳｉＯなどの膜厚の大きい第２
の非磁性薄膜６を５〜１００μｍ程度の厚さでリフトオ
フ技術に（り所望の形状に形成する。
明する。第１図、第２図に示すようにＳｉＯ２あるいは
八２２０３などの非磁性基板１上に蒸着、スパツクなど
の方法を用いてＮｉ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｃ０などの強磁性薄
膜を６００八程度付着し写真食刻技術にてＭＲ素子２を
形成する。さらにＭＲ素子２の電極となるＡｕ 、 Ａ
ｆｌ 、 Ｃｕなどの導電体を蒸着、スパッタなどの方
法を用いて付着し写真食刻技術にて所望のパターン（導
電体層）３を形成する。その上にＳｉＯなどの第１の非
磁性薄膜４により導電体層３の１部とＭＲ素子２を棲い
上部磁性体層５との絶縁をとり、更にＭ、Ｒ素子の部方
向上端部を除いた部分にＳｉＯなどの膜厚の大きい第２
の非磁性薄膜６を５〜１００μｍ程度の厚さでリフトオ
フ技術に（り所望の形状に形成する。
さらに蒸着、スパッタなどの方法により、Ｎｉ−Ｆｅな
どの強磁性体層５を付着し、ＭＲ素子の」二端部と磁気
的に結合するように配置する。
どの強磁性体層５を付着し、ＭＲ素子の」二端部と磁気
的に結合するように配置する。
記録媒体７の走行による摩耗から再生ヘッドを保護する
ためガラス、樹脂などの接着剤２０によりカバ一部材２
１を接着する。ＭＲ素子２の上端部は強磁性体層５と磁
気的に結合されておシ下端部は記録媒体７と当接してい
る。非磁性基板１上のＭＲ素子２と略直角な面８は記録
媒体７と当接する面であり、矢印９は媒体の移動方向で
ある・この結果垂直記録媒体７に記録された信号磁化か
ら発生する磁束は、ＭＲ素子２の下端部から導ひかれ、
ＭＲ素子の上端部から磁性体層５を通って媒体７との当
接面８を経て媒体に戻る。
ためガラス、樹脂などの接着剤２０によりカバ一部材２
１を接着する。ＭＲ素子２の上端部は強磁性体層５と磁
気的に結合されておシ下端部は記録媒体７と当接してい
る。非磁性基板１上のＭＲ素子２と略直角な面８は記録
媒体７と当接する面であり、矢印９は媒体の移動方向で
ある・この結果垂直記録媒体７に記録された信号磁化か
ら発生する磁束は、ＭＲ素子２の下端部から導ひかれ、
ＭＲ素子の上端部から磁性体層５を通って媒体７との当
接面８を経て媒体に戻る。
他の実施例として非磁性厚膜６を両端に端子を有するＴ
１等の非磁性導電体で構成し、この導電体６に電流を流
すことによりＭＲ素子にバイアスをかけることができる
□また非磁性基板１上のＭＲ素子２が形成される部分に
、一定周期をもつ格子状凹凸を設け、格子状凹凸の方向
をＭＲ素子２長手方向と傾斜させて配置することにより
ＭＲ素子の磁化容易方向を同素子の電流方向と傾斜させ
て保持する異方性磁界が得られ、その傾斜を適当に設足
する事により第２高調波歪の少ない動作をさせる事が出
来る０この場合、平坦な表面を有する非磁性基板１上に
直接格子状凹凸を形成し、その上にＭＲ素子を直接形成
する事が出来る為、バラツキの少ない安定したバイアス
動作を行なう薄膜ヘッドが得られる。
１等の非磁性導電体で構成し、この導電体６に電流を流
すことによりＭＲ素子にバイアスをかけることができる
□また非磁性基板１上のＭＲ素子２が形成される部分に
、一定周期をもつ格子状凹凸を設け、格子状凹凸の方向
をＭＲ素子２長手方向と傾斜させて配置することにより
ＭＲ素子の磁化容易方向を同素子の電流方向と傾斜させ
て保持する異方性磁界が得られ、その傾斜を適当に設足
する事により第２高調波歪の少ない動作をさせる事が出
来る０この場合、平坦な表面を有する非磁性基板１上に
直接格子状凹凸を形成し、その上にＭＲ素子を直接形成
する事が出来る為、バラツキの少ない安定したバイアス
動作を行なう薄膜ヘッドが得られる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、従来問題となっていた単
体形ＭＲヘッドにおけるＭＲ素子幅損失がなく、従来の
磁気ヘッドに見られたようなギャップ損失のない波長特
性を有する垂直磁化再生ヘッドを実現できる。さらに、
基板に非磁性基板を使用するだめ基板の製作が容易であ
り、非磁性基板上に直接ＭＲ素子を付着するためＭＲ素
子に段差ができず、ＭＲ素子の長手方向につけた磁気異
方性がみだれることなく均一なＭＲ特性の再生ヘッドが
得られるなどの°効果がある。
体形ＭＲヘッドにおけるＭＲ素子幅損失がなく、従来の
磁気ヘッドに見られたようなギャップ損失のない波長特
性を有する垂直磁化再生ヘッドを実現できる。さらに、
基板に非磁性基板を使用するだめ基板の製作が容易であ
り、非磁性基板上に直接ＭＲ素子を付着するためＭＲ素
子に段差ができず、ＭＲ素子の長手方向につけた磁気異
方性がみだれることなく均一なＭＲ特性の再生ヘッドが
得られるなどの°効果がある。
第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの一
部分を断面にて示す斜視図、第２図は第１図におけるＡ
−ＩＶ線断面図である。 １・・・・・非磁性基板、２・・・・・・磁気抵抗効果
素子、３・・・・・・導電体、４，６・・・・・絶縁体
、５・・・・・・磁性体、７・・・・・・記録媒体、８
・・・・・・媒体走行面、９・・・・・・媒体走行方向
、２０・・・・・・接着剤、２１・・・・・・カバーガ
ラス０ 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名４３
−
部分を断面にて示す斜視図、第２図は第１図におけるＡ
−ＩＶ線断面図である。 １・・・・・非磁性基板、２・・・・・・磁気抵抗効果
素子、３・・・・・・導電体、４，６・・・・・絶縁体
、５・・・・・・磁性体、７・・・・・・記録媒体、８
・・・・・・媒体走行面、９・・・・・・媒体走行方向
、２０・・・・・・接着剤、２１・・・・・・カバーガ
ラス０ 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名４３
−
Claims (1)
- （１）非磁性体基板上に、両端に電極を有する強磁性体
よりなる磁気抵抗効果素子を設け、この磁気抵抗効果素
子および上記電極の上に電気絶縁体からなる第１の非磁
性薄膜を形成し、更に上記磁気抵抗効Ａ上に膜厚の大き
い第２の非磁性薄膜を形成−、上記磁気抵抗効果素子が
上記第１の非磁性薄膜を介して磁気的に結合するように
高透磁率強磁性体層を上記第１．第２の非磁性薄膜上に
形成した薄膜磁気ヘッド。 ？）第２の非磁性厚膜が、両端に端子を有する導電体か
らなり、この導電体に電流を流すようにした特許請求の
範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド〇（３）非磁性基板上
の、少なくとも磁気抵抗効果素子が形成される部分に、
磁気抵抗効果素子の電流方向と傾斜させて、−足の周期
を有する格子状凹凸溝を設けた特許請求の範囲第１項記
載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58114515A JPS607608A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58114515A JPS607608A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607608A true JPS607608A (ja) | 1985-01-16 |
Family
ID=14639679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58114515A Pending JPS607608A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607608A (ja) |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP58114515A patent/JPS607608A/ja active Pending
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