JPS6077128A - 感湿素材及び感湿素子 - Google Patents
感湿素材及び感湿素子Info
- Publication number
- JPS6077128A JPS6077128A JP58185040A JP18504083A JPS6077128A JP S6077128 A JPS6077128 A JP S6077128A JP 58185040 A JP58185040 A JP 58185040A JP 18504083 A JP18504083 A JP 18504083A JP S6077128 A JPS6077128 A JP S6077128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- electrode
- oxide
- zirconium oxide
- sensitive material
- Prior art date
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- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、感湿素材及びそれを用いた感湿素子に関する
。
。
近年感湿素子は、家庭用においては電子レンジ等の食品
調理制御素子、衣類乾燥機の乾燥検出システム用、ＶＴ
Ｒのシリンダの結露検出用。
調理制御素子、衣類乾燥機の乾燥検出システム用、ＶＴ
Ｒのシリンダの結露検出用。
又は工業用としては電子部品製造の際の湿度管理用、農
業用としてはハウス空調用、自動車にあってはリアウィ
ンド・デ・フオツガの結露防′止用等広く用いられてい
る。
業用としてはハウス空調用、自動車にあってはリアウィ
ンド・デ・フオツガの結露防′止用等広く用いられてい
る。
ただ湿度の変化に対し、より感度が良くさらに電気抵抗
値が低く、ヒステリシス曲線の直線性が良いものが望ま
れている。
値が低く、ヒステリシス曲線の直線性が良いものが望ま
れている。
本発明者らは、酸化ジルコニウム中のＨｆをより完全に
除くことにより、好寸しい感湿素材を得ることが出来る
ことを見い出した。また上記感湿素材を用いた好ましい
感湿素子も見い出した。
除くことにより、好寸しい感湿素材を得ることが出来る
ことを見い出した。また上記感湿素材を用いた好ましい
感湿素子も見い出した。
即ち１本発明は、酸化ジルコニウム中のＨｆの含有量が
、Ｚｒに対し７０ ｐｐｍ以下である感湿素材を提供す
る。
、Ｚｒに対し７０ ｐｐｍ以下である感湿素材を提供す
る。
さらに、セラミック基板上にアンダーＮ極となる金属を
蒸着し、その上にアッパー電極となる金属を蒸着し、又
は印刷又は無電解メッキにより電極を形成し、さらに酸
化ジルコニウム中のＨｆの含有量が、 Ｚｒ Ｋ対し７
０ ｐｐｍ以下であるものを少なくとも感湿素材として
含むものをバインダーとともに混合し、′前記電極材上
に塗布し、乾燥後、焼結してなる感湿素子も提供する。
蒸着し、その上にアッパー電極となる金属を蒸着し、又
は印刷又は無電解メッキにより電極を形成し、さらに酸
化ジルコニウム中のＨｆの含有量が、 Ｚｒ Ｋ対し７
０ ｐｐｍ以下であるものを少なくとも感湿素材として
含むものをバインダーとともに混合し、′前記電極材上
に塗布し、乾燥後、焼結してなる感湿素子も提供する。
以下本発明について、詳細に説明する。
本発明に用いる酸化ジルコニウムは持論であるが、他の
感湿素材例えば酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブ
、酸化バナジウム、酸化イのものであって、平均粒径が
細かいものであって１例えば０．５μｍ以下のものを用
いることが好ましい。
感湿素材例えば酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブ
、酸化バナジウム、酸化イのものであって、平均粒径が
細かいものであって１例えば０．５μｍ以下のものを用
いることが好ましい。
酸化ジルコニウムは電気抵抗値が低く、感湿素子として
の一つの性質については好ましい。
の一つの性質については好ましい。
しかしながら湿度の変化に対する電気抵抗値の変化に直
線性がないという欠点がある。またより電気抵抗値が低
いことが望まれることはいうまでもない。
線性がないという欠点がある。またより電気抵抗値が低
いことが望まれることはいうまでもない。
上記の問題を解決する一手段として、ジルコニウム中の
ＨｆをＺｒＫ対して７０ ｐｐｍ以下とすると好ましい
ことが把握された。（通常市販されているジルコニア線
、ＥｆがＺ′５％前後であるためである。） また、さらに直線性を出すためには、上記した他の感湿
素子を加えることが好ましい。この添加は、好ましくは
酸化ジルコニウムに対し１０〜６０％加えられる。
ＨｆをＺｒＫ対して７０ ｐｐｍ以下とすると好ましい
ことが把握された。（通常市販されているジルコニア線
、ＥｆがＺ′５％前後であるためである。） また、さらに直線性を出すためには、上記した他の感湿
素子を加えることが好ましい。この添加は、好ましくは
酸化ジルコニウムに対し１０〜６０％加えられる。
さらに低温度で焼結させるためには、バインダーを用い
るととが好ましい。バインダーとしては無鉛ホウケイ酸
ガラスを用いる。このバインダーの添加貴社、前記酸化
ジルコニウムと添加物である他の感湿素材との合量に対
し好ましくは５〜１５憾添加する。
るととが好ましい。バインダーとしては無鉛ホウケイ酸
ガラスを用いる。このバインダーの添加貴社、前記酸化
ジルコニウムと添加物である他の感湿素材との合量に対
し好ましくは５〜１５憾添加する。
また前記の感湿素材を用いた感湿素子を蒸着法で製造す
る場合は、以下のごとく行う。
る場合は、以下のごとく行う。
セラミック基板０例えばＡ１１０ｇ、 Ｂ１０１． Ｚ
ｒ０１等からなるものの上に、アンダー電極としてニッ
ケルを蒸着し、ついでその上に防錆用のトップ電極とし
て金を蒸着したものを電極とする。これらの電極は、第
１図に示すととくホトエツチングを行い所謂くし形電極
とすることが好ましい。
ｒ０１等からなるものの上に、アンダー電極としてニッ
ケルを蒸着し、ついでその上に防錆用のトップ電極とし
て金を蒸着したものを電極とする。これらの電極は、第
１図に示すととくホトエツチングを行い所謂くし形電極
とすることが好ましい。
又は、印刷の場合は２例えばスクリーン印刷によシ、←
ルテニウムペーストを用いて電極を形成する。さらＫは
、無電解メッキによシ行っても良い。
ルテニウムペーストを用いて電極を形成する。さらＫは
、無電解メッキによシ行っても良い。
上記した感湿素材及びバインダーは、上記電極上に塗布
される。その後１３０〜１９０℃の雰囲気中でα５〜２
時間予備乾燥後、８００〜９００℃の雰囲気中で数十分
の焼結を行う。以上によｐ感、湿素子を得る。
される。その後１３０〜１９０℃の雰囲気中でα５〜２
時間予備乾燥後、８００〜９００℃の雰囲気中で数十分
の焼結を行う。以上によｐ感、湿素子を得る。
さらに他の感湿素子の製造法としては、感湿素材をポリ
ビニールアルコールの水溶液で練り上げ、練ったものを
金型に入れて所定圧（例えば１００ｈ／ａ１〜７００Ｋ
ｆ／ｃｄ ）をかけ常温で３〜５分間加圧し、一定形状
のものを作成し、その後一定の温度（例えば９５０〜１
ｘｏｏ℃）で数時間加熱する。
ビニールアルコールの水溶液で練り上げ、練ったものを
金型に入れて所定圧（例えば１００ｈ／ａ１〜７００Ｋ
ｆ／ｃｄ ）をかけ常温で３〜５分間加圧し、一定形状
のものを作成し、その後一定の温度（例えば９５０〜１
ｘｏｏ℃）で数時間加熱する。
成形されたものをダイヤモンドカッターを用いて所定厚
（約１００〜５００ｐｍ）Ｋスライスし。
（約１００〜５００ｐｍ）Ｋスライスし。
一定の角片を得る。この多孔質焼結体の表と裏の面にル
テニウム等の厚膜ペーストを印刷し。
テニウム等の厚膜ペーストを印刷し。
一対の電極とし、これに′ＩＩ極線を接合し、感湿素子
を得る。
を得る。
この感湿素子であると不純物を含む無鉛ポウケイ酸ガラ
スを使用していないためより好ましいものが得られる。
スを使用していないためより好ましいものが得られる。
以上のように本発明の感湿素材を用いるとっ？
ぎのような効果を得る。
（１） 酸化ジルコニウムのみの感湿素子に比べ。
湿度変化に対する抵抗値の変化ＫＭ線性かあり、ヒステ
リシス曲線も同一温度においてはほぼ同一の値を示す。
リシス曲線も同一温度においてはほぼ同一の値を示す。
０） また、くシ形電極による感湿素子は、処理工程が
簡単であり簡易にできる。また亜鉛ホウグイ酸ガラスを
用いることＫより、より低温で焼結することが可能であ
る。
簡単であり簡易にできる。また亜鉛ホウグイ酸ガラスを
用いることＫより、より低温で焼結することが可能であ
る。
まえ他のニオブ酸ニッケルと酸化ニオブ、ルテニウム酸
ルビジクムと酸化バナジウム・Ｋついても同様な直線性
ある電気抵抗値の極めて低いものが得られた。
ルビジクムと酸化バナジウム・Ｋついても同様な直線性
ある電気抵抗値の極めて低いものが得られた。
なお比較例と比較すると、Ｈｆの含有量の少ない方が電
気抵抗値が低いばかシでなく、よりよい直線性が得られ
ている。
気抵抗値が低いばかシでなく、よりよい直線性が得られ
ている。
第１図は、くシ形電極を有した感湿素子である。
特許出願人 日本鉱業株式会社
代理人 弁理士（７５６９）並川啓志
Claims (2)
- （１） 酸化ジルコニウム中のＨｆの含有量が、Ｚｒに
対し７０ ｐｐｍ以下であることを特徴とする感湿素材
。 - （２） セラミック基板上に、アンダー電極となる金属
を蒸着し、その上にアッパー電極となる金属を蒸着し、
又は印刷又は無電解メッキにより電極を形成し、さらに
酸化ジルコニウム中のＨｆの含有量が、Ｚｒに対し７０
ｐｐｍ以下であるものを少なくとも感温素材として含
むものをバインダーとともに混合し、前記電極材上圧塗
布し、乾燥後、焼結したことを特徴とする感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58185040A JPS6077128A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 感湿素材及び感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58185040A JPS6077128A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 感湿素材及び感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6077128A true JPS6077128A (ja) | 1985-05-01 |
Family
ID=16163736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58185040A Pending JPS6077128A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 感湿素材及び感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6077128A (ja) |
-
1983
- 1983-10-05 JP JP58185040A patent/JPS6077128A/ja active Pending
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