JPS6081883A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6081883A JPS6081883A JP19046783A JP19046783A JPS6081883A JP S6081883 A JPS6081883 A JP S6081883A JP 19046783 A JP19046783 A JP 19046783A JP 19046783 A JP19046783 A JP 19046783A JP S6081883 A JPS6081883 A JP S6081883A
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- JP
- Japan
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- pair
- housing
- guide bars
- laser
- laser oscillator
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、例えば炭酸ガスレーザ発振器などのレーザ
発振器において、そのレーザ共振器の組み立ての相対位
置を一定に保持する保持構造に関するものである。
発振器において、そのレーザ共振器の組み立ての相対位
置を一定に保持する保持構造に関するものである。
従来この種のレーザ発振器として良く知られている、例
えば炭酸ガスレーザ発振器では、相対向して置かれた一
対の反射鏡の接平面が、レーザ媒質の中心軸に対し、垂
直に、かつ対向する各反射鏡の接平面が極めて平行度良
く調整されていなければ、レーザ発振はほとんど困難で
あった。このため、従来の炭酸ガスレーザ発振器は、第
１図ないし第３図に示す様に構成されている。第１図は
従来の炭酸ガスレーザ発振器の構成を示す正面図、第２
図は、第１図の右側面図、第３図は、第２図のＤ−Ｄ線
の拡大断面詳細図である。上記各図において、１はレー
ザ発振器の筐体であり、この筐体１内には一対の電極２
が配設されている。３及び４は、それぞれの内部に部分
反射鏡６及び全反射鏡５を備えたレーザ共振器偽）及び
レーザ共振器（Ｂ）である。各レーザ共振器（４）３及
びレーザ共振器（Ｂ）４は、３本のガイドバー８ａ、８
ｂ、８ｃにより保持された一対の保持板１０に取り付け
られている。
えば炭酸ガスレーザ発振器では、相対向して置かれた一
対の反射鏡の接平面が、レーザ媒質の中心軸に対し、垂
直に、かつ対向する各反射鏡の接平面が極めて平行度良
く調整されていなければ、レーザ発振はほとんど困難で
あった。このため、従来の炭酸ガスレーザ発振器は、第
１図ないし第３図に示す様に構成されている。第１図は
従来の炭酸ガスレーザ発振器の構成を示す正面図、第２
図は、第１図の右側面図、第３図は、第２図のＤ−Ｄ線
の拡大断面詳細図である。上記各図において、１はレー
ザ発振器の筐体であり、この筐体１内には一対の電極２
が配設されている。３及び４は、それぞれの内部に部分
反射鏡６及び全反射鏡５を備えたレーザ共振器偽）及び
レーザ共振器（Ｂ）である。各レーザ共振器（４）３及
びレーザ共振器（Ｂ）４は、３本のガイドバー８ａ、８
ｂ、８ｃにより保持された一対の保持板１０に取り付け
られている。
７は金属性のベローズであり、このベローズ７は、筐体
１とその左、右に位置する保持板１０を接続するもので
ある。筐体１と各レーザ共振器（Ａ）３及び（Ｂ）４を
保持すべき各保持板１０による支持構成は、第３図１こ
示す様な構造を有する。すなわち、筺体１の本体外周部
（真空状態を形成しない部分）に、３本のガイドバー８
ａ〜８Ｃの軸受となるブツシュ２０をボルト２１により
固着する。また、保持板１０は各ガイドバー８ａ〜８Ｃ
の軸端部面に接合させ、それぞれナツト９により締め付
けて各ガイドバー８ａ〜８Ｃと一体化する。
１とその左、右に位置する保持板１０を接続するもので
ある。筐体１と各レーザ共振器（Ａ）３及び（Ｂ）４を
保持すべき各保持板１０による支持構成は、第３図１こ
示す様な構造を有する。すなわち、筺体１の本体外周部
（真空状態を形成しない部分）に、３本のガイドバー８
ａ〜８Ｃの軸受となるブツシュ２０をボルト２１により
固着する。また、保持板１０は各ガイドバー８ａ〜８Ｃ
の軸端部面に接合させ、それぞれナツト９により締め付
けて各ガイドバー８ａ〜８Ｃと一体化する。
次に、上記第１図ないし第３図に示す従来の炭酸ガスレ
ーザ発振器の動作について説明する。炭酸ガスレーザ発
振器では、通常レーザ媒質としての作動ガス圧力を約１
００Ｔｏｒｒ（大気圧は７６０Ｔｏｒｒ）程度で運転す
るため、筐体１はその圧力によって変形することがある
。このため、３本のがイドバー８ａ〜８Ｃは各ブツシュ
２０の部分でスライドすることにより、筐体１の変形に
対して、各保持板１０の位置関係、ひいては各レーザ共
振器（ト）３及び（Ｂ）４内の部分反射鏡６及び全反射
鏡５の位置関係を保持する様にしている。また、３本の
ガイドバー８ａ〜８Ｃの線膨張によっても、各レーザ共
振器体）３及び（Ｂ）４の位置関係は変化するので、各
ガイドバー８ａ〜８Ｃの材質として、温度に対してその
長さの変化しない材料、例えばアンバーなどの不変鋼を
使用している。
ーザ発振器の動作について説明する。炭酸ガスレーザ発
振器では、通常レーザ媒質としての作動ガス圧力を約１
００Ｔｏｒｒ（大気圧は７６０Ｔｏｒｒ）程度で運転す
るため、筐体１はその圧力によって変形することがある
。このため、３本のがイドバー８ａ〜８Ｃは各ブツシュ
２０の部分でスライドすることにより、筐体１の変形に
対して、各保持板１０の位置関係、ひいては各レーザ共
振器（ト）３及び（Ｂ）４内の部分反射鏡６及び全反射
鏡５の位置関係を保持する様にしている。また、３本の
ガイドバー８ａ〜８Ｃの線膨張によっても、各レーザ共
振器体）３及び（Ｂ）４の位置関係は変化するので、各
ガイドバー８ａ〜８Ｃの材質として、温度に対してその
長さの変化しない材料、例えばアンバーなどの不変鋼を
使用している。
従来の炭酸ガスレーザ発振器は以上の様に構成されてい
るので、筐体１がその内部の作動ガス圧力により変形し
た通常の運転状態では、一対の保持板１０及び各レーザ
共振器（Ａ）３．（Ｂ）４の重量が、３本のガイドバー
８ａ〜８Ｃにより面接触している ３− ブツシュ２０の部分で集中応力を生じ、この時、各ガイ
ドバー８ａ〜８Ｃがスライドしないばかりでなく、筐体
１及び各保持板１０の熱膨張変化により、それに付随す
る各ガイドバー８ａ〜８ｃのピッチ誤差を生ずることに
なり、この結果、各レーザ共振器（Ａ）３及び田）４内
の各反射鏡６，５の接平面がずれることによるレーザ出
力低下や、レーザ出力モードの変化を起すなどの欠点が
あった。
るので、筐体１がその内部の作動ガス圧力により変形し
た通常の運転状態では、一対の保持板１０及び各レーザ
共振器（Ａ）３．（Ｂ）４の重量が、３本のガイドバー
８ａ〜８Ｃにより面接触している ３− ブツシュ２０の部分で集中応力を生じ、この時、各ガイ
ドバー８ａ〜８Ｃがスライドしないばかりでなく、筐体
１及び各保持板１０の熱膨張変化により、それに付随す
る各ガイドバー８ａ〜８ｃのピッチ誤差を生ずることに
なり、この結果、各レーザ共振器（Ａ）３及び田）４内
の各反射鏡６，５の接平面がずれることによるレーザ出
力低下や、レーザ出力モードの変化を起すなどの欠点が
あった。
この発明は、上記の様な従来のものの欠点を改善する目
的でなされたもので、レーザ共振器を保持する保持板に
固定した複数本のガイドバーの内、２本のガイドバーは
、レーザ発振器の筐体との間に、それぞれ一対の球面軸
受と、一対の転がり軸受を備え、他の残りのガイドバー
は筐体とは無関係となる様にした構成を有し、筐体の変
形や各ガイドバー及び保持板の変形時にも、その変動量
を吸収できるレーザ発振器を提供するものである。
的でなされたもので、レーザ共振器を保持する保持板に
固定した複数本のガイドバーの内、２本のガイドバーは
、レーザ発振器の筐体との間に、それぞれ一対の球面軸
受と、一対の転がり軸受を備え、他の残りのガイドバー
は筐体とは無関係となる様にした構成を有し、筐体の変
形や各ガイドバー及び保持板の変形時にも、その変動量
を吸収できるレーザ発振器を提供するものである。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
４−
第４図はこの発明の一実施例である炭酸ガスレーザ発振
器の構成を示す正面図、第５図は、第４図の右側面図、
第６図ないし第８図は、それぞれ第５図のＡ−Ａ線、Ｂ
−Ｂ線及びＣ−Ｃ線の拡大断面詳細図である。上記各図
において、筐体１．一対の電極２．各レーザ共振器（Ａ
）３及び（Ｂ）４ｙ全反射鏡５１部分反射鏡６．ベロー
ズ７．３本のガイドバー８ａ〜８ｃ、ナツト９及び保持
板１０は、上記第１図に示す従来例のものと同様である
ので、その詳細な説明は省略する。各レーザ共振器０）
３及び（Ｂ）４をそれぞれ保持する一対の保持板１０が
、３本のガイドバー８ａ〜８Ｃにより一体化されている
点は、上記第１図に示す従来例と同様であるが、筐体１
と３本のガイドバー８ａ〜８Ｃとの関連構造が上記従来
例のものと異なるので、下記に述べる。
器の構成を示す正面図、第５図は、第４図の右側面図、
第６図ないし第８図は、それぞれ第５図のＡ−Ａ線、Ｂ
−Ｂ線及びＣ−Ｃ線の拡大断面詳細図である。上記各図
において、筐体１．一対の電極２．各レーザ共振器（Ａ
）３及び（Ｂ）４ｙ全反射鏡５１部分反射鏡６．ベロー
ズ７．３本のガイドバー８ａ〜８ｃ、ナツト９及び保持
板１０は、上記第１図に示す従来例のものと同様である
ので、その詳細な説明は省略する。各レーザ共振器０）
３及び（Ｂ）４をそれぞれ保持する一対の保持板１０が
、３本のガイドバー８ａ〜８Ｃにより一体化されている
点は、上記第１図に示す従来例と同様であるが、筐体１
と３本のガイドバー８ａ〜８Ｃとの関連構造が上記従来
例のものと異なるので、下記に述べる。
第６図に示す様に、ガイドバー８ａは筐体１に取り付け
たハウジング１３内の球面軸受１４により支持され、ガ
イドバー８ａの軸端部には保持板１０をナツト９により
固着する。球面軸受１４はその外端部をフランジ１５で
固定し、フランジ１５及びハウジング１３をボルト１６
により筐体１に固着する構成を有している。また、第７
図に示す様に、ガイドバー８ｂには転がり軸受１１を堆
り付け、転がり軸受１１の下面と平面状に線接触するブ
ラケット１２は、筐体１にボルト１８で固着する。カラ
ー１７は、ナツト９によりガイドバー８ｂを保持板１０
に締め付ける時に、同時に転がり軸受１１を固着する役
目をする。また、第８図に示す様に、ガイドバー８Ｃは
、筐体１とは無関係となる様に保持板１０に対してナツ
ト９により締め付は固着する構成を有している。
たハウジング１３内の球面軸受１４により支持され、ガ
イドバー８ａの軸端部には保持板１０をナツト９により
固着する。球面軸受１４はその外端部をフランジ１５で
固定し、フランジ１５及びハウジング１３をボルト１６
により筐体１に固着する構成を有している。また、第７
図に示す様に、ガイドバー８ｂには転がり軸受１１を堆
り付け、転がり軸受１１の下面と平面状に線接触するブ
ラケット１２は、筐体１にボルト１８で固着する。カラ
ー１７は、ナツト９によりガイドバー８ｂを保持板１０
に締め付ける時に、同時に転がり軸受１１を固着する役
目をする。また、第８図に示す様に、ガイドバー８Ｃは
、筐体１とは無関係となる様に保持板１０に対してナツ
ト９により締め付は固着する構成を有している。
次に、上述した様に構成した３本のガイドバー８ａ〜８
ｃと、一対の保持板１０とを支持する球面軸受１４及び
転がり軸受１１の作用ｌこついて述べる。今、筐体ｌの
内部圧力を約１００Ｔｏｒｒに設定すると、筐体１及び
ベローズ７により筐体１と直結された保持板１０には、
上記筐体１の内部圧力によって変形を生ずる。ここで、
保持板１０は、その構造体の肉厚を厚くして変形を生じ
ない程度までにすることができるが、筐体１にはひねり
等の変形が生ずる。そこで、筐体１のねじれ変形は、ガ
イドバー８ａに取り付けられた球面軸受１４により吸収
する様にしている。この際、各ガイドバー８ｂ、８ｃは
筐体１とは直接的に接触していないので何らの影響もな
い。一方、筐体１及び保持板１０の温度変化による膨張
変化は、ガイドカバー８ｂに堆り付けた転がり軸受ｌｌ
により吸収する様にしている。また、各レーザ共振器（
Ａ）３及び（Ｂ）４と、一対の保持板１０の重量は、一
対の転がり軸受１１及び一対の球面軸受１４により保持
されているので、筐体１が変形するなどの変動があって
も、３本のガイドバー８ａ〜８Ｃによって支持された一
対の保持板１０は少しも移動することはなく、これによ
り、常に一定の各レーザ共振器ｃＡ＋３及び（Ｂ）４の
位置関係が保持される。
ｃと、一対の保持板１０とを支持する球面軸受１４及び
転がり軸受１１の作用ｌこついて述べる。今、筐体ｌの
内部圧力を約１００Ｔｏｒｒに設定すると、筐体１及び
ベローズ７により筐体１と直結された保持板１０には、
上記筐体１の内部圧力によって変形を生ずる。ここで、
保持板１０は、その構造体の肉厚を厚くして変形を生じ
ない程度までにすることができるが、筐体１にはひねり
等の変形が生ずる。そこで、筐体１のねじれ変形は、ガ
イドバー８ａに取り付けられた球面軸受１４により吸収
する様にしている。この際、各ガイドバー８ｂ、８ｃは
筐体１とは直接的に接触していないので何らの影響もな
い。一方、筐体１及び保持板１０の温度変化による膨張
変化は、ガイドカバー８ｂに堆り付けた転がり軸受ｌｌ
により吸収する様にしている。また、各レーザ共振器（
Ａ）３及び（Ｂ）４と、一対の保持板１０の重量は、一
対の転がり軸受１１及び一対の球面軸受１４により保持
されているので、筐体１が変形するなどの変動があって
も、３本のガイドバー８ａ〜８Ｃによって支持された一
対の保持板１０は少しも移動することはなく、これによ
り、常に一定の各レーザ共振器ｃＡ＋３及び（Ｂ）４の
位置関係が保持される。
なお、上記実施例では、３本のガイドカバー８ａ〜８Ｃ
を使用した場合について説明したが、２本のがイドカバ
ー８ａ 、８ｂ以外の他の残りのガイドカバー８０を、
２本以上使用した場合についても同様に適用が可能であ
る。
を使用した場合について説明したが、２本のがイドカバ
ー８ａ 、８ｂ以外の他の残りのガイドカバー８０を、
２本以上使用した場合についても同様に適用が可能であ
る。
７−
〔発明の効果〕
この発明は以上説明した様に、相対向する一対の反射鏡
を有するレーザ発振器において、このレーザ発振器の筐
体と接する複数本のガイドバーの内、２本のガイドバー
の両端には、それぞれ一対の球面軸受と、一対の転がり
軸受を備え、他の残りのガイドバーは、筐体とは無関係
な形態に成る様に構成したので、複数本のガイドバーに
よって支持されている一対の保持板及びレーザ共振器の
位置関係が、筐体の変形や、保持板の温度変化による熱
膨張に対して、はとんど影響を受けることがなく、この
ため、レーザ共振器の位置ずれに起因するレーザ出力低
下や、レーザ出力モードの変化を防止できる極めて精度
の高いレーザ発振器が得られるという優れた効果を奏す
るものである。
を有するレーザ発振器において、このレーザ発振器の筐
体と接する複数本のガイドバーの内、２本のガイドバー
の両端には、それぞれ一対の球面軸受と、一対の転がり
軸受を備え、他の残りのガイドバーは、筐体とは無関係
な形態に成る様に構成したので、複数本のガイドバーに
よって支持されている一対の保持板及びレーザ共振器の
位置関係が、筐体の変形や、保持板の温度変化による熱
膨張に対して、はとんど影響を受けることがなく、この
ため、レーザ共振器の位置ずれに起因するレーザ出力低
下や、レーザ出力モードの変化を防止できる極めて精度
の高いレーザ発振器が得られるという優れた効果を奏す
るものである。
第１図は従来の炭酸ガスレーザ発振器の構成を示す正面
図、第２図は、第１図の右側面図、第３図は第２図のＤ
−Ｄ線の拡大断面詳細図、第４図はこの発明の一実施例
である炭酸ガスレーザ発振 ８− 器の構成を示す正面図、第５図は、第４図の右側面図、
第６図ないし第８図は、それぞれ第５図のＡ−Ａ線、Ｂ
−Ｂ線及びＣ−Ｃ線の拡大断面詳細図である。 図において、１・・・筐体、２・・・電極、３・・・レ
ーザ共振器（４）、４・・・レーザ共振器（Ｂ）、５・
・・全反射鏡、６・・・部分反射鏡、７・・・ベローズ
、８ａ〜８Ｃ・・・ガイドカバー、９・・・ナツト、１
０・・・保持板、１１・・・転がり軸受、１２・・・ブ
ラケット、１３・・・ハウジング、１４・・・球面軸受
、１５・・・フランジ、１６，１８．２１・・・ボルト
、２０・・・ブツシュである。 なお、各図中、伺−符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第７図 第８図
図、第２図は、第１図の右側面図、第３図は第２図のＤ
−Ｄ線の拡大断面詳細図、第４図はこの発明の一実施例
である炭酸ガスレーザ発振 ８− 器の構成を示す正面図、第５図は、第４図の右側面図、
第６図ないし第８図は、それぞれ第５図のＡ−Ａ線、Ｂ
−Ｂ線及びＣ−Ｃ線の拡大断面詳細図である。 図において、１・・・筐体、２・・・電極、３・・・レ
ーザ共振器（４）、４・・・レーザ共振器（Ｂ）、５・
・・全反射鏡、６・・・部分反射鏡、７・・・ベローズ
、８ａ〜８Ｃ・・・ガイドカバー、９・・・ナツト、１
０・・・保持板、１１・・・転がり軸受、１２・・・ブ
ラケット、１３・・・ハウジング、１４・・・球面軸受
、１５・・・フランジ、１６，１８．２１・・・ボルト
、２０・・・ブツシュである。 なお、各図中、伺−符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第７図 第８図
Claims (3)
- （１） 相対向する一対の反射鏡を有するレーザ発振器
において、前記各反射鏡を支持するレーザ共振器の組み
立ての相対位置を一定に保持すべく、前記レーザ共振器
を保持する保持板に固定した複数本のガイドバーの内、
２本のガイドバーは、前記レーザ発振器の筐体との間に
、それぞれ一対の球面軸受と、一対の転がり軸受を備え
、他の残りのガイドバーは、前記筐体とは無関係となる
様に前記保持板に固定して成ることを特徴とするレーザ
発振器。 - （２）前記一対の球面軸受は、前記ガイドバーに対して
ラジアル方向に配設したことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のレーザ発振器。 - （３）前記一対の転がり軸受は、前記ガイドバーに対し
てラジアル方向に配設し、前記転がり軸受を支持するブ
ラケツ］・は、前記筐体に固着したことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19046783A JPS6081883A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19046783A JPS6081883A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6081883A true JPS6081883A (ja) | 1985-05-09 |
| JPS64832B2 JPS64832B2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=16258594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19046783A Granted JPS6081883A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6081883A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62128579A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-10 | エチコン、インコーポレイテツド | ガス・レ−ザ |
| US5596597A (en) * | 1994-05-16 | 1997-01-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator with stabilized pointing |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020250438A1 (ja) | 2019-06-14 | 2020-12-17 | 国立大学法人東北大学 | 胎盤を構成する細胞への分化能を有する細胞、およびその製造方法 |
| US20230313130A1 (en) | 2020-07-17 | 2023-10-05 | Tohoku University | Trophoblast stem cell-like cells capable of differentiating into placenta-constituting cells, and method for producing same |
-
1983
- 1983-10-12 JP JP19046783A patent/JPS6081883A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62128579A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-10 | エチコン、インコーポレイテツド | ガス・レ−ザ |
| US5596597A (en) * | 1994-05-16 | 1997-01-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator with stabilized pointing |
| US5675598A (en) * | 1994-05-16 | 1997-10-07 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator with stabilized pointing |
| US5745513A (en) * | 1994-05-16 | 1998-04-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator with stabilized pointing |
| US5748662A (en) * | 1994-05-16 | 1998-05-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator with stabilized pointing |
| DE19549708B4 (de) * | 1994-05-16 | 2007-05-03 | Mitsubishi Denki K.K. | Laseroszillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS64832B2 (ja) | 1989-01-09 |
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