JPS6082122A - ガス圧調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本願は半導体製造設備等より送り込まれてぐる排ガスの
量だけ送り出して浄化して他を排風機に戻し當にガス圧
を一定に保つようにしたガス圧調整方法に係る発明であ
る。

本願の目的とするところは一定圧力で操作する必要があ
る半導体製造設備等において排ガス処理設備に連結する
吸入圧力を一定に保つと共にスクラバを有効に作用させ
るようにしたガス圧調整方法を提供するＫある。

本願の他の目的とするところは浄化装置へ変動する流量
の排ガスを処理するので浄化装置の損傷を防止し、且つ
確実に排ガスを浄化して排気することができるようにし
たガス圧調整方法を提供するにある。

本願の又他の目的とするところはスクラバーの吸入側に
排風機を配置しスクラバーケ大気圧より加圧状態にする
ことによりエアーの吸入を防止することができるように
したガス圧調整方法を提供するにある。

今そり目的を達するために実施例を述べれば、排ガス送
り込み管（１）を圧力調整バック（２）に配管し、２ｍ
３　の圧力調整バック（２）とスクラバー（３）とを送
気管（４）で連結し、スクラバー（３）に排気Ｍ　（５
）を配管すると共に排気管（５）を精製工程（図示せず
）に配管するものである。

送気管（４）に３００　Ｎｍ’／ｈｒの排風機（６）を
配設し常に一定量（例えば３００　ｍ３／ｈｒ　）の排
ガスをスクラバー（３）に送るようにし、且つ排気管（
５）を分岐し片側の排気管（５ａ）に排ガス漬調整パル
プ（７）を配設し、他側の排気管（５ｂ）をガス量調整
パルプ（８）を介して排風機（６）の吸入側の送気管（
４）に配管するものである。

ガス圧測定伝送器αＢの４８号を回路（９）及び叫にて
弁（７）及び（８）を操作してガス圧の大気との差圧に
よって自動的に設定圧力になるようパルプの開閉を行い
ガス址欠調整するものである。

圧力調整バック（２）の構造な簡単に述べれば、金属円
筒（２ａ）は中間で上下を分割した構造になっており下
側は密封構造となっている。金属円筒の分割部にはゴム
製のダイヤフラムバック（２ｂ）を気密に取付けてあり
ダイヤフラムバック（２ｂ）の上面だ金属円板（２Ｃ）
を固定し、金属円板（２Ｃ）の上部にワイヤー（２ｄ）
の一端を固定し、該ワイヤー（２ｄ）を金属円筒（２ａ
）の上部に引き出し端部にバランスウェイト（２ｅ）を
取付けると共にワイヤー（２ｄ）Ｙ適宜に設けた滑車（
２ｆ）に捲回してスムースに上下動できるようにする。

そしてダイヤフラムバック（２ｂ）内の圧力の上限は一
３５關Ａｆで下限は一４５馴Ａｌ程度とし常にガス圧が
運転中±２１１１１Ａ）位いを保っようにダイヤフラム
バック（２ｂ）とバランスウェイトＣｅ）とのバランス
を調整しであるものである。

排ガスを圧力調整バック（２）に送り一定圧に保ちつつ
、排ガスを排風機（６）にて吸入してスクラバー（３）
に送りある種のガスを浄化して浄化装置に送るものであ
るが、ガス量調整パルプ（７）はガス圧測定器Ｑｌｌに
て測定されたガスの大気との差圧して排風機（６）の吸
入側に送り排風機（６）によってスクラバー（３ｔ　Ｋ
送る。

ガス量調整パルプ（８）はガス圧側定器Ｕυ疋て測定さ
れたガスの大気との差圧により設定圧力になるよう開閉
されて排風機（６）に排ガスを送るようにしたものであ
る。

従って圧力調整バック（２１は排風機（６）により内部
のガスは吸引さ九るものであるが、このまへでは圧力調
整バック（２）が２ｊで排風機（６）が３０ＯＮｍ／Ｉ
ｌｒとすると送られて来る排ガスの圧力が減少した場合
バック内が規定以上に圧力が下がるためバック内の圧力
を一定に保つことができないので、この時ガス圧測定伝
送器ＣＩＩＨＣよりガス１、Ｌ調整バルブ（７）を絞り
、ガス量調整バ／’フ（８）を開きスクラバー（３）よ
り出る排ガスな排気＜；ｉ　（６１の吸入側に送りバッ
ク内の排ガスの吸入を減少させてバック内の圧力を一定
に１スっものである。

バック内の圧力が高（なったときはこの逆の作用をさせ
るものである。

前６ｅの作用により常に圧力調整バック（２）内の圧力
を±２ｒｎｍＡ（ｄ−位いの差で一定に保ち、排風機（
６１−１スクラバー（３）−、排風機（６）と循環させ
ることにより浄化装］ユにも一定量ずつ排ガスを送るこ
とができ、なお且つ、スクラバー（３）に排風４ａ　（
Ｇ）によって排ガスを送ることによりスクラバー（３）
内の圧力をプラス圧にすることによりスクラバ＝（３）
内にエアーを吸い込まないようにすることができるもの
である。

本願は叙上のように不定流量の排ガスをガス圧調整バッ
クに送り±２ＭＡｆ程度の圧力変化に維持させながらガ
ス圧調整バックより排風機にて吸引した後、排ガスをス
クラバーに送りガス圧調整バックに送られてくる排ガス
の量だけ排気すると共に残量を排風機の吸引側に返送し
て常にガス圧調整バック内の排ガスの圧力を常に一定に
保つようにして成るので良く所期の目的を達することが
できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本願におけるガス圧調整方法のフローシート、
第２図はガス圧調整バックの断面図である。 特許出願人　東洋酸素株式会社 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　不定流量の排ガスをガス圧調整バックに送り±
   ２１１１１Ａφ程度の圧力変化を維持させながらガス圧
   調整バックより排風機にて吸引した後、排ガスをヌクラ
   バーに送りガス圧調整バックに送られてくる排ガスの計
   だけ排気すると共忙残赦を排風機の吸引側に返送して常
   にガス圧調整バック内の圧力を常に一定に保つよう圧し
   て成ることを％徴と１−るガス圧調整方法。