JPS6083218A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS6083218A JPS6083218A JP19072983A JP19072983A JPS6083218A JP S6083218 A JPS6083218 A JP S6083218A JP 19072983 A JP19072983 A JP 19072983A JP 19072983 A JP19072983 A JP 19072983A JP S6083218 A JPS6083218 A JP S6083218A
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- vertical magnetic
- perpendicular magnetic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕 □
本発明は垂直磁気記録用の記録媒体にＳシ、特に高密度
記録に好適な多層膜磁気記録媒体に関する。
記録に好適な多層膜磁気記録媒体に関する。
従来の垂直磁気記録用媒体は、基体上にスパッタリング
法、真空蒸着法などでＣｏ−Ｃｒを０．２〜５μｍ程度
形成することで作製孕れていた。一般にこれらの方法で
薄膜を形成すると膜厚が大きくなるに従い、結晶粒径も
大きくなシ、そのため特に１５０ｋＢＰＩ程度の高記録
密度を達成しようとする場合にはＣｏ−Ｃｒ膜厚が０．
２μｍ程度と薄い場合にでも、本媒体に記録を行うと再
生時に大きなノイズが発生し出力ノイズ比が劣化してし
ｌうという欠点があった。
法、真空蒸着法などでＣｏ−Ｃｒを０．２〜５μｍ程度
形成することで作製孕れていた。一般にこれらの方法で
薄膜を形成すると膜厚が大きくなるに従い、結晶粒径も
大きくなシ、そのため特に１５０ｋＢＰＩ程度の高記録
密度を達成しようとする場合にはＣｏ−Ｃｒ膜厚が０．
２μｍ程度と薄い場合にでも、本媒体に記録を行うと再
生時に大きなノイズが発生し出力ノイズ比が劣化してし
ｌうという欠点があった。
本発明の目的は、１５０ｋＢＰＩ程度の高密度で記録し
た場合にも出力ノイズ比の高い垂直磁気記録用Ｎ膜媒体
を提供することにある。
た場合にも出力ノイズ比の高い垂直磁気記録用Ｎ膜媒体
を提供することにある。
本発明者らは、媒体の垂直配向性をそこなうことなく結
晶粒径を微細な状態に保つ膜形成方法傾ついて鋭意検討
した結果、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性Ｎｆ：
介して積層することで上記目的を達成できることが明ら
かになった。この媒体を１５０ｋＤＰＩ程度の高密度で
記録した場合には、通常の方法で作製した媒体に比べ格
段にノイズが低く、さらに本薄膜を高透磁率磁性層で裏
打らすることで出力ノイズ比の観点からさらに特性の浸
れｆ′ｃ膜が得られ、特にこの効果は、上記垂直磁気異
方性を有する薄膜はｃｏもしくはＣｏｆｃ主体とした磁
性金属である場合により顕著であった。
晶粒径を微細な状態に保つ膜形成方法傾ついて鋭意検討
した結果、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性Ｎｆ：
介して積層することで上記目的を達成できることが明ら
かになった。この媒体を１５０ｋＤＰＩ程度の高密度で
記録した場合には、通常の方法で作製した媒体に比べ格
段にノイズが低く、さらに本薄膜を高透磁率磁性層で裏
打らすることで出力ノイズ比の観点からさらに特性の浸
れｆ′ｃ膜が得られ、特にこの効果は、上記垂直磁気異
方性を有する薄膜はｃｏもしくはＣｏｆｃ主体とした磁
性金属である場合により顕著であった。
本発明省らは、上記事実に基づき本発明を成したもので
、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性層を介して積層
し、さらによシ好ましくは該積層膜を高透磁率磁性層で
裏打ちし、さらにより好ましくは、該垂直磁気異方性を
有する薄膜はＣＯもしくはＣＯを主体とした磁性合金で
あることを特徴とする、高密度での出力ノイズ比の高い
垂直磁気記録媒体を提供するものである。
、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性層を介して積層
し、さらによシ好ましくは該積層膜を高透磁率磁性層で
裏打ちし、さらにより好ましくは、該垂直磁気異方性を
有する薄膜はＣＯもしくはＣＯを主体とした磁性合金で
あることを特徴とする、高密度での出力ノイズ比の高い
垂直磁気記録媒体を提供するものである。
以下、本発明の一実施例を第１図によｐ説明する。１１
はガラス、Ａ４．ポリエステル、ポリイミド、ＰＥＴな
とよシ成る基板、１２．１２”はＣｏ Ｚ ｒＭ Ｏ＋
Ｎ ＩＦ ｅなどから成る高透磁率磁性台金薄膜、１
３．１３’はＣｒ、Ｔｉ。
はガラス、Ａ４．ポリエステル、ポリイミド、ＰＥＴな
とよシ成る基板、１２．１２”はＣｏ Ｚ ｒＭ Ｏ＋
Ｎ ＩＦ ｅなどから成る高透磁率磁性台金薄膜、１
３．１３’はＣｒ、Ｔｉ。
Ａ７２０ ａなどからなる非磁性層、１４．１４’はｃ
ｏ、ｃｏ−ｃｒなどから成る垂直磁気異方性を有する薄
膜、１５．１５’はＣｒ 、 ’ｌ’ ｉ 、ｋｔｚｏ
３＋ＣｒＯなどからなる非磁性層、１６．１６’はＣｏ
、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒ）ｌ、Ｃｏ−Ｃｒ−）ｙＪｏなどから
なる垂直磁気異方性を有する薄膜である。垂直磁気薄膜
各層の組成、材質は同一でも同一でなくても良い。
ｏ、ｃｏ−ｃｒなどから成る垂直磁気異方性を有する薄
膜、１５．１５’はＣｒ 、 ’ｌ’ ｉ 、ｋｔｚｏ
３＋ＣｒＯなどからなる非磁性層、１６．１６’はＣｏ
、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒ）ｌ、Ｃｏ−Ｃｒ−）ｙＪｏなどから
なる垂直磁気異方性を有する薄膜である。垂直磁気薄膜
各層の組成、材質は同一でも同一でなくても良い。
第２．第３図には別の実施例を示す。２１゜３１ばＡｔ
、ポリイミド、ＰＥＴなどから成る基板、２２はＣｏ
−Ｚ ｒ−Ｗ、 Ｆ ｅ −８ｉなどから成る高透磁率
磁性合金薄膜、２３，２５，２７゜２９．３２．３２’
、３４．３４’はｃｏ−Ｃｒ。
、ポリイミド、ＰＥＴなどから成る基板、２２はＣｏ
−Ｚ ｒ−Ｗ、 Ｆ ｅ −８ｉなどから成る高透磁率
磁性合金薄膜、２３，２５，２７゜２９．３２．３２’
、３４．３４’はｃｏ−Ｃｒ。
ｃｏ−ｃｒ−ｗなどよシなる垂直磁気異方性膜、２４．
２６，２８，３３．３３’はＣｏＯ、ＡｌｚＯｓなどか
ら成る非磁性層である。
２６，２８，３３．３３’はＣｏＯ、ＡｌｚＯｓなどか
ら成る非磁性層である。
なおいずれも垂直磁気異方性膜の積層数は２〜４の場合
について示したが、さらに多層でも良い。
について示したが、さらに多層でも良い。
本発明によれば、媒体の垂直配向性を損うことなく結晶
粒径を微細な状態に保てるため、ノイズを著しく低減で
きる効果がある。膜厚が０．０１゜０．０２，０．０５
，０．１，０．２５であるｃｏ−Ｃｒ薄膜を、膜厚０．
００５μｍのＩｌｌ １薄膜を介してそれぞれ積層し全
膜厚を約０．５μｍとした場合の、媒坏の垂直配向性を
示すＸａ１折ピークの半値巾Δθ５ｏと、媒体ノイズを
それぞれ第４図の４１゜４２に示す。同図には、膜厚が
０．５μｍのＣ’ｏ−Ｃｒ単層膜のΔθ５ｏ、ノイズも
示すが、同図からＴｌを介してＣｏ−ｃｒを積層した場
合には、Ｃ０−０ｒ単層膜の場合に比べてノイズが低減
していることが分かる。さらに、（：ｏ−Ｃｒ１層分の
膜厚が０．０１５μｍ以上でろれば、Δθ５Ｇも４０以
下と小さく、年増膜と比べて同等の垂直配向性を鳴して
おシ、積層化によシ確かに圭直イム気記録に適した膜と
なっていることが分かる。
粒径を微細な状態に保てるため、ノイズを著しく低減で
きる効果がある。膜厚が０．０１゜０．０２，０．０５
，０．１，０．２５であるｃｏ−Ｃｒ薄膜を、膜厚０．
００５μｍのＩｌｌ １薄膜を介してそれぞれ積層し全
膜厚を約０．５μｍとした場合の、媒坏の垂直配向性を
示すＸａ１折ピークの半値巾Δθ５ｏと、媒体ノイズを
それぞれ第４図の４１゜４２に示す。同図には、膜厚が
０．５μｍのＣ’ｏ−Ｃｒ単層膜のΔθ５ｏ、ノイズも
示すが、同図からＴｌを介してＣｏ−ｃｒを積層した場
合には、Ｃ０−０ｒ単層膜の場合に比べてノイズが低減
していることが分かる。さらに、（：ｏ−Ｃｒ１層分の
膜厚が０．０１５μｍ以上でろれば、Δθ５Ｇも４０以
下と小さく、年増膜と比べて同等の垂直配向性を鳴して
おシ、積層化によシ確かに圭直イム気記録に適した膜と
なっていることが分かる。
実際、膜厚Ｑ、１μｍのＣｏ−Ｃｒと膜厚０．００５μ
ｍのＡｔｚ Ｏａとをそれぞれ２Ｎ積層して形成した垂
直方向保磁力４５００ｅ、飽和磁束密度３５０ｅｍｕ／
ｃｃのＣＯ−Ｃｒｍ層膜を、膜厚１μｍのＣｏＣｏ−２
ｒ−非晶質磁性合金で裏打した第１図に示した構造の媒
体を用いて、垂直磁気記録再生を行ったところ、第５図
５１にン」スずように高密度の記録再生特性が得られた
。同図には、Ｃｏ−ｃｒ単層膜を用いた場合の特性も５
２として示すが、この場合もほぼ同様の出力が得られて
いる。しかし、１５０ｋＢＰＩでの出力ノイズ比を比べ
てみると、本発明の構造の媒体では約３倍の特性が倚ら
れ、本発明の効果は著しかった。なおここで、１３．１
３’層を省いて、高透磁率層に直接Ｃｏ−ｃｒ層を形成
した第２図に示しだ様な構造とした媒体では、下地を紹
品質の高透磁率磁性合金Ｎ １−ｐｅ、、ｐｅ−８ｉな
どにした場合には特性が約５％低下したが、下地ｋｃｏ
−Ｚｒ−＝Ｍｏ、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂなどの非晶質の高透
磁率磁性合金とした場合には磁性は変わらなかった。
ｍのＡｔｚ Ｏａとをそれぞれ２Ｎ積層して形成した垂
直方向保磁力４５００ｅ、飽和磁束密度３５０ｅｍｕ／
ｃｃのＣＯ−Ｃｒｍ層膜を、膜厚１μｍのＣｏＣｏ−２
ｒ−非晶質磁性合金で裏打した第１図に示した構造の媒
体を用いて、垂直磁気記録再生を行ったところ、第５図
５１にン」スずように高密度の記録再生特性が得られた
。同図には、Ｃｏ−ｃｒ単層膜を用いた場合の特性も５
２として示すが、この場合もほぼ同様の出力が得られて
いる。しかし、１５０ｋＢＰＩでの出力ノイズ比を比べ
てみると、本発明の構造の媒体では約３倍の特性が倚ら
れ、本発明の効果は著しかった。なおここで、１３．１
３’層を省いて、高透磁率層に直接Ｃｏ−ｃｒ層を形成
した第２図に示しだ様な構造とした媒体では、下地を紹
品質の高透磁率磁性合金Ｎ １−ｐｅ、、ｐｅ−８ｉな
どにした場合には特性が約５％低下したが、下地ｋｃｏ
−Ｚｒ−＝Ｍｏ、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂなどの非晶質の高透
磁率磁性合金とした場合には磁性は変わらなかった。
しかしいずれの場合も従来の構造の媒体に比べて３倍程
度の出力ノイズ比が得られた。
度の出力ノイズ比が得られた。
膜厚０．１５μｍ、保磁力ａｏｏｏｅ、飽和磁化４５０
ｅｍｕ／ｃｃのＣｏ−Ｃｒ−Ｒｈ’（ｒ、膜厚０．０
０５μｍのＴｌを１層分して形して２層形成した第３図
に示す構造の媒体に垂直磁気記録再生を行ったところ、
第６図６１に示すような特性とな９、単一膜の媒体の特
性６２とほぼ同等の円虫出力であるが、例えば１００ｋ
ＢＰＩでの出力ノイズ比は約１．５倍向上した。本構成
の媒体に膜厚１．５μｍのｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ非晶質高透
磁率層を裏打ちすると、きらに出力ノイズ比は約２倍向
上した。
ｅｍｕ／ｃｃのＣｏ−Ｃｒ−Ｒｈ’（ｒ、膜厚０．０
０５μｍのＴｌを１層分して形して２層形成した第３図
に示す構造の媒体に垂直磁気記録再生を行ったところ、
第６図６１に示すような特性とな９、単一膜の媒体の特
性６２とほぼ同等の円虫出力であるが、例えば１００ｋ
ＢＰＩでの出力ノイズ比は約１．５倍向上した。本構成
の媒体に膜厚１．５μｍのｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ非晶質高透
磁率層を裏打ちすると、きらに出力ノイズ比は約２倍向
上した。
以上の効果は、Ｂａ−フェライト、ＣｏＸＣ０酸化物、
Ｃｏ−Ｐｔなどで・も認められ、本構造の媒体を用いる
ことで極めて良好な垂直磁気記録再生特性が得られｆｃ
。
Ｃｏ−Ｐｔなどで・も認められ、本構造の媒体を用いる
ことで極めて良好な垂直磁気記録再生特性が得られｆｃ
。
本発明の垂直磁気記録媒体は、示直磁気異方性を有する
薄膜を非磁性を介してａ層することにより、高密度で且
つ出力ノイズ比の格段に筒いものとなった。
薄膜を非磁性を介してａ層することにより、高密度で且
つ出力ノイズ比の格段に筒いものとなった。
第１図ないし第３図は本発明の媒体の断面図、第４図は
本発明の構造の膜特性を示すグラフ、第５図、第６図は
本発明の媒体の垂直磁気記録再生特性を示すグラフであ
る。 １１．２１．３１・・・基板、ｉ２，１２’ 、２２・
・・高透磁率層、１’４．１４’ 、１６．１６’ 、
２３゜２５．２７，２９，３２．３２’ 、３４．３４
’・・・垂直磁気特性を有する層、１３．１３’ 、１
５゜１５’ 、２４，２６，２８，３３．３３’・・・
非磁性中間層、４１・・・本発明の膜のΔθｓｏ、４２
・・・ノイズ、５１．６１・・・本発明の媒体の記録再
生特性俸１Ｂ 第３図 １５図 ｔｌ乍禾２展 （ρ） 第１頁の続き ０発 明 者 品 川 公 成 国分寺市東恋ケ窪央研
究所内
本発明の構造の膜特性を示すグラフ、第５図、第６図は
本発明の媒体の垂直磁気記録再生特性を示すグラフであ
る。 １１．２１．３１・・・基板、ｉ２，１２’ 、２２・
・・高透磁率層、１’４．１４’ 、１６．１６’ 、
２３゜２５．２７，２９，３２．３２’ 、３４．３４
’・・・垂直磁気特性を有する層、１３．１３’ 、１
５゜１５’ 、２４，２６，２８，３３．３３’・・・
非磁性中間層、４１・・・本発明の膜のΔθｓｏ、４２
・・・ノイズ、５１．６１・・・本発明の媒体の記録再
生特性俸１Ｂ 第３図 １５図 ｔｌ乍禾２展 （ρ） 第１頁の続き ０発 明 者 品 川 公 成 国分寺市東恋ケ窪央研
究所内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、垂直磁気異方性を有する薄膜が非磁性層を介して積
層された積層膜を有することを特徴とする垂直磁気記録
媒体。 ２、上記積層膜が高透磁率磁性層で裏打ちされているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記
録媒体。 ３、上記垂直磁気異方性を有する薄膜はＣｏもしくはＣ
ｏを主体とした磁性金属であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項もしくは第２項記載の垂直磁気記録媒体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190729A JP2539349B2 (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190729A JP2539349B2 (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6083218A true JPS6083218A (ja) | 1985-05-11 |
| JP2539349B2 JP2539349B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=16262823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58190729A Expired - Lifetime JP2539349B2 (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539349B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6273415A (ja) * | 1985-09-23 | 1987-04-04 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 磁気記録媒体 |
| JPS62217424A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-09-24 | ブル・エス・ア− | 磁気的異方性の垂直記録媒体 |
| US4717592A (en) * | 1984-12-24 | 1988-01-05 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Vertical magnetization type recording medium and manufacturing method therefor |
| US4749628A (en) * | 1986-04-29 | 1988-06-07 | International Business Machines Corporation | Multilayered vertical magnetic recording medium |
| US4847161A (en) * | 1986-12-19 | 1989-07-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetically anisotropic recording medium |
| US4920013A (en) * | 1986-09-24 | 1990-04-24 | Hitachi, Ltd. | Magnetic Multilayer structure |
| US5006388A (en) * | 1987-08-06 | 1991-04-09 | Sumitomo Metal Mining Company Limited | Magnetic disc |
| US5023148A (en) * | 1987-12-30 | 1991-06-11 | Seagate Technology, Inc. | Tine film cobalt-containing recording medium |
| US5316631A (en) * | 1989-02-16 | 1994-05-31 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Method for fabricating a magnetic recording medium |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5634138A (en) * | 1979-08-22 | 1981-04-06 | Ulvac Corp | Magnetic recording medium |
| JPS5730118A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Vertically magnetized medium and its manufacture |
| JPS57179942A (en) * | 1981-04-24 | 1982-11-05 | Canon Inc | Magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58190729A patent/JP2539349B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5634138A (en) * | 1979-08-22 | 1981-04-06 | Ulvac Corp | Magnetic recording medium |
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| JPS57179942A (en) * | 1981-04-24 | 1982-11-05 | Canon Inc | Magnetic recording medium |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US4717592A (en) * | 1984-12-24 | 1988-01-05 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Vertical magnetization type recording medium and manufacturing method therefor |
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| US4775576A (en) * | 1985-07-15 | 1988-10-04 | Bull S.A. | Perpendicular anisotropic magnetic recording |
| JPS6273415A (ja) * | 1985-09-23 | 1987-04-04 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 磁気記録媒体 |
| US4749628A (en) * | 1986-04-29 | 1988-06-07 | International Business Machines Corporation | Multilayered vertical magnetic recording medium |
| US4920013A (en) * | 1986-09-24 | 1990-04-24 | Hitachi, Ltd. | Magnetic Multilayer structure |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2539349B2 (ja) | 1996-10-02 |
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